ICS23.160 JB J78 备案号：34895—2012 中华人民共和国机械行业标准 JB/T4081—2011 代替JB/T4081—1991、JB/T4082—1991 真空技术 溅射离子泵 Vacuum technologySputter-ion pumps 2012-04-01实施 2011-12-20 发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T4081—2011 目 次 前言. II 1范围... 规范性引用文件. 3术语和定义 4型式与参数. 4.1分类.. 4.2 型号表示方法 4.3 基本参数， 5要求... 5.1工作条件.. 5.2 技术要求.. 5.3 外观要求... 5.4 安全要求. 5.5 保护功能. 6测量方法.. 6.1 最低工作压力测量. 6.2 体积流率的测量， 6.3 起动压力的测量.. 6.4 散射磁场的测量.. 6.5 消耗功率的测量... 6.6 泵口径. 6.7 外观检查. 6.8 安全检测. 6.9 保护功能检测， 7检验规则. 7.1 检验分类， 7.2 出厂检验. 7.3 型式检验. 8标志、包装、运输和贮存 8.1 标志 9 8.2 包装. 10 8.3 运输. 10 8.4 10 9质量保证.. 10 图1 测试罩1.. 图2测试罩2.. 图3连接件. 图4典型体积流率曲线示例， 图5 散射磁场的测试点， JB/T4081—2011 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JB/T4081—1991《溅射离子泵型式与基本参数》和JB/T4082—1991《溅射离子泵技 术条件》，与JB/T4081—1991和JB/T4082—1991相比主要技术变化如下： 整合了JB/T4081—1991和JB/T4082—1991的内容； -对JB/T4081一1991表1中的型号进行了调整，重新规定了参数名称，增加了“名义抽速偏差不 得超过实际测量值的士10%”； -增加了“离子泵正常工作条件”（本版的5.1）； 对氩气的抽速不小于对空气抽速的30%”（本版的5.2.8）； -增加了“离子泵的散射磁场应由各制造厂家自行规定，用户需要时制造厂应能提供实际测量值” （本版的5.2.9）； -增加了“离子泵的功率消耗应在制造厂家规定值的土10%内”（本版的5.2.10)； 增加了“外观要求”（本版的5.3)； 增加了“安全要求”（本版的5.4)； 增加了“保护功能”（本版的5.5）； -增加了“测量方法”（本版的第6章）； 删除了JB/T4082—1991第4章试验方法的内容； 修改了JB/T4082一1991中5.2出厂检验的内容（本版的7.2.2）； 修改了JB/T4082一1991中5.1.1的内容，修改了进行型式检验的时机，增加了7.3.1c）、7.3.1d)、 7.3.1e）、7.3.1f）的要求（本版的7.3.1)； 修改了JB/T4082一1991中5.1.2的内容，增加了型式检验项目（本版的7.3.2）； 增加了型式检验样品的抽样方法（本版的7.3.3）； 增加了型式检验不合格后的处理方法（本版的7.3.4）； 修改了JB/T4082一1991中6.3的内容，修改了贮存条件（本版的8.4）。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司。 本标准参加起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：朱国精、邹蒙、李春影。 本标准代替了JB/T4081—1991和JB/T4082—1991。 JB/T4081所代替标准的历次版本发布情况为： -JB/T4081—1985，JB/T4081—1991 JB/T4082所代替标准的历次版本发布情况为： -JB/T4082—1985，JB/T4082—1991。 II JB/T4081-2011 真空技术 溅射离子泵 1范围 本标准规定了普通型式的溅射离子泵（以下简称离子泵）的型式与基本参数、要求、测量方法、检 验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。 本标准适用于普通型式的溅射离子泵。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191—2008 包装储运图示标志 GB/T8251988 吊环螺钉 GB/T2829—2002 周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB4793.1—2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求 GB5226.1-2008 机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T6071—2003 超高真空法兰 GB/T13384—2008 机电产品包装通用技术条件 GB22360—2008 真空泵安全要求 JB/T7673真空技术 真空设备型号编制方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 体积流率 volumeflowrate 在理想条件下，单位时间从测试罩流过离子泵入口的气体体积。 注1：出于实际测量的原因，离子泵对给定气体的体积流率通常约定为等于该气体的流量与给定点的平衡压力之商， 体积流率采用的单位为立方米每秒（m"/s）或升每秒（L/s）。 注2：有时用术语“抽速”和符号“s”来代替体积流率。 3.2 最低工作压力 minimumworkingpressure 泵在关闭进气阀、烘烤过程结束后48h内，在测试罩中逐渐接近的最低压力。 3.3 起动压力 startingpressure 在关闭前级真空泵之后，接通离子泵并开始有效抽气的最大压力。 4型式与参数 4.1分类 本标准把普通型式的离子泵分为二极型离子泵和三极型离子泵。 二极型离子泵的抽气单元由阳极筒和阴极板组成，阳极接正电位，阴极连同泵体接地。 1 JB/T4081——2011 三极型离子泵的抽气单元由阳极、阴极和收集极组成。阳极和收集极连同泵体接地，阴极接负电 位。 4.2 2型号表示方法 a）二极 2L-□ 型溅射离子泵 型号代号，用名义抽速表示（单位为L/s） 二极型离子泵产品代号 b）三极 3L - 口 型溅射离子泵 型号代号，用名义抽速表示（单位为L/s） 三极型离子泵产品代号 型号的表示应符合JB/T7673的规定。 4.3基本参数 普通型离子泵基本参数应符合表1的规定。 表1 型 号 参数名称 2L-15 2L-25 2L-50 2L-100 2L-150 2L-200 2L-300 2L-400 2L-500 2L-600 3L-15 3L-25 3L-50 3L-100 3L-150 3L-200 3L-300 3L-400 3L-500 3L-600 泵口公称直径DN 40 100 160 mm 200 名义抽速‘L/s 15 25 50 100 150 200 300 400 500 600 最低工作压力Pa ≤3×10-8 起动压力Pa ≤0.1 电源电压V 220±22 a名义抽速偏差不得超过实际测量值的土10%。 5 要求 5.1工作条件 离子泵正常工作要满足以下工作条件： a）环境温度：5℃~40℃； b）相对湿度：<85%： c）电源电压：交流220V土22V。 5.2技术要求 5.2.1泵的各项性能指标应符合表1的规定，按经规定程序批准的设计图样及有关技术文件要求制造， 并配有专用电源。 5.2.2泵口法兰必须符合GB/T6071的规定。 5.2.3泵体内壁和泵内部件在总装前应进行满足超高真空工作要求的清洗。 5.2.4 泵体应经氨质谱检漏仪检漏，不得有漏率大于5×10-"Pa·m"/s的漏孔。 5.2.5再生烘烤按照6.1.3进行，烘烤后泵应能获得再生性能。 5.2.6 被抽容器中应不含有机物气体或其他对泵有害的气体。 5.2.7 在低于5×10-4Pa的气压条件下，泵应能连续抽除氢气。 2 JB/T4081—2011 5.2.8二极泵不应连续抽除情性气体；三极泵对氩气的抽速不小于对空气抽速的30%。 5.2.9离子泵的散射磁场应由各制造厂家自行规定，用户需要时制造厂应能提供实际测量值。 5.2.10离子泵的功率消耗应在制造厂家规定值的士10%内。 5.3外观要求 离子泵表面应无磕碰划伤。 5.4安全要求 5.4.1机械安全的要求： a）所有可接触的边、角都应划为避免受伤的区域。对锋利的边缘要有醒目的警告。 b）离子泵的入口应配有封盖。 c）离子泵泵体上应带有手柄、吊环螺钉、接线板、支架等。其中吊环螺钉应符合GB/T825的规 定。 5.4.2电器安全的要求： a）专用电源的电器安装应符合GB4793.1和GB5226.1的要求。 b）离子泵所有导电性的零部件都要有可靠的保护接地，接地阻抗不得超过0.12。如果用高压电缆 的地屏蔽来实现接地，那么应规定最大故障电流，连接前应这样进行：接线前，离子泵接地， 专用电源断电。 c）超过1000V操作电压的线路要有国际性警告标志（GB223602008的5.2.3c））。 d）规定离子泵的最高工作电压，及高压电缆的最高温度。 e）连接专用电源和离子泵的电缆线要经过设计计算，并规定离子泵的最高断路电压。 5.4.3机械设计中的人类工程学原则应符合GB22360一2008中5.7的规定。 5.5保护功能 应有过载保护功能，当泵内压力上升到起动压力以上或专用电源内部因某种原因有短路现象时，过 载保护将切断电源。 6测量方法 6.1最低工作压力测量