ICS 23.160 JB J78 备案号：44417—2014 中华人民共和国机械行业标准 JB/T10076-2013 代替JB/T10076—1999 冷阴极电离真空规管 Cold cathod ionization vacuum gauge head 2013-12-31发布 2014-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T10076-2013 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 3术语和定义 4 技术要求. 4.1 工作条件 4.2 外观. 4.3 连接.. 4.4 漏率... 4.5 绝缘性能. 4.6 零散性 4.7 激发时间. 4.8 稳定性.. 4.9 抗运输环境性能 5试验方法， 5.1 外观试验 5.2 连接试验.. 5.3 漏率试验. 5.4 绝缘性能试验 5.5 零散性试验. 5.6 激发时间试验， 5.7 稳定性试验， 5.8 抗运输环境性能试验 检验规则 6 6.1 通则... 6.2 出厂检验.. 6.3 型式检验 7标志、包装和贮存 7.1标志. 7.2 包装. 7.3 贮存 图1 真空压力试验装置示意图 JB/T10076—2013 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替JB/T10076—1999《冷阴极电离真空规管技术条件》，与JB/T10076—1999相比主要技术 变化如下： 标准的适用范围由“压强不小于5×10~Pa”改为“压力大于1×10-7Pa”（见第1章第二段，1999 年版的第一段)； [见4.3c】，1999年版的1.2c】]； -将“应能符合ZBY002—1981..”改为“按JB/T9329..”，且按新标准JB/T9329修改了抗 运输环境性能要求（见4.9，1999年版的1.9)； 修改了规管连接的检验方法（见5.2，1999年版的2.2）； 漏率试验中增加了玻璃规管密封性的检验方法（见5.3，1999年版的2.3)； 修改了用于规管校准标准装置的总不确定度（见5.5.1.2，1999年版的2.5.3.1)； 增加了对校准室的压力要求（见5.5.2.3）； 修改了对动态平衡真空系统的要求［见5.5.2.4a），1999年版的2.5.3.2a)]； 增加了对动态平衡真空系统的要求［见5.5.2.4b）和c)]； 将出厂要求改为“通则”，增加了对仪器仪表的要求（见6.1，1999年版的3.1)； 修改并增加了型式检验条件（见6.3.2，1999年版的3.3.3)； 删除了验收试验的内容（1999年版的3.4）。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：苏玉萍、王晓莉。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ZBY286—1984; JB/T10076—1999。 ⅡI JB/T10076—2013 冷阴极电离真空规管 1范围 本标准规定了冷阴极电离真空规管的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装和贮存要求等内 容。 本标准适用于压力大于1X10-7Pa的潘宁型、磁控式和反磁控式冷阴极电离真空规管（以下简称规 管)。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2423.2—2008电工电子产品环境试验 检第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T3163 真空技术术语 GB/T 4982 真空技术快卸连接器 尺寸第1部分：夹紧型 GB/T 6070 真空技术法兰尺寸 GB/T13384 机电产品包装通用技术条件 JB/T9329 仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法 3术语和定义 GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 零散性scattered 规管系数的偏差。 3.2 灵敏度sensitivity 对于给定压力，真空计读数变化除以对应压力的变化。 注：某些类型真空计的灵敏度系数取决于气体的性质。在此情况下，灵敏度总是对氮气而言。 3.3 漏率leakrates 在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。 4技术要求 4.1工作条件 规管在下述环境条件下应能正常工作： a）环境温度：0℃～40℃； 1 JB/T10076—2013 b）相对湿度：10%~75%。 4.2外观 外表观察应满足下列条件： a）玻璃规管外壳应无裂缝或明显的气线、气泡等缺陷； b）规管与真空系统连接部分表面不应有影响密封性能的划伤； c）规管工作磁铁与管壳之间应有调整和固定装置； d）规管外壳与管基之间的固定应牢固； e）规管绝缘件表面应清洁无污染； f）规管电极装架应牢固、无松动等现象； g）规管应有明显、清晰的标志。 4.3连接 规管与真空系统连接部分应满足下述要求： a）连接管道为玻璃管时应采用硬质玻璃； b）连接部分为圆形管道时，管道外径应为（15.5士0.5）mm； c）采用法兰连接时，法兰尺寸应符合GB/T4982和GB/T6070的规定。 4.4漏率 规管对氢气的漏率应小于10-lPa·m²·s-1。 4.5绝缘性能 在大气条件下，规管阳极和阴极之间的绝缘电阻应为： R≥10V/PS 式中： R—绝缘电阻，单位为欧（Q2)； V-—规管工作电压，单位为伏（V)； S规管测量范围下限灵敏度，单位为安每帕（A/Pa)。 4.6零散性 单个规管特性曲线对标准曲线的相对压力偏差应不超过下述范围： 当压力大于或等于5×10-5Pa时：-50%70%； 当压力小于5×10-5Pa时：-60%150%。 4.7激发时间 规管在测量范围的下限值附近时，从加上工作电压到开始正常放电之间的时间间隔应不大于30s。 4.8稳定性 规管在测量范围内由双值现象引起的特性曲线对平均值的相对压力偏差不应超出土20%。 4.9抗运输环境性能 规管在包装运输条件下，应符合JB/T9329的要求。其中： a）高温试验选用（55土2）℃； 2 JB/T10076—2013 b）低温试验选用（-40土2）℃； c）湿热试验要求相对湿度90%（40℃时）； d）跌落要求自由跌落高度为250mm。 试验后，规管应符合4.2中a)、b)、d)、f）以及4.4和4.6要求。 5试验方法 5.1外观试验 用目测或相应的工具来检验规管是否符合4.2的要求。 5.2 连接试验 用精度为1级的外径测量工具进行检验规管与真空系统连接部分是否符合4.3的要求。 5.3漏率试验 用相应灵敏度的氨质谱检漏仪进行检验。对于玻璃规管在其封离加工系统、存放48h后，对其检 验。若内部压力低于10Pa，则认为规管漏率符合4.4的要求。 5.4绝缘性能试验 使规管处于大气状态，用相当于规管工作电压的绝缘电阻表或其他绝缘电阻测量仪器，分别在下列 条件下直接测量阳极和阴极之间的绝缘电阻，可检验规管是否符合4.5的要求。 温湿度要求： a）温度：40℃。试验条件按GB/T2423.2中的规定，达到规定温度0.5h后进行测试。 b）湿度：75%（25℃时）。试验条件按GB/T2423.3中的规定，达到规定湿度两天后进行测试。 5.5零散性试验 5.5.1试验条件及方法 5.5.1.1校准采用动态相对法进行比较。它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同一校 准室上，该室所需压力可以通过动态平衡调节取得。 5.5.1.2标准装置的测量范围满足被校规管的待校范围，用于规管校准标准装置的总不确定度不大于 5% 5.5.1.3计算单个规管特性曲线的压力偏差（与标准曲线比较），按下式进行： Po 式中： 8一相对压力偏差，%； Pr—测试点测得的真空计示值，单位为帕（Pa)； Po—测试点对应的标准压力值，单位为帕（Pa)。 5.5.2 试验装置 5.5.2.1试验装置示意图如图1所示，动态相对法真空系统应满足下述要求。 3 JB/T10076—2013 D ZF2 ZF N2 说明： 一被测真空计； D,标准真空计； D2——监测真空计； Y——真空容器： ZF,—微调放气阀； ZF2和ZF3——阀门； Nz—气源（氮气); JZ- 一真空机组。 图1真空压力试验装置示意图 5.5.2.2 校准室的本底压力不大于被校真空计被校压力下限的2%。 5.5.2.3 校准室的压力在校准范围内应连续可调，在1min内压力稳定度不大于1%。 5.5.2.4校准室的结构应符合下列要求： a）校准室的总容积应大于规管和与它相连接的管道总容积的20倍。 b）校准室的形状为球形体或是高度与内径之比为1倍3倍的圆柱体。 c）标准电离真空计和被校电离真空计的安装：对于球状校准室，应在球赤道位置；对于圆柱体校 准室，应在1/2高度的同一水平面位置。 d）为获得动平衡压力，所注入校准室的气体最少与校准室内壁碰撞一次后才能进入规管所在位置。 e）校准室上连接被校规管的过渡管道的流导值，不应小于被校规管本身支管流导值的10倍。 f）校准室内的有效抽速不应小于所有规管总抽速的50倍。 5.5.2.5校准用的氮气纯度应不低于99.9%。 5.5.2.6 温度计的测温范围应为-10℃～50℃，误差为土1℃。 5.5.3校准要求 5.5.3.1校准时，规管配用稳定的真空计控制单元。其工作电压误差不超过土1%；其放电电流读数采 用准确度等级≥0.5级的直流微安电流表。 5.5.3.2校准前，规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。 5.5.3.3校准按压力上升的形式进行，在整个测