(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210370994.0 (22)申请日 2022.04.08 (71)申请人 南京华易泰电子科技有限公司 地址 210000 江苏省南京市江北新区智能 制造园 （智博园） 博富路19号 (72)发明人 焦明印　孔祥振　李为一　 (74)专利代理 机构 深圳市广诺专利代理事务所 (普通合伙) 44611 专利代理师 张晓璐 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升 降 调节机构 (57)摘要 本发明涉及半导体晶圆技术领域， 尤其为一 种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机 构， 包括： 机台底板， 所述机台底板的顶部固定连 接有内罩， 所述内罩的表面设置有外罩， 所述外 罩的底部开 设有工作槽， 所述外罩的一侧设置有 安装板， 所述安装板底部的前侧固定连接有气缸 一。 本发明具备灵活高效、 自动化操作和 效率高 的优点， 在实际的使用过程中， 外部设置， 该升降 调节机构采取气缸一和气缸二加上传动结构设 置， 不但提高了外罩的调节性， 且使得外罩更加 灵活高效， 内部设置， 该升降调节机构采取单杆 气缸和升降杆二进行辅助升降， 不但结构简单， 且实用性高， 最终使 得该升降调节机构具备更高 的自动化， 且密封性 好， 效率高。 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 CN 114939564 A 2022.08.26 CN 114939564 A 1.一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 包括： 机台底板(1)， 其特征在 于： 所述机台底板(1)的顶部固定连接有内罩(2)， 所述内罩(2)的表 面设置有外罩(3)， 所述 外罩(3)的底部开设有工作槽(22)， 所述外罩(3)的一侧设置有安装板(4)， 所述安装板(4) 底部的前侧固定连接有气缸一(5)， 所述气缸一(5)的输出端固定连接有固定板(6)， 所述固 定板(6)底部的中心处固定连接有气缸二(7)， 所述气缸二(7)的输出端固定连接有压板 (8)， 所述压板(8)的表 面固定连接有支撑板(9)， 所述支撑板(9)的一侧与固定板(6)固定连 接， 所述压板(8)的前侧和后侧均通过转轴转动连接有杠 板(10)， 所述杠 板(10)的表 面转动 连接有支撑杆(11)， 所述支撑杆(11)的顶端与机台底板(1)固定连接， 所述杠 板(10)的一侧 固定连接有连接板(12)， 所述连接板(12)的一侧固定连接有U形接头(13)， 所述U形接头 (13)的内腔转动连接有传动结构(14)， 所述传动结构(14)的一侧延伸至工作槽(22)的内 腔， 所述机台底板(1)顶部的前侧和 后侧均开设有与传动结构(14)相适配的通孔一， 所述机 台底板(1)底部的前侧和后侧均固定连接有两个固定杆(16)， 两个固定杆(16)的底端共同 固定连接有承载板(17)， 所述承载板(17)的顶部固定连接有单杆气缸(18)， 所述单杆气缸 (18)的输出端固定连接有浮动接头(19)， 所述浮动接头(19)的顶部固定连接有升降杆二 (20)， 所述机台底板(1)顶部的前侧和后侧均开设有与升降杆二(20)相适配的通孔二， 所述 升降杆二(20)的顶端延伸至工作槽(22)的内腔并固定连接有连接块(21)， 所述连接块(21) 的一侧与外罩(3)固定连接 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 所述传动 结构(14)包含有两个升降杆一(1401)， 位于底部的升降杆一(1401)的底端 延伸至U形接头(13)内腔并与U形接头(13)转动连接， 两个升降杆一(1401)相对的一端分别 固定连接有球套(1402)和球块(1403)， 所述球块(1403)位于球套(1402)的内腔并与球套 (1402)活动连接， 位于顶部的升降杆一(1401)表面的顶部套设有 套杆(1404)。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 所述 安装板(4)的一侧开设有四个等间距分布的安装孔(23)。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 所述安装板(4)和支撑板(9)的底部均固定连接有缓冲结构(24)， 两个缓冲结构(24) 的底端分别与固定板(6)和压板(8)固定连接， 两个缓冲结构(24)包含有分别与安装板(4) 和支撑板(9)固定连接的外壳(2401)， 所述外壳(2401)内腔的顶部固定连接有弹簧(2402)， 所述弹簧(2402)的底端固定连接有缓冲柱(2403)， 两个缓冲柱(2403)的底端均延伸至外壳 (2401)的底部并分别与固定板(6)和压板(8)固定连接， 所述外壳(2401)内腔的两侧均开设 有限位槽(2404)， 所述限位槽(2404)的内腔滑动连接有限位块(2405)， 所述限位块(2405) 的一侧延伸至限位槽(2404)的外侧并与缓冲柱(240 3)固定连接 。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 所述机台底板(1)的顶部开设有四个与内罩(2)相适配的流 通孔(25)。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 两个支撑杆(1 1)的左侧共同固定连接有补强板(26)。 7.根据权利要求2所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 所述 通孔一的直径大于球套(1402)的直径。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114939564 A 2在于： 所述内罩(2)的顶部固定连接有连接罩(27)， 所述连接罩(27)为上窄下宽设置 。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 所述固定 板(6)的形状为凹形。 10.根据权利要求2所述的一种晶圆单片式清洗机腔室密封罩的升降调节机构， 其特征 在于： 位于顶部的套 杆(1404)的顶端贯穿至外罩(3)的顶部并螺纹连接有密封螺栓(15)， 所 述密封螺栓(15)的底部与外罩(3)相接触。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114939564 A 3