ICS 25.080.60 CCS J 57 T/ZZB 1790—2025 代替 T/ZZB 1790—2020 团体标 准 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 Sputter equipment for Cu-In -Ga-Se thin film solar cells 2025 - 06 - 12发布 2025 - 07 -12实施 浙江省质量协 会 发 布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 1790 —2025 I 目 次 前言 ................................................................................. II 1 范围 ............................................................................... 1 2 规范性引用文件 ..................................................................... 1 3 术语和定义 ......................................................................... 1 4 结构与使用环境 ..................................................................... 1 5 基本要求 ........................................................................... 2 6 技术要求 ........................................................................... 2 7 试验方法 ........................................................................... 3 8 检验规则 ........................................................................... 4 9 标志、包装、运输和贮存 ............................................................. 5 10 质量承诺 .......................................................................... 5 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 1790 —2025 II 前 言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替 T/ZZB 1790— 2020《铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备》，与 T/ZZB 1790 —2020相 比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ——更改了术语和定义中GB/T 3163（见 3，2020版的3）； ——增加了对设备能耗指标和智能化设计的基本要求（见 5.1.5，5.1.6 ）； ——增加了“ 镀膜试验 ”在型式检验中作为必检项目的相关要求（见 8.3.4，2020 版的8.3.4）； ——更改了产品使用说明书的编写标准GB/T 9969 （见9.1.3，2020 版的9.1.3 ）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件 的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本文件由浙江省 质量协会提出并归口。 本文件主要起草单位：嘉兴市嘉安检验检测有限责任公司。 本文件参与起草单位（排名不分先后）：浙江省标准化研究院、九郡绿建（嘉兴）科技有限公司、 浙江华电器材检测研究院有限公司、海宁市产品质量检验检测所、浙江方堃检测有限公司、浙江上方电 子装备有限公司、浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂（普通合伙）。 本文件主要起草人： 孙伟、刘亮俊、袁衢龙、韩雷涛、 卞栋梁、吴登国、俞铭阳、刘浩乐、卢奕骁、 孙思凡、来华杭、周海龙、蔡好、袁海萍、洪东、陈敏、虞跃华、王晨、姚亮。 本文件评审专家组长：胡弘波 。 本文件及其所代替文件的历史次版本发布情况为： ——2020年首次发布为 T/ZZB 1790—2020 ； ——本次为第一次修订 。 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 1790 —2025 1 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 1 范围 本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备(以下简称“设备”）的术语和定义、结构与 使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。 本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的生产及检验。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 3077 合金结构钢 GB/T 3163 真空技术 术语 GB/T 5226.1—2019 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB/T 9969 工业产品使用说明书 总则 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条 件 GB/T 17248.3 声学 机器和设备发射的噪声 采用近似环境修正测定工作位置和其他指定位置的 发射声压级 GB/T 18680 液晶显示器用氧化铟锡透明导电玻璃 GB/T 43780 制造装备智能化通用技术要求 JB/T 8945 真空溅射镀膜设备 3 术语和定义 GB/T 3163 界定的术语和定义适用于本文件。 4 结构与使用环境 结构组成 设备由进片单元、磁控溅射镀膜系统（ PVD）、出片单元及电气控制系统组成，结构示意图见图1 。 图1 结构示意图 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 1790 —2025 2 使用环境 a) 工作环境温度应为 10℃～40℃； b) 相对湿度应不大于 60%； c) 冷却水流量应不小于 50m3/h； d) 冷却水进口温度应为 17℃～23℃； e) 冷却水进水压力应为 0.5MPa～0.7MPa ； f) 冷却水回水压力应不大于 0.05MPa； g) 压缩空气流量应不小于 200m3/h； h) 压缩空气压力应为 0.5MPa～0.7MPa； i) 供电电源电压应为三相五线式 380V～400V，不小于 500KVA； j) 供电电源频率应为 50Hz～60Hz。 5 基本要求 设计研发 5.1.1 应采用计算机三维辅助设计软件，对设备结构及外观进行优化设计。 5.1.2 应采用模块化设计。 5.1.3 应建立工艺参数验证平台。 5.1.4 应建立与设备配套的软件操作系统。 5.1.5 设备能耗指标宜符合国家 《重点用能产品设备能效先进水平、 节能水平和准入水平 （ 2024年 版 ）》 中准入水平要求。 5.1.6 宜对设备进行智能化设计，如数据采集、远程监控、故障诊断等。 原材料和零部件 5.2.1 靶材利用率应不小于 70%，靶材为钼、氧化锌等。 5.2.2 设备零部件的耐腐蚀性能应不低于 304不锈钢要求。 工艺装备 5.3.1 磁控溅射镀膜系统腔体应采用 304不锈钢板或更优材质的不锈钢板，符合 GB/T 3077 规定。 5.3.2 应配置前级粗抽泵组和分子泵，保证沉积室极限真空度应不大于 5×10-4Pa。 5.3.3 配置低、高真空规及控制显示单元，测量并监控设备的真空度。 5.3.4 配置的电源波动应在额定值的± 5%范围之内。 5.3.5 配置的气体流量计，应保证工艺气体所需的流量（ 0～3000sccm 可控）。 5.3.6 每个工艺模块应配置压力测试装置。 5.3.7 应配置旋转阴极磁控溅射镀膜源。 5.3.8 特殊工艺条件下，还应配置气隔离装置。 5.3.9 应配置独立控制的气体入口及气体分布系统。 5.3.10 设备出口应配置基板冷却装置，出片温度应低于 50℃。 检验检测 5.4.1 应配备三坐标测量仪等检测设备对旋转阴极零部件的机械性能等项目进行检测。 5.4.2 应配备台阶仪、椭偏仪、电阻率测试仪等检测设备对表面粗糙度、膜厚、导电性等薄膜性能项 目进行检测。 5.4.3 应配备检漏仪等检测设备对气密封性能等项目进行检测。 6 技术要求 外观要求 6.1.1 设备外表不应有裂纹、凹陷、毛刺等缺陷。 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 1790 —2025 3 6.1.2 焊接件的焊缝上应无焊渣、溅粒。