ICS 77.150.30 YS CCS H 62 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 919- XXXX- 代替YS/T919—2013 高纯铜铸锭 High purity copper ingot （报批稿） ××××-××-××发布 × ×××-××-× ×实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T 919×××× 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替YS/T919-2013《高纯铜铸锭》，与YS/T919-2013相比，除结构调整和编辑性改动外， 主要技术变化如下： a）增加了产品分类中Cu-7N牌号（见第4章），删除了原产品分类中4N5牌号（见2013年版的 3.1），原产品分类中6N5、6N和5N牌号变更为Cu-6N5、Cu-6N和Cu-5N5牌号（见第4章， 2013年版的3.1)； b): 增加了Cu-7N牌号产品化学成分要求（见第5章5.1），增加了Cu-6N5和Cu-6N牌号化学成 分要求中对杂质元素H的含量要求（见第5章5.1），删除了原4N5牌号产品化学成分要求（见 2013年版的3.2.1）。 c） 删除了组批要求（见2013年版的5.2）。 d) 增加了外形尺寸的检验项目、取样位置及数量（见5.3），更改了化学成分、外观质量和内部质 量的取样规定（见5.3，2013年版的4.3）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、金川集团股份有限公司、有研亿金新材料（山东）有 限公司、山东有研国晶辉新材料有限公司、兰州金川科技园有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、 哈尔滨同创普润集团有限公司。 本文件主要起草人：王兴权、王宇、杨文魁、张亚东、贺昕、姚力军、滕海涛、万小勇、张巧霞、 张博厚、尚再艳、揭华琳、胡家彦、郭廷宏、高岩、曾浩、雷俊元、白延利、杨晓艳、慕二龙、廖培君。 本文件于2013年首次发布为YS/T919-2013，本次为第一次修订。 YS/T 919×××× 高纯铜铸锭 范围 1 本文件规定了高纯铜铸锭的产品牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于制造半导体、显示器件等溅射靶材所需的高纯铜铸锭。 规范性引用文件 2 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期 的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括 所有的修改单）适用于本文件。 GB/T5121.4铜及铜合金化学分析方法第4部分：碳、硫含量的测定 GB/T5121.8铜及铜合金化学分析方法第8部分：氧、氮、氢含量的测定 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 YS/T922 高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法 3术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4产品牌号 产品按化学成分分为四个牌号：Cu-7N、Cu-6N5、Cu-6N、Cu-5N5。 5技术要求 5. 1 化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定。需方对化学成分有特殊要求时，由供需双方协商， 并在订货单中注明。 表1化学成分 牌号 Cu-7N Cu-6N5 Cu-6N Cu-5N5 铜含量（质量分数）%，不小于 99.99999 99.99995 99.9999 99.9995 Ag 0.05 0. 1 0.3 2 Al 0.005 0.005 0.05 0.5 As 0.005 0.01 0.02 0.1 Au 0.005 杂质元素含量（质量 B 0.005 一 分数）×10-4%，不大于 Be 0.005 Bi 0.005 0.01 0.02 0.2 Ca 0.005 0.01 0.02 0.5 Cd 0.01 0.05 0.1 一 Co 0.005 0.02 0.3 1 YS/T ××××—×××x 表1化学成分（续） 牌号 Cu-7N Cu-6N5 Cu-6N Cu-5N5 Cr 0.005 0.01 0.02 0.1 F 0.05 0.005 Fe 0.01 0.05 0.1 0.5 Ga 0.005 一 一 一 0.005 一 - 一 Hg 0.005 一 一 K 0.005 0.01 0.02 一 Li 0.005 一 Mg 0.005 二 二 一 Mn 0.01 0.02 一 0.1 Mo 0.005 一 一 一 eN 0.005 0.02 0.02 Nb 0.005 Ni 0.01 0.05 0.1 0.5 P 0.005 0.01 0.02 0.1 Pb 0.005 0.01 0.02 0.05 Sb 0.005 0.01 0.02 0.1 Se 0.005 0.05 0.05 0.1 Si 0.02 0.05 0.05 0.5 Sn 0.005 0.01 0.05 0.1 Te 0.005 0.02 0.05 0.1 Th 0.0001 0.0005 0.0005 - Ti 0.005 一 一 U 0.0001 0.0005 0.0005 V 0.005 二 二 一 Zn 0.01 0.02 0.05 0.1 Zr 0.005 - 二 c 1 1 1 10 N 1 1 1 5 0 1 1 1 5 H 0.1 0.1 0.1 一 s 0.02 0.05 0.05 1 CI 0.01 0.05 一 杂质含量总和（质量分数） 0.1 0.5 1 5 ×10-4%，不大于 注：“一”表示对该杂质元素无要求。 高纯铜铸锭的铜含量为100%减去表中所列杂质元素实测总和的余量。 b高纯铜铸锭的杂质含量总和不含C、N、O、H、S、Cl。 2 YS/T 919—×××x 5.2外形尺寸及允许偏差 产品形状为圆柱形，直径（D）大于150mm，长度（L）大于400mm。其他外形尺寸 及允许偏差由供需双方协商确定并在订货单中注明。 5.3外观质量 产品表面应洁净，无裂纹、毛刺、夹杂、孔洞和其他沾污。 5.4内部质量 产品内部应连续一致，无气孔、疏松、缩孔和夹杂等缺陷。 6试验方法 6.1化学成分 6.1.1产品中杂质元素碳的分析方法按照GB/T5121.4的规定进行。 6.1.2产品中杂质元素氮、氧、氢的分析方法按照GB/T5121.8的规定进行。 6.1.3产品中其他杂质元素的分析方法按照YS/T922的规定进行。 6. 2 2外形尺寸及允许偏差 产品的外形尺寸由相应精度的量具检测。 6.3外观质量 产品的外观质量用目视检测。必要时，在10倍放大镜下目视检查， 6.4内部质量 产品的内部质量检查按照YS/T837的规定进行。 7检验规则 7. 1 检查和验收 7.1.1产品应由供方或第三方进行检验，产品质量应符合本文件及订货单的规定 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件或订货单的规定 不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。质量异议应在收到产品之日起 30天内向供方提出。如需仲裁，应由供需双方在需方共同取样或协商确定。 7.2检验项目 产品应进行化学成分、外形尺寸及其允许偏差、外观质量、内部质量的检测。 7.3取样规则 产品检验项目的取样应符合表2的规定。 3