ICS 81. 040.30 Q 35 JC 备案号：34406一2012 中华人民共和国建材行业标准 JC/T 597—2011 代替JC/T597—1995 半导体用透明石英玻璃管 Transparent quartz glass tubes for semiconductor 2011-12-20 发布 2012-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 JC/T 597-2011 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JC/T597一1995《半导体用透明石英玻璃管》。与JC/T597一1995相比，除编辑性修 改外主要技术变化如下： 修改了范围（见第1章，1995年版的第1章）： 增加了规范性引用文件（见第2章，1997年版的第2章） 一删除、修改、增加了部分术语和定义（见第3章，1995年版的第3章）： -取消了原标准中分类方法，修改成按用途分为太阳能级透明石英玻璃管（T级)和电子级透明石 英玻璃管(D级）（见4.1，1995年版的4.1和4.2)； 增加了标记（见4.2)； 一扩大了规格尺寸并加严了尺寸偏差的要求（见5.1，1995年版的5.1和5.2)； 加严外观质量要求（见5.2，1995年版的5.3)； 修改了杂质元素含量要求（见5.3.1，1995年版的5.4.1)； 修改了热稳定性要求（见5.3.3，1995年版的5.5.1)； 一增加了热变色性要求（见5.3.4)； 修改了抗析晶性要求（见5.3.5，1995年版的5.5.2)； 修改了尺寸偏差、外观质量试验方法（见6.1，1995年版的6.1)； 修改了尺寸偏差、外观质量抽样方法（见7.2.3，1995年版的7.2.2)； 一修改了附录A、附录B（见附录A和附录B，1995年版的附录A和附录B)。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447)归口。 本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。 本标准参加起草单位：连云港市东海县宏伟石英制品有限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。 本标准主要起草人：吴洁、杨晓会、刘坚、丁家兴、杨家茂。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB 9657-—1988、JC/T 597—1995。 JC/T597—2011 半导体用透明石英玻璃管 1范围 本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以 及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。治金、化学工业用 透明石英玻璃管也可参照本标准。 2天 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T4121石英玻璃热变色性试验方法 GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法 GB/T10701 石英玻璃热稳定性试验方法 GB/T12442 石英玻璃中羟基含量检验方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 气泡bubble 石英玻璃管壁内的圆形、椭圆形空穴。 3. 2 破皮气泡 openbubble 暴露在石英玻璃管内外表面的开口气泡。 3. 3 气线airline 石英玻璃管壁内或表面平行于管长方向的线状、梭状空穴。 3. 4 破皮气线 openairline 暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线。 3. 5 气泡群 bubbleclusters 石英玻璃管壁中，由微小气泡（小于标准中气泡的下限尺寸）密集而成的群集气泡。 3. 6 色线colorline 1 JC/T597—2011 石英玻璃管上带有颜色的线条。 3.7 色斑discoloration 石英玻璃管壁上的带有颜色的点。 3.8 麻点spot 石英玻璃管壁上的小斑点。 3.9 杂质impurity 石英玻璃组成中的二氧化硅(SiO2)以外的组分。 3.10 生料颗粒batchparticle 石英玻璃管中未熔化的石英颗粒。 3.11 透明颗粒transparentparticle 石英玻璃管中的透明石英颗粒。 3.12 波纹ripple 石英玻璃管的内、外壁表面呈现轴向的波浪形凹凸不平。 3.13 沟棱striation 石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱， 3.14 揪痕 scratch 排除石英玻璃管壁上外观缺陷后留下的痕迹。 3.15 暗疤 darkstripe 石英玻璃管壁呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态（俗称雪花，破皮和梅花）。 3.16 炸裂thermal crack 石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或破裂。 3.17 崩落 flakeoff 石英玻璃管表面呈贝壳状的破损。 3.18 晶纹regularmicrocrack 石英玻璃管中呈“人”字或“一”字形的微小裂纹。 3.19 析晶devitrification 石英玻璃管析出晶体造成的失透。 3. 20 桔皮 orange peel 石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的缺陷。 2 JC/T597—2011 3. 21 云雾vapor 石英玻璃管表壁上附着的白色不透明二氧化硅(Si02)挥发物。 3. 22 椭圆度ovality 石英玻璃管同一横截面上最大、最小直径之差除以公称直径，以百分数表示。 3.23 偏壁度siding 石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差除以公称壁厚，以百分数表示。 3. 24 弯曲度bow 石英玻璃管在长度方向的平直程度。 4分类和标记 4.1分类 按用途分为太阳能级透明石英玻璃管(T级)和电子级透明石英玻璃管(D级）。 4.2标记 产品按分类（T或D）、产品名称、产品规格、生产批号和标准编号的顺序标记。 示例：符合JC/T597—2011，外径为200mm，长度为1000mm，生产批号为20090710的太阳能级透明石英玻璃管 标记为： T-石英玻璃管-200×1000-20090710-JC/T597—2011 5要求 5.1 规格尺寸及尺寸偏差 外径及外径偏差应符合表1的规定。 5.1.1 表1 外径范围 外径偏差 椭圆度 mm % % Φ<100 ±2.0 2. 0 100≤<250 ±2.2 2. 2 250≤Φ<300 ±2.5 2. 5 Φ≥300 ±1. 0 1. 0 注：特殊规格的石英玻璃管，由供需双方商定。 5.1.2 壁厚及壁厚偏差应符合表2的规定。 3 JC/T597—2011 表2 壁厚范围 壁厚偏差 偏壁度 mm % % t<1.5 ±8 8 1.5≤t<4.0 ±10 10 4.0≤t<5.0 ±12 12 t≥5.0 ±15 15 注：特殊规格的石英玻璃管，由供需双方商定。 5.1.3 长度偏差应小于等于5mm 5.1.4 椭圆度应符合表1的规定。 5.1.5 偏壁度应符合表2的规定。 5.1.6弯曲度不应超过管长的0.2%，管长大于1000mm时弯曲度不得超过管长的0.25%。 5.2外观质量 5.2.1 各项外观指标均对每米石英玻璃管而言。 5.2.2气泡、气线应符合表3的规定。 表3 最大允许值 壁厚 外观缺陷 mm t<1.5 1.5≤t<4.0 090 t≥5.0 Φ<0.3mm 不计 0.3mm≤Φ≤1.0mm 6 8 10 15 气泡 (个/100cm） 1. 0m<≤2. 0m 4 6 8 12 不允许 Φ>2.0mm 最大宽度/mm 0.8 1. 0 1.2 1.5 气线 最大长度/mm 10 15 20 气线累计长度/mm 不超过10%管长 长度<5mm 气泡群 3 （个/100cm） 长度≥5mm 不允许 破皮气泡、破皮气线 不允许 5.2.3 其他缺陷应符合表4的规定。 4 JC/T597—2011 表4 外观缺陷 要求 Φ<2 mm 5 麻点、杂质点 2m≤≤5mm (个/100cm) 不允许 Φ>5 mm 透明颗粒/（个/100cm"） 20 波纹 应小于等于偏壁度 沟棱 应小于等于偏壁度 痕 应无明显凸凹不平、光滑平整 暗疤 长径<4mm 4 （个/100cm） 崩落 允许有长度小于5m，宽度小于3m，深度小于1/3壁厚的崩落1处 外表面 宽度≤0.5mm，累加长度不得超过管长的10%，单条长度不超过150mm 划伤 内表面 不允许 色线、色斑、生料颗粒、桔皮、云雾、 炸裂、裂纹、晶纹、析品、脏物、手指 不允许 印、水迹 5.3物理化学性能 5.3.13 杂质元素含量 5.3.1.1T级石英玻璃管 T级石英玻璃管的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含 量应不大于30.00×10~，其中：铁含量应不大于1.50×10，钛含量应不大于3.00×10，铜含量应不 大于0.80×10，硼含量应不大于0.20×10，锂、钠、钾总含量应不大于5.00×10°。 5.3.1.2D级石英玻璃管 D级石英玻璃管的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钻、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含 量应不大于25.00×10°，其中：铁含量应不大于0.80×10*，钛含量应不大于2.00×10，铜含量应不 大于0.50×10″，硼含量应不大于0.10×10，锂、钠、钾总含量应不大于2.50×10。 5.3.2羟基含量 石英玻璃管的羟基含量应小于等于220×10°。 5.3.3热稳定性 石英玻璃管在1200℃士5℃下保温20min，置于