(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210402594.3 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人 深圳市朝阳光科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华 新区大浪 街道高峰社区乌石岗工业区第十栋厂 房 (72)发明人 邓朝旭　 (74)专利代理 机构 深圳市深软翰琪知识产权代 理有限公司 4 4380 专利代理师 吴雅丽 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01)H01L 21/673(2006.01) (54)发明名称 一种全自动 晶圆分选机高效自动清洗装置 及方法 (57)摘要 本发明公开了一种全自动晶圆分选机高效 自动清洗装置及方法， 具体涉及清洗装置技术领 域， 包括两个对称设置的支撑板， 两个所述的支 撑板的顶部设有同一个底板， 底板的顶部固定安 装有分选机， 分选机的顶部开设有清洗槽， 清洗 槽的底部内壁上开设有多个放置槽， 底板的顶部 固定安装有两个对称设置的水箱， 水箱上固定安 装有连接管的一端， 连接管的另一端固定安装在 清洗槽的内壁上并固定安装有喷头， 喷头与放置 槽相配合， 所述水箱内设有水泵， 连接管上设有 阀门， 所述底板的顶部固定安装有两个对称设置 的连接板。 本发 明通过转动座转动从而能够带动 刷毛进行转动， 能够对放置槽的侧壁进行进一步 的清理， 从而便 于人们进行使用。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 114871176 A 2022.08.09 CN 114871176 A 1.一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置， 包括两个对称设置的支撑板(1)， 其特征 在于： 两个所述的支撑板(1)的顶部设有同一个底板(2)， 底板(2)的顶部固定安装有分选机 (3)， 分选机(3)的顶部开设有清洗槽， 清洗槽的底部内壁上开设有多个放置槽(4)， 放置槽 (4)内设有晶圆， 所述底板(2)的顶部固定安装有两个对称设置的水箱(5)， 水箱(5)上固定 安装有连接管(6)的一端， 连接管(6)的另一端固定安装在清洗槽的内壁上并固定安装有喷 头(8)， 喷头(8)与放置槽(4)相配合， 所述水箱(5)内设有水泵， 连接管(6)上设有阀门(7)， 所述底板(2)的顶部固定安装有两个对称设置的连接板(9)， 两个连接板(9)相互靠近的一 侧均开设有固定槽(12)， 固定槽(12)的顶部内壁和底部内壁上固定安装有同一个固定杆 (10)， 两个固定杆(10)上滑动安装有同一个升降板(13)， 升降板(13)的底部固定安装有第 一弹簧(11)的一端， 第一弹簧(11)的另一端固定安装在固定槽(12)的底部内壁上， 两个连 接板(9)的顶部固定安装有同一个顶板18， 顶板(18)的底部开设有 方槽(19)， 所述顶板(18) 的一侧固定安装有第二伺服电机(21)， 第二伺服电机(21)的输出轴延伸至方槽(19)内并固 定安装有转杆(2 2)； 所述升降板(13)的底部固定安装有连接座(14)， 连接座(14)的底部开设有圆槽， 连接 座(14)的一侧固定安装有第一伺服电机(15)， 第一伺服电机(15)的输出轴延伸至圆槽内并 固定安装有转动座(16)， 转动座(16)上设有 多个刷毛(17)， 刷毛(17)与放置 槽(4)相配合。 2.根据权利要求1所述的一种 全自动晶圆分选机 高效自动清洗装置， 其特征在于： 所述 放置槽(4)的数量 为八到十六个， 且八到 十六个放置 槽(4)等间距间隔设置 。 3.根据权利要求1所述的一种 全自动晶圆分选机 高效自动清洗装置， 其特征在于： 所述 转杆(22)上螺纹连接有两个对称设置的滑板(20)， 滑板(20)的一侧开设有螺纹孔， 螺纹孔 的侧壁上设有内螺纹， 转杆(22)上设有旋向相反的外螺纹， 内螺纹与外螺纹相啮合， 所述方 槽(19)的顶部开设有限位槽(24)， 滑板(20)的顶部延伸至限位槽(24)内。 4.根据权利要求3所述的一种 全自动晶圆分选机 高效自动清洗装置， 其特征在于： 所述 滑板(20)的底部延伸至方槽(19)的外侧并转动安装有转柱(23)的一端， 转柱(23)的另一端 转动安装在升降板(13)上， 两个转柱(23)相铰接 。 5.根据权利要求1所述的一种 全自动晶圆分选机 高效自动清洗装置， 其特征在于： 所述 支撑板(1)的顶部开设有凹槽(26)， 凹槽(26)的底部内壁上固定安装有第二弹簧(25)， 第二 弹簧(25)的一端固定安装有升降座(27)， 升降座(27)的一侧延伸至凹槽(26)的外侧并固定 安装在底板(2)的底部 。 6.使用如权利要求1 ‑5任一项所述的全自动晶圆分选机 高效自动清洗装置清洗晶圆的 方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 步骤一： 首 先将晶圆放置在放置 槽(4)内。 步骤二： 打开水泵， 使得从而使得水箱(5)内的水能够通过连接管(6)进入喷头(8)， 能 够对放置 槽(4)内的 晶圆进行初步的冲刷。 步骤三： 然后启动第二伺服电机(21)， 第二伺服电机(21)的输出轴带动转杆(22)转动， 转杆(22)转动带动两个滑板(20)在转杆(22)上进行滑动， 滑板(20)滑动从而能够带动转柱 (23)进行转动， 转柱(23)转动从而能够带动升降板(13)进行升降， 从而能够带动刷毛(17) 进行升降。 步骤四： 当刷毛(17)与晶圆接触后， 启动第一伺服电机(15)， 第一伺服电机(15)的输出权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114871176 A 2轴带动转动座(16)进行转动， 转动座(16)转动从而能够带动刷毛(17)进行转动， 能够对放 置槽(4)的晶圆进行进一 步的清理。 步骤五： 清洗 完成后取 出晶圆。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114871176 A 3