ICS 61.020 FZ Y 75 中华人民共和国纺织行业标准 FZ/T 80013—2012 洁净室服装 易脱落大微粒检测方法 Cleanroom garment-Test method of easy shed large particles 2012-12-28发布 2013-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 FZ/T80013—2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国纺织工业联合会提出。 本标准由全国服装标准化技术委员会（SAC/TC219)归口。 本标准主要起草单位：上海佰洁静电检测技术中心、上海市服装研究所、上海晨隆静电科技有限公 司、深圳市新纶科技股份有限公司、苏州市苏信净化设备厂、苏州天华超净科技股份有限公司、海特 斯（上海）洗涤服务有限公司。 本标准主要起草人：徐明、黄建华、张训彪、蔡云峰、魏晓波、管映亭、惠旅锋、裴振华、任圣欣、王珣、 吴磊、朱昌华、李道重、杨秀月。 I FZ/T80013—2012 引言 随着我国电子、半导体、航空航天、精密仪器、医药等高科技产业的进步，洁净室技术发展迅速，洁净 室服装的作用也越来越突出。 与其他测试较微小的颗粒污染（粒径小于5um)方法不同，本方法主要关注洁净服上易脱落的大微 粒和纤维。洁净室服装在使用过程中，服装上的易脱落大微粒一旦从服装上脱落下来，就会成为洁净室 内的污染物。检测并控制洁净服易脱落大微粒的数量，对于保证洁净室的品质具有重要的意义。 洁净室服装上的易脱落大微粒，包括易脱落的短纤维。纤维的形态与一般微粒有较大的差别，所以 需要分别检测。 洁净室服装上的易脱落大微粒的密度，取决于服装的材料、加工和清洗等多种因素。洁净室服装的 以后，才能满足在洁净室中使用的需要。本标准的检测对象是经过洁净清洗包装后的洁净室服装，检测 工作不包括清洗。 I FZ/T80013—2012 洁净室服装 易脱落大微粒检测方法 1范围 本标准规定了洁净室服装易脱落大微粒的检测方法，其中包括：术语和定义、检测项目、检测原理 检测条件、检测操作、数据处理、结果报告等。 本标准适用于纺织机织物制作而成的洁净室服装，非织造布制作的洁净室服装也可以参照进行。 本标准不适用于非透气性材料制作的洁净室服装。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 洁净室服装 cleanroomgarment 在洁净室及相关受控环境中穿着的，用以防止静电放电损害产品及保护洁净室环境符合洁净度要 求的服装。 3. 2 大微粒 largeparticles 等效粒径不小于5μm的微粒。 3.3 纤维 fiber 长径（长宽）之比不小于10，且长度不小于50μm的微粒。 3.4 易脱落微粒 easy shed particles 在织物两面压差为98Pa条件下，从洁净室服装上脱离的微粒。 4检测项目 4.1 易脱落纤维的密度（根/m²）。 4. 2 易脱落不小于5um的微粒的密度（颗/m²）。 5 检测原理 用夹具将服装的单层的指定部位固定成平面。用抽气泵抽取空气，进气口紧贴服装平面部分的下 1 FZ/T80013—2012 表面，形成一定的气压差，服装上的易脱落大微粒会脱落到气流中。用滤膜收集服装上脱离下来的大微 粒，再用显微镜成像拍照，在图像上通过方格法统计滤膜上大微粒的尺度和个数。结合服装被测的面积 计算出服装上易脱落大微粒的密度。 检测条件 6 6. 1 环境条件 6. 1.1 检测室的温度：（20士5）℃。 6. 1. 2 检测室的湿度：（50士10）%RH。 6.1.3 检测室洁净度：不低于ISO5级，参照标准GB/T25915.1一2010。 6.2 仪器设备 6.2.1 体视显微镜：最大标称放大倍率不小于100倍 显微镜标准尺：分度值为10μm。 6.2.2 6.2.3 体视显微镜的图像记录设备。 6.2.4 卡尺，误差不超过士0.1mm。 6.2.5 压差计，量程0Pa～200Pa，误差不超过士5%。 6.2.6 抽气泵，可对6.2.7夹具上的样品施加不小于100Pa的负压。 6.2.7 洁净室服装夹具如图1所示。内环内径不小于65mm，材料的选用应不得污染洁净室环境 内环 螺丝 外环 一螺丝 立体图 俯视图 图1洁净服夹具 滤膜夹具如图2所示，材料使用不锈钢，部件A内壁粗糙度不大于0.8μm。 6.2.8 2 FZ/T80013—2012 P60 $ 54 ?50 $50 硅橡胶垫圈截面图 部件A 硅橡胶垫圈 部件A 硅橡胶垫圈 3孔均匀分布，04， 上下配钉 部件B 部件B R5 可调阀门 接真空泵 立体图 @100 截面图 图2滤膜夹具示意图 6.3器具 6.3.1不小于三位数的计数器。 6.3.2 ：控压阀。 6.3.3培养皿，内径不小于70mm。 6.3.4 不锈钢镊子，顶端不带齿。 6.4材料 6.4.1 大微粒滤膜：孔径不大于1μm。 6.4.2 洁净擦拭布。 6.4.3 异丙醇与去离子水（70：30)的溶液，用2um滤膜进行过滤。 6.4.4 乙醇：浓度99.9%。 3