团 体 标 准 T/WLJC 58－2019 晶片精密 研磨盘用修正轮 Dressing wheel for wafers precision grinding disc 2019－04－22发布 2019－04－22实施 温岭市机床装备行业协会 发布 ICS 25.080.50 L 97 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/WLJC 58－2019 I 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 -2009给出的规则起草。 本标准由温岭市机床装备行业协会提出并归口。 本标准起草单位：台州市永安机械有限公司、 温岭市机床装备行业协会 。 本标准主要起草人： 李正良、张雷、麻江峰、丁昆。 本标准为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/WLJC 5 8－2019 II 引 言 为落实温岭机床工具产业集群区域品牌建设示范区要求，温岭市经济和信息化局决定， 在温岭市机床工具产业中， 选择拥有自主知识产权和技术创新成果、 具有国内先进技术水平、 市场销售前景良好的机床工具产品，制定严于国家标准（ GB/T）和机械行业标准（ JB/T） 的温岭市机床装备行业协会团体标准 （ T/WLJC） ， 展示温岭市机床工具产品的先进技术水平， 彰显温岭市机床工具产业的自主创新能力。 台州市永安机械有限公司主要生产各种进口 与国产研磨机系列零件，包括研磨盘、 修正 轮、倒边波形筒 等。自主研发的 修正轮，用于修整 磨损的双面研磨盘，是半导体光学晶片精 密研磨机 使用中的必备产品 ，可提高研磨盘的使用寿命和研磨 效率。 在温岭市经济和信息化局的指导下， 由温岭市机床装备行业协会制定 T/WLJC 58－2019 《晶片精密 研磨盘用修正轮 》。 本标准起草单位承诺，销售的产品符合 T/WLJC 58－2019。 本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及到与本文件 内容相关的专利 的使用： ——一种修正轮， CN 205660538 U ； ——修正轮， CN 205660539 U ； ——研磨盘用修正轮 ，CN 205968648 U 。 本文件的发布机构对于上述专利的真实性、有效性和范围无任何立场。 该专利持有人已向本文件的发布机构保证， 愿意同任何申请人在合理且非歧视的条款和 条件下，就专利授权许可进行谈判。该专利持有人的声明已在本文件的发布机构备案。相关 信息可以通过以下联系方式获得： 专利持有人姓名： 李正良， 张雷。 地址：浙江省台州市温岭市滨海镇 金港工业区。 请注意除上述专利外，本文件的某些内容仍可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识 别这些专利的责任。 全国团体标准信息平台 T/WLJC 58－2019 1 晶片精精密 研磨盘用修正轮 1 范围 本标准规定了 晶片精密 研磨盘用修正轮 的型式规格 、技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于 晶片精密 研磨盘用修正轮 。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本 适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件， 其最新版本 （包括所有的修改单） 适用于本文件。 GB/T 231.1 金属布氏硬度试验 第1部分：试验方法 GB/T 1348 球墨铸铁件 GB/T 6060.1 表面粗糙度比较样块 铸造表面 GB/T 6414 铸件 尺寸公差、几何公差与机械加工余量 GB/T 7233.1 铸钢件超声检测 第1部分：一般用途铸钢件 GB/T 9439 灰铸铁件 GB/T 11351 铸件重量公差 GB/T 15056 铸造表面粗糙度 评定方法 3 型式规格 3.1 结构型式 晶片精密 研磨盘用修正轮（以下简称修正轮）的 常用结构型式见图 1～图 6。对于本节未 规定的结构型式，本标准的技术要求仍然适用。 图1 图2 全国团体标准信息平台 T/WLJC 5 8－2019 2 图3 图4 图5 图6 3.2 规格尺寸 常用修正轮的规格尺寸见表 1，也可根据用户使用需求对表 1中的外径和厚度尺寸进行调 整。对于表 1中未规定的规格 尺寸，本标准的技术要求仍然适用。 表1 规格 外径 mm 厚度 mm 齿数 模数 4B 修正轮 φ104 20 50 2 6B 修正轮 φ143.7 20 60 2.117 9B 修正轮 φ232.8 25 108 2.117 13B 修正轮 φ315.4 25 147 2.117 16B 修正轮 φ435 30 143 3 22B 修正轮 φ558 35 184 3 注：修正轮与研磨盘配套使用，表 1中的 4B、6B等为研磨盘 规格。 4 技术要求 4.1 材料 修正轮的铸件采用 GB/T 9439规定的灰铸铁 HT300制作，或采用 GB/T 1348 规定的球 墨铸铁 QT 450-10制作。 4.2 硬度 铸件的布氏硬度范围 HBW 160～HBW 190。 全国团体标准信息平台 T/WLJC 58－2019 3 4.3 尺寸公差 如需方无特殊要求时，铸件尺寸公差应达到 GB/T 6414 中CT10级的规定。 4.4 重量偏差 如需方无特殊要求时，铸件重量偏差应达到 GB/T 11351 中MT13级的规定。 4.5 铸件表面质量 4.5.1 铸件浇口、冒口、飞边毛刺、粘砂等应清除干净，浇口、冒口打磨残余量应不影响 铸件使用。 4.5.2 铸件在清整和处理铸造缺陷过程中，不允许使用火焰切割、电弧气刨切割、电焊切 割和焊补。 4.5.3 如需方无特殊要求时，铸件表面粗糙度应达到 GB/T 6060.1 中Ra25级的规定。 4.6 铸件的缺陷 4.6.1 铸件不允许有裂纹和影响使用性能的夹渣、夹砂、冷隔、气孔、缩孔、缩松、缺肉 等铸造缺陷。 4.6.2 铸件加工面上允许存在加工余量范围内的缺陷。 4.6.3 需方对铸件内部缺陷的超声波探伤要求时，由供方提供超声波探伤检测报告。 4.7 修正轮表面质量 修正轮的非工作面应加工平整，所有尖角和棱边应园滑，其曲率半径不应小于 2 mm， 尖角和棱边可以倒角 45°给出。 4.8 修正轮精度 4.8.1 修正轮整个工作面的平面度 ≤0.02 mm，两面平行度 ≤0.005 mm 。 4.8.2 修正轮 4个或 5个为一组，组内各修正轮之间的厚度误差 ≤0.02 mm。 5 试验方法 5.1 硬度试验 5.1.1 布氏硬度试验 按GB/T 231.1 的规定执行 。 5.1.2 检查硬度时， 在铸造表面 1.5 mm以下处测试。 5.2 表面质量 检查 5.2.1 铸件表面 质量用目测方法检验。 5.2.2 铸件的铸造表面粗糙度检验，按 GB/T 6060.1 和GB/T 15056 的规定执行。 5.2.3 修正轮表面质量，用目测方法 检验，必要时采用辅助性的尺寸测量手段。 5.3 缺陷检测 5.3.1.1 铸件表面缺陷，以目视方式进行检查 ，也可采用辅助性的尺寸测量手段 。 5.3.1.2 铸件的内部缺陷， 超声波检测 方法按GB/T 7233.1 的规定执行 ，检测的频次和数 量由供需双方商定。 5.4 精度检测 全国团体标准信息平台 T/WLJC 5 8－2019 4 5.4.1 修正轮工作面平面度 检测 检测修正轮 整个工作面经磨削加工后的平面度误差， 可以沿着平行于该工作面各边的一 些直线和对角线与一 基准平尺比较，测量出各个直线度误差来检测其平面度误差；然后把工 作面的中心点的结果和其他被检测线许多交点处的结果联系起来，综合为平面度误差。 5.4.2 修正轮两面平行度检测 基准平面用平板体现，用百分表或千分表在被测平面内滑过，找到指示表读数的最大值 和最小值。 5.4.3 修正轮组内厚度误差检测 用卡尺进行测量。 6 检验规则 6.1 检验权利 6.1.1 铸件和修正轮 由供方质量部门检查和验收。 6.1.2 需方在必要时可以要求对 铸件或修正轮 进行复验。 6.1.3 供方对检验结果的真实性负责，在需方要求时提交生产记录文件。 6.2 检验地点 6.2.1 除供需双方商定在需方检验外，最终检验一般在供方进行。 6.2.2 供需双方对铸件或修正轮 质量发生争议时，检验可在通过实验室资格认定的第三方 进行。 6.3 试验的有效性 6.3.1 供方按本标准进行检查，并对完成的所有测试结果的准确性和真实性负责。 6.3.2 试验和检查要使用自有的或其他可靠的设备，保存所有的试验和检查记录，留需方 复查。 6.4 硬度试验 铸件硬度 试验的部位、频次和数量由供需双方商定。 6.5 尺寸公差检测 6.5.1 首批铸件 每