(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210450087.7 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人 中锗科技有限公司 地址 211299 江苏省南京市溧水开发区中 兴东路9号 (72)发明人 张国辉　柯尊斌　王卿伟　 (74)专利代理 机构 南京中律知识产权代理事务 所(普通合伙) 32341 专利代理师 李建芳 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种金钢线切片后锗泥清洗方法 (57)摘要 本发明公开了一种金钢线切片后锗泥清洗 方法， 所用金钢线切片后锗泥清洗装置包括： 过 滤网、 喷淋池、 晶片支架、 盖板、 开盖气缸、 污水回 收溢流储水箱、 加热管、 喷淋管、 喷淋摆动气缸、 喷淋泵和过滤器； 清洗方法包括： 1)将金钢线切 割完成的整段晶棒切口向上地放置在晶棒支架 内； 2)将盖板打开， 并将 晶棒支架放置在喷淋池 中央， 盖上盖板； 3)污水回收溢流储水箱内加入 清洗液， 开启喷淋泵与 喷淋摆动气缸， 清洗液经 过过滤器过滤后通过第二管路输送至喷淋管、 喷 洒在金钢线切割完成的晶棒上， 同时 喷淋摆动气 缸驱动喷淋管摆动， 形成对晶棒的清洗， 喷淋15 ～20分钟后， 结束喷淋。 本发明从切割完成到预 冲洗完成用时仅15～20分钟； 且全程只需一个 人， 清洗液 可循环利用。 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 CN 114932110 A 2022.08.23 CN 114932110 A 1.一种金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特 征在于： 所用金钢线切片后锗泥清洗装置包括： 过滤网、 喷淋池、 晶片支架、 盖板、 开盖气缸、 污 水回收溢流储水箱、 加热 管、 喷淋管、 喷淋摆动气缸、 喷淋泵和过 滤器； 过滤网活动设在 喷淋池底部； 晶片支架为大小可调结构， 晶片支架活动设在 喷淋池内 侧、 且位于过 滤网上方； 盖板设在喷淋池顶部、 并通过开盖气缸驱动盖 板的开关； 过滤网下方的喷淋池底部通过第 一管路与污水回收溢流储水箱连通； 加热管位于污水 回收溢流储水箱内、 用于污水回收溢流储水箱内液体的加热； 喷淋管位于喷淋池正上方， 喷 淋摆动气缸与喷淋管端部连接、 并驱动喷淋管摆动喷淋； 喷淋泵将污水回收溢流储水箱内 的液体经 过过滤器过滤后通过第二管路输送至喷淋管； 金钢线切片后锗泥清洗方法， 包括如下步骤： 1)将金钢线切割完成的整段晶棒切口向上地 放置在晶棒支 架内； 2)在开盖气缸的驱动下， 将盖板打开， 并将步骤1)装有 晶棒的晶棒支架放置在喷淋池 中央， 并在开盖气缸的驱动下、 盖上盖 板； 3)污水回收溢流储水箱内加入清洗液， 清洗液为90％的清水和10％的清洗剂的混合 物， 打开加热管加热至污水回收溢流储水箱 内清洗液温度为35 °～40°， 开启喷淋泵与喷淋 摆动气缸， 清洗液经过过滤器过滤后通过第二管路输送至喷淋管、 喷洒在金钢线切割完成 的晶棒上， 同时喷淋摆动气缸驱动喷淋管摆动， 形成对晶棒的清洗， 喷淋15～20分钟后， 结 束喷淋， 在开盖气缸的驱动下， 将盖 板打开， 取 出装有晶棒的 晶棒支架放到去胶池去胶； 4)步骤3)喷淋水经过滤网过滤后， 锗泥留在过滤网上， 过滤液通过第一管路流入污水 回收溢流储水箱， 再 经过滤器过滤后循环进入喷淋管喷淋。 2.如权利要求1所述的金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 晶片支架包括支撑 框、 下支撑杆、 上支撑杆和把手； 支撑框为长方体结构， 支撑框的底部及两长侧面均为镂空 结构； 下支撑杆和上支撑杆均分别有两根， 两根下支撑杆设在支撑框内的同一高度上， 两根 上支撑杆设在支撑框内的同一高度上、 且两根上支撑杆位于两根下支撑杆的上方， 两根上 支撑杆和两根下支撑杆的两端均分别连接在支撑框的两 短侧面上， 且两根上支撑杆的水平 位置可调， 两根下支撑杆的竖直 位置可调； 把手设在支撑 框的两短侧面外侧。 3.如权利要求2所述的金钢 线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 支撑框的两个短侧面 上设有相对设置的两对横孔和两对竖孔， 两对横孔位于同一高度， 两对竖孔位于同一高度， 两对横孔位于两对竖孔的上方； 两根上支撑杆和两根下支撑杆的两端均设有外螺纹； 两根 上支撑杆分别支撑在两对横孔上， 上支撑杆 的两端分别从对应的一对横孔中穿出、 并通过 螺栓固定； 两根下支撑杆分别支撑在两对竖孔上， 下支撑杆的两端分别从对应的一对竖孔 中穿出、 并通过螺 栓固定。 4.如权利要求2或3所述的金钢 线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 把手有四根， 分别 设在支撑 框两短侧面外侧顶部 两端。 5.如权利要求1 ‑3任意一项所述的金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 过滤网下 方的喷淋池底部呈向下倾斜的斜面结构， 喷淋池底部的最低位置与通过第一管路与污水回 收溢流储水箱连通。 6.如权利要求1 ‑3任意一项所述的金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 第 一管路 与污水回收溢流储水箱的连接位置位于污水回收溢流储水箱2/3以上的高度； 第一管路呈权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114932110 A 2水平设置， 或第一管路呈从喷淋池到 污水回收溢流储水箱的方向上向下倾 斜的方式设置 。 7.如权利要求1 ‑3任意一项所述的金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 喷淋管有 两根以上， 每根喷淋管上均设有沿轴向分布的5个以上的喷淋头， 喷淋头的喷洒方向指向喷 淋池内侧； 所有的喷淋管一端端部均 汇合至总管， 喷淋摆动 气缸与总管连接、 并驱动所有喷 淋管摆动喷淋； 喷淋泵将污水回收溢流储水箱内的液体经过过滤器过滤后输送至总 管、 再 进入各个喷淋管。 8.如权利要求1 ‑3任意一项所述的金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 还包括支 撑架， 所有部件均集成在支撑架上， 支撑架的底部设有带锁万向轮。 9.如权利要求1 ‑3任意一项所述的金钢线切片后锗泥清洗方法， 其特征在于： 步骤3) 中， 清洗剂为型号为ES ‑160的达尔森半导体清洗剂； 步骤4)中， 15次喷淋结束后， 收集过滤 网及喷淋池中的锗泥， 并更 换清理液。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114932110 A 3