(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210433071.5 (22)申请日 2022.04.24 (71)申请人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限公 司 地址 215316 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 孙先淼　周训丙　 (74)专利代理 机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 董建林 (51)Int.Cl. B08B 13/00(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01)B01D 29/66(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种槽式全自动清洗 机用循环 清洗装置 (57)摘要 本发明公开了一种半导体加工技术领域的 槽式全自动清洗机用循环清洗装置， 旨在解决现 有技术中装置在长期使用后， 会在滤芯处积攒着 大量的碎屑， 其需要工作人员停机定期进行拆装 清理的问题。 其包括清洗槽、 三通管和缸体， 清洗 槽内设有喷淋机构和承 载机构； 承 载机构包括可 相对于清洗槽上下移动的承 载台和复位组件， 承 载台上设有推 拉杆， 推拉杆的一端贯穿清洗槽底 部后设有活塞， 活塞滑动连接于缸体内； 清洗槽 底部设有排水口， 排水口与三通管的进水口相连 通； 本发明适用于晶圆清洗， 能够对滤芯进行反 向冲洗， 使得积攒的碎屑清除， 并将携带有碎屑 的少量清洗液分离排出， 从而达到了无需操作人 员频繁拆装更换滤芯的效果。 权利要求书2页 说明书6页 附图7页 CN 114850163 A 2022.08.05 CN 114850163 A 1.一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 包括清洗槽 （1） 、 三通管 （2） 和 缸体 （3） ， 所述清洗 槽 （1） 内设有喷淋机构和承载机构； 所述承载机构包括可相对于清洗槽 （1） 上下移动的承载台 （4） 和复位组件， 所述承载台 （4） 上设有推 拉杆 （5） ， 所述推 拉杆 （5） 的一端贯穿清洗槽 （1） 底部后设有活塞 （6） ， 所述活塞 （6） 滑动连接 于所述缸体 （3） 内； 所述清洗槽 （1） 底部设有排水口 （7） ， 所述排水口 （7） 与三通管 （2） 的进水口相连通， 所 述三通管 （2） 的第一出水口通过循环输送机构与所述喷淋机构相连通， 所述三通管 （2） 的第 二出水口与缸体 （3） 远离推拉杆 （5） 的一端相连通， 所述循环输送机构包括用于过滤碎屑并 通过快速换装组件安装的滤芯 （8） 和驱动水循环的水泵 （9） ； 所述缸体 （3） 远离推拉杆 （5） 的一端还设有排污管 （10） ， 所述排污管 （10） 上设有第一阀 （11） ， 所述第二出水口上设有第二阀 （12） ， 所述清洗槽 （1） 上设有用于开关所述排水口 （7） 的封闭机构； 承载台 （4） 承重时， 第一阀 （1 1） 导通， 第二阀 （12） 不 导通， 封闭机构将排水口 （7） 打开； 承载台 （4） 复位时， 第一阀 （1 1） 不导通， 第二阀 （12） 导 通， 封闭机构将排水口 （7） 关闭。 2.根据权利要求1所述的槽 式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述封闭机 构包括支撑弹簧 （16） 、 连接杆 （17） 、 设于清洗槽 （1） 底部的盒体 （13） 、 活动套设于推 拉杆 （5） 外侧的套环 （14） 和固设于推拉杆 （5） 外侧的推动环 （15） ； 所述盒体 （13） 上设有通孔 （18） ， 所述排水口 （7） 通过通孔 （18） 与所述三通管 （2） 的进水 口相连通， 所述盒体 （13） 内活动连接有用于将所述通孔 （18） 隔断的封闭滑板 （19） ， 所述支 撑弹簧 （16） 设于封闭滑板 （19） 与盒体 （13） 内壁之间， 所述连接杆 （17） 的一端与套环 （14） 铰 接， 另一端与封闭滑板 （19） 铰接， 所述推动环 （15） 设于清洗 槽 （1） 与套环 （14） 之间。 3.根据权利要求2所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述盒体 （13） 内设有与所述通孔 （18） 连通的腔体 （20） ， 所述封闭滑板 （19） 滑动 连接于腔体 （20） 内， 所述腔体 （20） 远离通孔 （18） 的一侧设有限位通槽 （21） ， 所述封闭滑板 （19） 的一端通过限位 通槽 （21） 伸出至盒体 （13） 外侧与所述连接杆 （17） 铰接 。 4.根据权利要求1所述的槽 式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述清洗槽 （1） 底部设有与承 载台 （4） 相匹配的容置槽 （22） ， 所述复位组件包括设于容置槽 （22） 内的导 向杆 （23） 和套设于导向杆 （23） 上的复位弹簧 （24） ， 所述承载台 （4） 上设有与导向杆 （23） 相 匹配的导向孔 （25） ， 所述复位弹簧 （24） 支撑 于承载台 （4） 和容置 槽 （22） 之间。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的槽 式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所 述喷淋机构包括设于清洗槽 （1） 内侧的空心板 （26） ， 所述空心板 （26） 上设有若干个喷嘴 （27） ， 所述 三通管 （2） 的第一出 水口通过循环输送机构与所述空心板 （26） 相连通。 6.根据权利要求1所述的槽 式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述快速换 装组件包括箱体 （28） 和贯穿箱体 （28） 的换装板 （29） ， 所述换装板 （29） 上设有两个过滤通槽 （30） ， 所述过滤通槽 （30） 内安装有过滤管 （31） 和限位过滤管 （31） 的凸环 （32） ， 所述滤芯 （8） 设于过滤管 （31） 内。 7.根据权利要求6所述的槽 式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述换装板 （29） 的两端设有定位弧板 （33） ， 所述箱体 （28） 的外壁两侧设有与定位弧板 （33） 相对应的弧 形凹槽 （34） 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114850163 A 28.根据权利要求6或7所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述箱 体 （28） 内于换装板 （29） 上下两侧设有定位组件， 所述定位组件包括定位环 （35） 、 压紧弹簧 （36） 和用于驱动定位环 （3 5） 运动的驱动件； 所述定位环 （35） 靠近换装板 （29） 的一侧设有限位凸台 （37） ， 所述换装板 （29） 上设有与 限位凸台 （37） 相匹配的限位凹槽 （38） ， 所述压紧弹簧 （36） 支撑于定位环 （35） 与箱 体 （28） 之 间。 9.根据权利要求8所述的槽 式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述定位环 （35） 远离换装板 （29） 的一侧设有定位凹槽 （39） ， 所述箱 体 （28） 内设有与定位凹槽 （39） 相对 应的导向管 （40） ， 所述压紧弹簧 （3 6） 活动套设于导向管 （40） 外侧。 10.根据权利要求9所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置， 其特征在于， 所述驱动 件包括拉环 （42） 和若干个驱动杆 （41） ， 若干个所述 驱动杆 （41） 的一端分别与定位环 （35） 远 离换装板 （29） 的一侧固定连接， 另 一端分别与位于所述箱体 （28） 外侧的拉环 （42） 固定连 接； 若干个所述驱动杆 （41） 分别贯 穿所述箱体 （28） 并与所述箱体 （28） 滑动连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114850163 A 3