`ICS31.260 CCS51 T/ZZB 3949—2025 阻焊制程激光直写式光刻设备 Laser direct writing lithography equipment for solder mask process 2025-12-20发布 2025-12-31 实施 浙江省质量协会 发 布团 体 标 准 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3949 —2025 I目 次 前 言 ........................................................................................................................................................... II 1 范围 ..................................................................................................................................................................... 1 2 规范性引用文件 ................................................................................................................................................. 1 3 术语和定义 ......................................................................................................................................................... 1 4 基本要求 ............................................................................................................................................................. 2 5 结构与工作条件 ................................................................................................................................................. 2 6 技术要求 ............................................................................................................................................................. 3 7 试验方法 ............................................................................................................................................................. 6 8 检验规则 ............................................................................................................................................................. 9 9 标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件 ...................................................................................... 10 10 质量承诺 ......................................................................................................................................................... 11 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3949 —2025 I I前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由浙江省质量协会归口。 本文件主要起草单位：杭州欣俊哲微纳科技有限公司。 本文件参与起草单位：安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种 光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子 有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司。 本文件主要起草人：焦克北、陈泽瑞、王阔、王鹏、余子英、方骁远、钟迪、周文晖、黄康华。 本文件评审专家组长：陈萍。 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3949 —2025 1阻焊制程激光直写式光刻设备 1 范围 本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备（以下简称“光刻设备”）的基本要求、结构与工 作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量 承诺。 本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中，利用激光直写成像技术在基板上形 成阻焊图形的光刻设备。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用 文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单） 适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 2893.2 图形符号 安全色和安全标志 第2部分：产品安全标签的设计原则 GB/T 5226.1—2019 机械电气安全 机械电气设备 第1部分:通用技术条件 GB/T 6388 运输包装收发货标志 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB/T 16471 运输包装件尺寸与质量界限 GB/T 18209.2—2010 机械电气安全 指示、标志和操作 第2部分：标志要求 GB/T 43725—2024 直写成像式曝光设备 SJ/T 10668—2023 电子组装技术术语 3 术语和定义 SJ/T 10668—2023、GB/T 43725—2024界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 复合激光光源 Composite laser light source 由两个及以上中心波长不同的独立激光器组合而成，可同时或分时输出多种波长激光的光源系 统。 3.2 最大光源功率 Maximum light source power 激光光源在额定工作条件下，所有波长同时工作时的总输出光功率最大值。 3.3 重复对准精度 Repeat alignment accuracy 光刻设备的运动平台在相同指令下驱动光学系统多次对准同一目标点， 各次坐标与基准坐标在x 方向与y方向上的坐标差值。 3.4 对准精度 Alignment accuracy 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3949 —2025 2光刻形成的阻焊图形与基板上原有线路图形之间的相对位置精度。 4 基本要求 4.1 研发设计 4.1.1应具备高性能光学引擎的自主设计与迭代开发能力。 4.1.2应具备实现高精度对准与稳定曝光的核心控制软件与算法的自主开发能力。 4.1.3应具备多波长复合激光光源的定制化开发与迭代能力。 4.2 零部件 4.2.1激光光源应集成不少于三个复合波长，各波长与额定波长偏差应不超过±5 nm。 4.2.2运动平台应配备高精度导轨与直线电机，应能实现七轴联动控制，实现直线度 8 μm、定位 精度 4 μm、重复定位精度 2 μm 的高精度运动。 4.2.3对位系统中相机和镜头组合的成像系统的像素尺寸要求应小于等于 7.5μm×7.5 μm。 4.3 工艺装备 4.3.1产品生产装配环境应能实现恒温恒湿控制，温度控制在 22 ℃±2 ℃，相对湿度控制在 50 % ±10 %范围内，洁净室等级不低于万级要求。 4.3.2应配备阻焊油墨涂布机、烘烤机、显影机、超声波清洗机等设备。 4.3.3应具备光源、运动平台等关键部件的自动化生产/组装线。 4.4 检验检测 4.4.1应开展能量均匀性、图形拼接精度、有效曝光尺寸、噪声、双台面并行曝光、紧急停止开关 等项目的检测。 4.4.2应配备牛尾照度计、PS 测试板、基恩士显微镜、分贝检测仪、光功率计、光谱仪等检测与 辅助设备。 5 结构与工作条件 5.1 结构组成 光刻设备主要结构组成见表1。 表 1 主要结构组成结构 说明 曝光台面 具备吸附、固定功能的基板放置台面 成像系统 光源、成像及空间光调制器 环控系统 控制设备内部温度、湿度的模块 定位系统 多轴定位平台系统 控制系统 控制模块和输入、输出接口 对位系统 用