ICS 77.150.50 CCS H 64 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T XXXX—XXXX 高纯钛铝合金靶材 High purity titanium aluminum alloy target （报批稿） × ××X-X X-× X×发布 X×××-××-××实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T XXXX-XXXX 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、上海同创普润新材料有限公司、有研亿金新材 料有限公司、宁波创润新材料有限公司、宁波江丰半导体科技有限公司。 本文件主要起草人：姚力军、边逸军、陈石、杨慧珍、王学泽、周友平、廖培君、曹欢欢、慕二龙、 汤婷、吴景晖、干科军、黄引驰、时晓旭。 一 YS/T XXXX-XXXX 高纯钛铝合金靶材 1范围 本文件规定了高纯钛铝合金靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、赔 存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于集成电路用高纯钛铝合金靶材。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T3850 ）致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定 GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定 GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定 GB/T6394金属平均晶粒度测定方法 GB/T8651金属板材超声板波探伤方法 GB/T20975.25铝及铝合金化学分析方法第25部分：元素含量的测定电感耦合等离子体原子 发射光谱法 GB/T25915.1一2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 靶材target 溅射沉积技术中的阴极材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱 离阴极而在衬底表面沉积。 3. 2 靶坏 targetblank 阴极上用作溅射材料的部分。 3. 3 背板backingplate 用来支撑或固定靶坏的材料。靶坏与背板可以通过焊接（如钎焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等 方式连接。 4分类 4.1产品按照化学成分不同，分为Ti30A170、Ti50A150、Ti83.3A116.7三个牌号。 4.2产品外形通常分为圆形和方形，或由需方提供图纸。按照结构形式分为复合体靶材和单体靶材， 结构示意图如图1所示。 1 靶坏 - 背板一 a）复合体靶材 b）单体靶材 图1 靶材结构示意图 技术要求 5.1 化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定。 表1 化学成分 牌号 Ti30A170 Ti50A150 Ti83.3A116.7 Ti含量（原子分数） 余量 余量 余量 % Ti含量（质量分数） 余量 余量 余量 % A1含量（原子分数） 69~71 49~51 15.7~17.7 % A1含量（质量分数） 55.64~57.98 35.13~36.97 9.5~10.81 % Ti+A1含量“（质量分数），不小于 99. 95 % Fe 100 Ni 50 Si 100 Ca 100 Cu 50 杂质元素含量（质量 Cr 100 分数），不大于 K 50 X10% s 50 Na 50 c 100 N 500 0 500 H 100 "Ti+A1的质量分数为100%减去中杂质元素含量（C、H、N、0除外）实测值总和的余量。 “杂质元素包括但不限于表中所列元素，如有特殊要求，由供需双方协商确定并在订货单中注明 晶粒度 5.2 产品的晶粒平均直径应不大于100um， 最大值不大于150μm。需方如有特殊要求时，由供需双方 商定，并在订货单中注明。 5. 3 相对密度 产品的相对密度应不小于98%。 5.4 内部质量 产品内部不应有分层、夹杂、疏松和气孔等缺陷。 2 YS/T XXXX-XXXX 5.5焊接质量 复合体靶材的焊接方式为钎焊或者扩散焊，焊接质量应符合表2的规定。需方如有特殊要求时，由 供需双方商定。 表2焊接质量要求 焊接方式 焊接结合率 单个缺陷率 钎焊 ≥95% ≤2.5% 扩散焊 ≥97% ≤1. 5% 5.6外形尺寸及允许偏差 产品的尺寸、规格及结构应符合技术图纸要求。产品溅射面的平面度应不大于0.1mm。 5.7表面粗糙度 产品表面粗糙度（Ra)应不大于1.6μm，如有特殊要求，由供需双方协商确定。 5.8外观质量 产品表面应清洁光滑，不应有指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物和其他沾污，不应有凹坑、划伤、裂 纹、凸起等缺陷。 6试验方法 6.1A1、Ca和S含量的测定按照供需双方协商确定的方法进行，并在订货单中说明检测方法；Fe、Ni、 Si、Cu、Cr、K和Na含量的测定按照GB/T20975.25的规定进行；C含量的测定按照GB/T4698.14的 规定进行；H含量的测定按照GB/T4698.15的规定进行；0和N含量的测定按照GB/T4698.7的规定进 行。 6.2晶粒尺寸检验按照GB/T6394的规定进行。 6.3相对密度检验按照GB/T3850的规定进行。 6.4内部质量检验按照GB/T8651的规定进行。 6.5焊接质量检验按照YS/T837的规定进行。 6.6外形尺寸通过三坐标测量仪、卡尺、平面度仪、塞规等，按照加工图纸标识尺寸进行测量。 6.7表面粗糙度通过粗糙度测量仪进行检测，或按照供需双方协商确定的方法测量。 6.8外观质量用目视方法检验，必要时用放大镜或显微镜进行鉴别。 7检验规则 7.1检查和验收 7.1.1产品应由供方或第三方进行检验，产品质量应符合本文件及订货单的规定，并附随行文件。 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应 以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量及外形尺寸及充许偏差的异议，应在收到 产品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由 供需双方协商确定。 7.2组批 产品应成批提交验收。每批应由同一生产周期、同一牌号、同一外形尺寸和同一焊接方式的产品组 成。 7.3检验项目 每批产品均应进行化学成分、晶粒度、相对密度、内部质量、焊接质量、外形尺寸及允许偏差、表 3