ICS 17.180;37.020 JB N 30 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 8226.1~ 81999 光学零件镀膜 Coating for optical element 1999-08-06发布 2000-01-01实施 国家机械工业局 发布 目 录 JB/T8226.1-1999光学零件镀膜 减反射膜 JB/T8226.2-1999光学零件镀膜 水解法镀双层减反射膜 JB/T8226.3-1999光学零件镀膜 外反射膜 JB/T8226.4-1999光学零件镀膜 内反射膜 17 JB/T8226.5-1999光学零件镀膜 中性滤光膜 .. 21 窄带干涉滤光膜 25 JB/T8226.6-1999光学零件镀膜 JB/T8226.7-1999光学零件镀膜 分束膜 : 30 JB/T8226.8-1999光学零件镀膜 截止滤光膜 35 JB/T 8226.1-1999 前言 本标准是对JB/T8226.1-95(GB131688)《光学零件镀膜 减反射膜》的修订。修订时，对原标准作 了编辑性修改，主要技术内容没有变化。 本标准自实施之日起，代替JB/T8226.195。 本标准由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。 本标准负责起草单位：上海光学仪器研究所。 1 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 8226.1—1999 光学零件镀膜 减反射膜 代替JB/T8226.1—95 Coating foroptical elementAnti-reflection coating 1范围 本标准规定了镀在光学玻璃零件上膜层的技术要求、试验方法、检验规则。 本标准适用于在光学玻璃(折射率为1.45~1.90)零件上镀的减反射膜。 2引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为 有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB/T1185—1989光学零件表面疵病 GB/T2423.11989电工电子产品基本环境试验规程试验A：低温试验方法 GB/T2423.3一1993电工电子产品基本环境试验规程试验Ca：恒定湿热试验方法 CB/T2423.171993电工电子产品基本环境试验规程试验Ka：盐雾试验方法 GB/T2828-1987逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查） CB/T2829-1987周期检查计数抽样程序及抽样表适用于生产过程稳定性的检查） 3分类 3.1单层减反射膜 3.2双层减反射膜 3.3宽带减反射膜 4技术要求 4.1镀膜后零件的光学性能 4.1.13.1中心波长入在光谱的可见区内选定，在波长0.8入nm~1.12)onm上，镀膜后的零件表面中心 的反射比R不超出图1所示曲线，当波长0.8A小于400mm时，取400nm为限；当波长1.12入。大于700mm 时，取700nm为限。 4.1.23.2中心波长入。在光谱的可见区内选定，在中心波长入。处镀膜后零件表面中心的反射比R，按 图2所示不大于0.3%。 4.1.33.3镀膜后零件中心允许的最大反射比R和平均反射比R按图3所示。 4.1.3.1在波长入nm~（>；+△入）nm范围内，最大反射比Rm不大于0.8%，A不小于220mm，入在光 谱的可见区内选定。 4.1.3.2在425mm~675nm波段内的平均反射比R不大于0.5%。 国家机械工业局1999-08-06批准 2000-01-01实施 3 JB/T8226.1—1999 R(%) 2.5 n>1.45~ 1.50 2.0 n>1.50~1.60 1.5 n>1.60~1.70 1.0 #>1.70~1.90 0.5 1 H 1 0 ^ (nm) 1. 12 he 600 700 400 0.8 ^o 0.93 500 oy 图1 R(%) 0.5 0.4 0.3 0.2 V 0.1 0 1 a (nm) 400 Ao 500 600 700 图2 R(%) 2 1.0 0.8 0.5 1 1 0 ^ (nm) 500 600 入, + 入 700 400 图3 JB/T8226.11999 4.1.4均匀性 3.1和3.3零件表面有效孔径内边缘与中心的反射比偏差不大于0.3%。 4.2镀膜后零件的表面质量 4.2.1外观 膜层不允许有损坏痕迹，如起皮、脱膜、裂纹和灰雾等 4.2.2麻点 4.2.2.13.1和3.2按抛光表面疵病的原级数J,其个数G允许增加10%。 4.2.2.23.3按抛光表面疵病的原级数J.其总数量允许增加30%。 4.2.3擦痕 4.2.3.13.1和3.2按抛光表面疵病的原级数J,其总长度允许增加10%。 4.2.3.23.3按抛光表面疵病的原级数J，其总长度允许增加20%。 4.2.4色斑 色斑是指零件表面的屑部腐蚀及在镀膜后形成的在反射光中能观察到而在透射光中观察不到的局 部的干涉色突变，其允许存在的面积不得超过整个有效孔径面积的0.5%。 4.3膜层的抗磨强度 4.3.1摩擦 按4.3.1.1或4.3.1.2要求，当零件的形状和尺寸不能进行摩擦试验时，则按4.3.2要求。 4.3.1.1膜层能经受膜层强度试验机的摩擦，率擦2000转不磨破。 4.3.1.2膜层能经受橡皮磨头的摩擦，按基底材料的显微硬度分下述两类： a）对于显微硬度大于450kg/mm的基底材料，膜层能经受压力为9.8N的橡皮磨头的摩擦，摩擦40 次不磨破； b）对于显微硬度小于450kg/mm的基底材料，膜层能经受外妻清洁纱布，压力为4.9N的橡皮磨头的 摩擦，摩擦50次不磨破。 4.3.2擦拭 膜层能经受薰有酒精乙醚混合液的脱脂纱布擦拭，无痕。 4.4镀膜后零件对环境的适应性 4.4.1恒定湿热 无包装情况下，在温度40℃±2℃，相对湿度90%~95%的条件下保持24h，膜层不允许脱落，光学性 能仍符合4.1要求。 4.4.2盐雾 无包装情况下，在（重量）浓度为4.9%~5.1%，pH值为6.5~7.2(35℃）的盐雾中承受连续喷雾8h， 膜层不允许脱落，光学性能仍符合4.1要求。 注：本条通常不要求，供持殊技术要求使用。 4.4.3低温 无包装情况下，在-40℃±3℃的低温中保持2h、膜层应无龟裂、脱落，光学性能仍符合4.1要求。 5试验方法 5.1镀膜后零件的光学性能（4.1） 5.1.1试验工具 反射比测量装置，准确度优于1.5%； 模形玻璃折射率n为1.5163，色散系数>为64.1。 5.1.2试验程序 采用比较测量法，以抛光好的锲形玻璃新鲜平面的反射光为基准，同被检零件的表面反射光比较，测 5 JB/T8226.11999 定其反射比。当被检零件不宜测量时，用光学性能相同（折射率、表面粗糙度、等效厚度和同次镀膜)的平 面试验片代替。测量时应消除被检零件后表面反射光的影响，光线入射角不大于15°。 5.2镀膜后零件的表面质量（4.2) 5.2.1外观和色斑(4.2.1和4.2.4) 用60W～100W白炽灯照明，以黑色屏幕为背景，目测检验。 5.2.2麻点和擦痕 按GB/T1185的检验方法。 5.3膜层的抗磨强度 5.3.1摩擦(4.3.1.1) 5.3.1.1试验工具 膜层强度试验机。 5.3.1.2试验程序 用膜层强度试验机，同膜层接触的磨头为球半径3mm，表面粗糙度Ra为0.4的钢球，外裹两层干的 脱脂纱布，使用时磨头对被检膜面的作用力沿重力方向，作用力为1.96N(0.2kg），当零件表面有效孔径为 D（mm）时，零件转速按n=10000/D(r/min）选择，磨头触点到零件转动中心的距离应为D/3，零件经受 2000转摩擦后的膜层应不磨破。 5.3.2摩擦(4.3.1.2) 5.3.2.1试验工具 装有浮石-橡皮磨头的手持式擦试具，磨头是由优质橡皮加浮石填料组成，硬度为75度±5度，橡皮 重量是填料重量的45%~55%。 5.3.2.2试验程序 a）用手持式擦拭具，磨头保持9.8N（1kg）的压力对膜层进行摩擦，擦拭具应与被检表面垂直，行程 长度约为磨头直径的三倍，顺着同一轨迹往返20周期（摩擦40次），清洁表面后检验； b）用手持式擦拭具，橡皮磨头外裹两层清洁干燥脱脂纱布保持4.9N(0.5kg）的压力对膜层进行摩 擦，擦拭具应与被检表面垂直，行程长度约为磨头直径的两倍，顺着同一轨迹往返25周期（摩擦50次）， 清洁表面后检验。 5.4镀膜后零件对环境的适应性(4.4) 5.4.1恒定湿热(4.4.1) 按GB/T2423.3的规定。 5.4.2盐雾(4.4.2) 按GB/T2423.17的规定。 5.4.3低温(4.4.3) 按GB/T2423.1的规定。 注：摩擦、恒定湿热、盐雾和低温等破坏性试验不对同只零件进行。 6检验规则 6.1检验分类 产品的检验分为出厂检验和型式检验。 6.2出厂检验 6.2.1出厂检验抽样检查应按GB/T2828的一次抽样检查。 6.2.2出厂检验的项目为4.1和4.2,规定检查水平为Ⅱ，合格质量水平为4.0。 6.3型式检验 6.3.1型式检验一般定为每年进行-次，产品在下列情况之一时亦进行型式检验： 6