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ICS 81. 060.30 Q32 JC 备案号:344172012 中华人民共和宝建材行业标雅 JC/T 2067—2011 太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷珀 Fused Silica ceramic crucible for solar poly-crystalline silicon crystal growth 2011-12-20发布 2012-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T 2067—2011 前 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会(SAC/TC194)归口。 本标准主要起草单位:江西中材太阳能新材料有限公司,中材高新材料股份有限公司。 本标准主要起草人:吴翠珍、任丽敏、孙峰、董廷霞、韩加兵、王少峰。 本标准为首次发布。 JC/T 2067—2011 太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷埚 1范围 本标准规定了太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷(以下简称石英陶瓷埚)的术语和定义、标记、技 术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于太阳能多晶硅铸锭炉中用来装载多晶硅原料、进行多晶硅铸锭和熔炼提纯用的熔融石 英陶瓷。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2997致密定形耐火制品体积密度、显气孔率和真气孔率试验方法 GB/T3001耐火材料常温抗折强度试验方法 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T5072耐火制品常温耐压强度试验方法 GB/T5990耐火材料导热系数试验方法(热线法) GB/T7320耐火材料热膨胀试验方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 熔融石英陶瓷fusedsilicaceramic 以熔融石英或石英玻璃为原料、采用陶瓷的制造工艺生产的一种主晶相为无定形石英的烧结体,简 称石英陶瓷。 3.2 缺损chip 石英陶瓷埚表面和边棱上形成的异常缺失,如图1a)所示。 3.3 凹坑fovea 石英陶瓷埚表面的口径内小外大的凹陷坑,如图1b)所示。 3.4 针孔hole 孔洞cavity 石英陶瓷埚表面的口径内大外小的孔眼,如图1c)所示。 JC/T2067—2011 a)缺损 b)凹坑 c)针孔(孔洞) 图1外观质量 3.5 裂纹/暗纹crack 石英陶瓷埚表面/内部的开裂。 3.6 斑点spot 石英陶瓷埚表面的不同于基体颜色的点。 4 标记 石英陶瓷埚按产品名称、产品规格和标准编号的顺序标记。 示例:规格为720mm的石英陶瓷埚标记为: Crucible-720(JC/T2067—2011) 5技术要求 5.1外观质量 应符合表1的规定。 表1石英陶瓷埚外观质量 外观 A区 B区 c区 D区 E区 缺损 不允许 ≤25mm×15mmX5mm 变形 内角变形不能影响厚度 - 凹坑 宽不大于3mm,深不大于2mm,每面不多于4个 宽不大于3mm,深不大于2mm,每面不多于8个 针孔 中≥3mm、深不小于2mm,不允许 裂纹、暗纹 不允许 杂质点 不允许 注:各区域划分见图2。 2 JC/T2067—2011 E B A区:结晶区域 B区:熔化区域 C区:外壁侧面 C A D区:外壁底面 E区:口沿一 一距璃项部2cm深的一圈的内外面 D 图2 石英陶瓷区域分布图 5.2 2尺寸偏差 应符合表2的规定。 表2 石英陶瓷埚尺寸的允许偏差 项目 相对于公称尺寸的允许偏差 埚口长度 ±1% 底长度 ±1% 埚高度 ±1% 口壁厚 ±2 mm 侧壁弯曲 ±4 mm 注:用户另有要求时,以双方确认的图纸要求为准。 3化学成分 5.3 应符合表3的规定。 表3 3石英陶瓷埚化学成分 组成 单位/质量分数 指标值 Si0, % ≥99.7 A1 ≤2 000 Ti ≤200 Fe ≤200 Ca ≤150 Cu ≤10 K Li. ≤30 ×10° ≤50 Na ≤50 Zr ≤50 Min ≤3 P ≤20 B ≤2 08 3 JC/T2067—2011 5.4物理性能 物理性能指标应符合表4的规定。 表4·石英陶瓷埚的物理性能 项目 指标值 体积密度/(g/cm) ≥1.78 显气孔率/% ≤17 常温耐压强度/MPa ≥40 常温抗折强度/MPa ≥10 导热系数(20℃~1100℃)/[W/(m·K)], 0.50~2.00 热膨胀系数(20℃~1000℃)/℃l ≤1.0X10* 试验方法 6 6.1外观质量 在不低于36W的荧光灯或白炽灯下、光源与石英陶瓷距离不超过600mm,或者在与上述条件 相当的照度下,肉眼观察或溶剂涂擦肉眼观察。 使用的溶剂必须是不污染石英陶瓷埚外观并且不影响其使用性能的无色无毒液体,涂擦的方法可 以是喷涂或浸泡。缺陷尺寸采用精度不大于1mm的塑料尺等器具进行测量。具体检测方法见表5。 表5石英陶瓷埚外观质道 外观 检测方法 缺损 变形 凹坑 肉眼观察 针孔 斑点 裂纹/暗纹 溶剂涂擦肉眼观察 6.2尺寸偏差 尺寸偏差检验按表2规定的指标检测,检测方法见表6。 表6石英陶瓷埚的尺寸偏差 项 目 检测项目 检测工具 检测方法 口长度 测量甘口沿的外部尺寸 用分度值不大于1mm的塑料尺 底长度 测量埚底部的外部尺寸 每面至少测量3点, 等器具测量 取平均值或最大值 埚商度 测蛋埚四个侧壁中间高度的外部尺寸 和最小值 用分度值不大于0.02mm的游 埚口壁厚 测量地埚四个侧壁口沿的壁厚 标卡尺等器具测量 测量四个侧壁弯曲的最大值,外凸用 “十”表 每面至少测量3点, 侧壁弯曲 用水平尺、塞尺等器具测量 示,内凹用“一”表示 取最大值 4 JC/T2067——2011 6.3化学成分 按GB/T3284规定的方法进行检测。 6.4物理性能 6.4.1体积密度、显气孔率 按GB/T2997规定的方法进行检测。 6.4.2 2常温耐压强度 按GB/T5072规定的方法进行检测。 6.4.3常温抗折强度 按GB/T3001规定的方法进行检测。 6.4.4导热系数 按GB/T5990规定的方法进行检测。 6.4.5热膨胀系数 按GB/T7320规定的方法进行检测。 7检验规则 7.1检验分类 7.1.1常规检验 产品入库前必须做常规检验,检验项目为外观质量和尺寸偏差。 7.1.2型式检验 产品的型式检验项目为本标准技术要求规定的所有项目,在工艺技术条件不变的情况下,每年至少 进行一次。工艺技术条件变化时,随时进行检验。 7.2抽样 7.2.1组批 采用同一工艺条件,每1000只为一批,数量不足1000只的,则规定实际数量为1批。 7.2.2抽样规则 对于同一批次的每只埚进行外观质量和尺寸偏差检验,理化性能从每一组批产品生产过程中的制 品中随机抽取1只,如用户另有要求供需双方协商确定。 7.3判定规则 7.3.1单项判定 7.3.1.1 外观质量和尺寸偏差 5

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