ICS 77.180 CCS H 91 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1031—202X 代替YS/T1031—2015 化学气相沉积炉 Chemical vapor deposition furnace （报批稿） 202×-××-××发布 202×-××-× ×实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 YS/T1031—202X 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替YS/T1031一2015《化学气相沉积炉》，与YS/T1031一2015相比，除结构调整和编辑 性改动外，主要技术变化如下： a）更改了范围（见第1章，2015年版的第1章）； 更改了化学气相沉积炉的典型型号及基本参数（见表2、表3，2015年版的表1、表2）； 更改了化学气相沉积炉的一般技术要求（见5.1，2015年版的4.1）； c) (p 增加了化学气相沉积炉的安全要求（见5.2） 更改了炉温均匀度的要求（见5.6，2015年版的5.1）； e) 更改了化学气相沉积炉的试验方法（见第6章，2015年版的5.3）； g) 更改了检验规则和技术分级（见第7章，2015年版的第6章）： 更改了标志、包装、运输、贮存及随行文件（见第8章，2015年版的第7章）； i） 更改了订货单内容（见第9章，2015年版的第8章）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本文件起草单位：湖南顶立科技股份有限公司、安徽弘昌新材料股份有限公司。 本文件主要起草人：胡祥龙、戴煜、谭时雨、胡高健、下宇轩、杨毅成、周岳兵、刘琦。 本文件于2015年首次发布，本次为第一次修订。 YS/T1031—202X 化学气相沉积炉 1范围 本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标 志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容 本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相 沉积炉。 2规范性引用文件 2 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改版）适用于本 文件。 GB2893 安全色 GB2894安全标志及其使用导则 GB/T3163真空技术术语 GB/T5959.1一2019电热和电磁处理装置的安全第1部分：通用要求 GB5959.4电热装置的安全第4部分：对电阻加热装置的特殊要求 GB/T10066.1一2019电热和电磁处理装置的试验方法第1部分：通用部分 GB/T10066.4一2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉 GB/T10067.1一2019电热和电磁处理装置基本技术条件第1部分：通用部分 GB/T10067.4—2005日 电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉 JB/T10550一2006真空技术真空烧结炉 3术语和定义 GB/T3163、GB/T10066.4一2004、JB/T10550一2006界定的术语和定义适用于本文件。 4结构型式与组成 4.1结构型式 4.1.1 根据炉体结构和装卸料方式，化学气相沉积炉可分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积 炉2种结构型式，见表1。 表1结构型式 结构型式 主要特点 卧式化学气相沉积炉 炉体为卧式结构，水平方向开门、装料和出料 立式化学气相沉积炉 炉体为立式结构，竖直方向开盖、装料和出料 4. 1.2 卧式化学气相沉积炉型号表示方法按结构型式、产品名称、工作区域的尺寸顺序表示。 2 YS/T1031—202X HCVD WHL 工作区域的长度尺寸，单位为分米，取两位数字，不足两位时前面以0补齐 工作区域的高度尺寸，单位为分米，取两位数字，不足两位时前面以0补齐 工作区域的宽度尺寸，单位为分米，取两位数字，不足两位时前面以0补齐 -化学气相沉积 卧式 示例： 卧式化学气相沉积炉，工作区域尺寸为宽600mm、高600mm、长900mm，其型号表示为：HCVD-060609。 4.1.3立式化学气相沉积炉型号表示方法按结构型式、产品名称、工作区域的尺寸顺序表示。 vCVD 工作区域的高度尺寸，单位为分米，取两位数字，不足两位时前面以0补齐 工作区域的直径尺寸，单位为分米，取两位数字，不足两位时前面以0补齐 化学气相沉积 立式 示例： 立式化学气相沉积炉，工作区域尺寸为直径600mm、高800mm，其型号表示为：VCVD-0608。 4.2组成 4.2.1 卧式化学气相沉积炉组成 卧式化学气相沉积炉主要由炉体系统、保温加热系统、冷凝捕集系统、工艺沉积系统沉积室、真空 系统、尾气处理系统、水冷系统、工艺沉积系统进气柜、电气控制系统等组成。其总体结构示意图见图 1。 6 标引序号说明： YS/T1031—202X 炉体系统； 2- 保温加热系统； 3- -工艺沉积系统沉积室； 4一一冷凝捕集系统； 5一一真空系统： 6一一尾气处理系统； 7 一水冷系统； 8- 一工艺沉积系统进气柜； 9一一电气控制系统。 图1卧式化学气相沉积炉总体结构示意图 4.2.2立式化学气相沉积炉组成 立式化学气相沉积炉主要由炉体系统、保温加热系统、冷凝捕集系统、工艺沉积系统沉积室、真空 系统、尾气处理系统、水冷系统、工艺沉积系统进气柜、工作平台、电气控制系统等组成。其总体结构 示意图见图2。 标引序号说明： -工艺沉积系统进气柜； 一炉体系统； 3- 保温加热系统； 工艺沉积系统沉积室： 4 水冷系统； 5- 一工作平台： 7——冷凝捕集系统； 8—一尾气处理系统； 9——真空系统； 10- 一电气控制系统。 图2立式化学气相沉积炉总体结构示意图 YS/T1031—202X 5技术要求 5.1一般技术要求 5.1.1 化学气相沉积炉的总体设计和制造应符合JB/T10550一2006中第5章的规定、GB/T10067.1 -2019中5.1、5.2、5.5和5.6的规定以及GB/T5959.1和GB5959.4的规定。 5. 1.2 化学气相沉积炉应能在规定的参数和使用条件下工作，并应符合GB/T10067.4一2005中5.3 的要求。 5. 1.3 化学气相沉炉典型型号及基本参数，见表2和表3。 表2 2卧式化学气相沉积炉典型型号及基本参数 工作区域尺寸 承载重量 额定加热功率 额定炉温 典型型号 宽×高×长 kg kw ℃ mm HCVD-060609 600X600X900 300 210 HCVD-080812 800×800×1200 800 360 HCVD-101015 1000×1000×1500 1500 480 HCVD-121225 1200×1200×2500 2500 600 1500 HCVD-151530 1500×1500×3000 5000 900 HCVD-202040 2000×2000×4000 10000 1200 HCVD252550 2500×2500×5000 20000 1800 表3 立式化学气相沉积炉典型型号及基本参数 工作区域尺寸 承载重量 额定加热功率 额定炉温 型号 直径×高 kg kw ℃ mm VCVD0305 300×500 50 45 VCVD-0508 500×800 150 06 VCVD-0810 800×1000 500 180 VCVD-1015 1000×1500 1000 300 1500 VCVD-1218 1200×1800 2000 420 VCVD-1520 1500×2000 3000 540 VCVD-3344 3300X4400 10000 840 5. 2 安全要求 5.2.1化学气相沉积炉的安全技术要求应符合GB/T10067.1一2019中5.3、GB/T5959.1和GB5959.4 的规定。 5.2.2化学气相沉积炉的安全色、安全标志的设置应符合GB2893和GB2894的规定。 5.3极限真空度 化学气相沉积炉的极限真空度应不大于20Pa。 5. 4 空炉抽气时间 化学气相沉积炉空炉抽气时间不大于30min。 5 YS/T1031—202X 5.5压升率 化学气相沉积炉的压升率应不大于0.67Pa/h。 5.6 炉温均匀度 化学气相沉积炉的炉温均匀度应符合表4的规定。 表4化学气相沉积炉典型型号的炉温均匀度 单位为摄氏度 型号 炉温均匀度 ±5 HCVD-060609 HCVD-080812 ±5 HCVD-101015 ±5 HCVD-121225 ± 7. 5 HCVD-151530 ± 7. 5 HCVD-202040 ±10 HCVD-252550 ±10 VCVD-0305 ±5 VCVD-0508 ±5 VCVD0810 ± 7. 5 VCVD-1015 ±7. 5 VCVD-1218 ± 7. 5 VCVD-1520 ± 10 VCVD3344 ± 10 5.7空炉升温平均速率 化学气相沉积炉的空炉升温平均速率应为3℃/min～10℃/min。 试验方法 6 6. 1 ，工作区域尺寸 采用相应精度的量具进行测量。 6. 2 承载重量 根据产品标准和设计图样规定，在空炉冷态下，将负载均匀分布在料台上，并逐渐增加负载直至达 到承载重量。在装载过程中，及时观察料台的情况，如料台变形、断裂等现象。 6. 3 额定加热功率 额定加热功率按照GB