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K 46 JB 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 8320-1996 电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管 1996-04-01发布 1996-10-01实施 中华人民共和国机械工业部 发布 中华人民共和国机械行业标准 JB/T8320-1996 电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管 1主题内容与适用范围 本标准规定了电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管(下称涂层管)的结构、规格尺寸、技术要求、检 验方法和规则等。 本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英 玻璃管。 2引用标准 GB 3284 石英玻璃化学成分分析方法 GB 5949 透明石英玻璃气泡、气线检验方法 GB 9657 半导体用透明石英玻璃管 GB10701 石英玻璃热稳定性检验方法 3术语 3.1晶纹 石英玻璃管拉制过程中,在管壁上形成各种微小不闭合的炸纹。 3.2生料颗粒 石英玻璃管内、外璧上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 3.3透明颗粒 石英玻璃管中未完全熔化的透明石英质颗粒。 3.4波纹 气炼透明石英管的内、外壁圆周呈现的波浪形凹凸不平。 3.5色斑 在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。 3.6气泡群 石英玻璃管壁中由微小气泡(小于标准中的气泡的下限尺寸)密集而成的群集泡。 3.7掀痕 排除石英玻璃管上较大杂质点、气泡等弊病操作后留下的痕迹。 3.8暗疤 气炼产品壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面玻璃态(俗称雪花、破皮或梅花)。在高温熔烧中 发橙色亮光。 3.9析晶 石英玻璃管在高温下发生的晶形转变,造成低温下失透。 3.10弯曲度 石英玻璃管实际中轴线对标称中轴线的最大偏离距离与标称中轴线长度之比。 机械工业部1996-04-01批准 1996-10-01实施 1 JB/T8320-1996 3.11炸裂 石英玻璃管受外界温度变化影响发生的破裂。 3.12涂敷层 在不英玻璃管壁(内或/和外擎)制成的谢高激游悬。 3.夏3植皮 涂嫩层上出现的“桔皮”状凹凸不平的区域。 3.14基体管,坏管 制作涂层石英玻璃管时,欲在其表面割价涂数层的原滋期石英玻璃管。 3.15热稳定性 石英玻璃承变温度剧变的能力。用试样承受加热至规庭的上限温度,、随卸放入冷水(或空气)中的下 限温度t所造成的温差(t-t)C表示。 3.16高激变形率 石英玻璃管作高温形变试验时,加热前届外径的相对空化率。 4涂层管的构成 4.1涂层管是基体管和制作在其管壁表面的涂效层两部分构戒, 4.2涂敷层可制作在基体管的外管壁,也可作在内管警:戴内,外容壁部制作涂数层。 5外形尺寸 5.1 各种涂层管的外形尺寸范见表1。 表1 mm 外税范阁 外轻公差 壁厚范围 壁源公差 50~60 ±2. 0 2. 5~~3. 5 ± 0. 3 061~70 ±2. 0 2.5~3. 5 ± 0. 3 71~80 3. 0~ 3. 5 ±2. 0 ±0. 4 81~90 ±2. 5 3. 0~4. 0 ± 0. 4 ±2.5 0. 5 091~100 0101~-120 出0 3.3~5.0 ±0.6 0121~150 ±3.0 ± 0, 6 5.2各种涂层管的标准长度为1m、1.5m和2m三两种。管了为两端开口亦可端开口,封口管其弧 度部分不包括在标准长度之内。 5.3特殊形状的石英玻璃管由用产与厂家合同中现定。 6 技术要求 券.1外形尺寸公差 6.1.1外径和墅厚的公差见表1。 6.1.2偏壁度:间横裁面壁厚之差不得大于壁厚公差绝对值。 6.1.3摊圆度:同横截面长短轴之差不得大于外径公差绝对值。 6.1.4弯曲度:1m长度涂层管不大于干分之三,1.5n和2m长度涂层管不人于下分之四。 6.1.5涂敷层区:长度--般不小于600mm。 6.2杂质含量 2 JB/T 83201996 基体管中杂雄含董应符合表2要求。 6.2.1 表2 ppm Li Na Ca Fe Cu 总含量 杂 质 4 0.8. 200 含 涂层区百英玻璃管杂质含慰指标与测试方法由企业标准给出, 6.2. 2 6.3 物理性能指标 层石英管的物理性能指标应符合表3要求。 表 3 熟稳定性(t一t)C 高温变形率% 1100-20 由额滋广绘出 注:作热稳定性的祥品管段,其中未涂层部分不得少于10mm,祖不得多下30mm。 6.4外观要 6.4、!涂敷擦应表面光开,遵明或颜色均勺,不能有剥皮、颗粒,裂纹等。但允许有少意小面积的枯皮。 桔皮长径应小手抵在, 总数不超过3块。 6.4.2涤层管的线它外观应符合表4要求。 表4 指 标 径.mm 0.5 数递,个/cm² ★径,mm 总数,个/100cm 9 长稳,mn 5 数盟,条/100m 3; 长,mm 2. 0 数址,个/100cm² 10 深度,mm 0,3 030~90mm 直径,mm 管材 数盘,个m 拟 深度, TWU: 0, 3 91~150mm 商径,nm < 15 管材 数量,个/m 1.0 个-/ i: 透明颗粒 100 内壁波纹 0.4 晶纹、云茶、析品、裂纹、指纹印、生科颗粒 不危许 出广检骏和型式试验 7.同种原料,商种工艺在基本相间条件下生产的产品形成生产整,检验批可以是生产批,也可以小于 生产批 3 JB/T83201996 7.2出厂检验 7.2.1产品交货时,应按表6规定的项目进行出厂检验。 7.2.2按表5规定项目检验合格的批,把抽样检验出的不合格品换为合格品后全数收交。检验不合格的 批,应进行全检,剔去不合格品后收交。 7.3型式试验 7.3.1有下列情况之一,应进行型式试验: a)连接生产的产品,生产期已达12个月; b)断续生产的产品,在生产条件无大的变化,产品数量已达到或超过50件; 原材料、工艺或设备系统有较大改变时; d) 生产中断三个月或更长时间。 7. 3. 2 型式试验按表5和表6规定的所有项目和要求进行。 表 5 抽样方案 序号 检验项目 试验方法 合格判据 (LTPP) 外径、壁厚 GB9657的7.7.1、7.7.2条 符合表1规定 偏壁度 GB9657的7.7.3条 符合6.1.2条要求 7 椭圆度 GB9657的7.7.4条 符合6.1.3条要求 弯曲度 GB9657的7.7.5条 符合6.1.4条要求 2 涂敷层 正常视力和正常照明下目测 符合6.4.1条规定 7 其它外观指标 GB9657的7.8条 符合表5规定 10 表 6 抽样方案 序号 试验项目 试验方法 合格判据 n c d 4 0 2 热稳定性 GB10701方法A 符合表3要求 1 8 1 2 析 晶 制造厂 给出 GB9657的7.6条, 5 0 2 高温变形率 符合表3要求 3 1280±10,30h 8 2 4 2 基体管杂质含量 GB 3284 符合表2要求 4 8 1 2 8标志、包装、运输和贮存 每支涂层管应附有产品合格证。合格证上应标明产品名称、型号、制造厂名、生产日期、规格和编 8.1 号,还应说明涂层情况。 8.2每批产品出厂时应附有产品使用说明书,写明该批产品的物理、化学质量分析结果和注意事项。 8.3包装 8.3.1涂层管应用塑料薄膜封装,然后装纸盒,必要时填、垫泡沫塑料。两支以上包装的必须避免运输 中的碰撞。 8.3.2产品包装时应随带产品合格证、装箱单、产品说明书。 8.3.3包装上应贴有储运图示标志,如“小心轻放”、“请勿倒置”、“玻璃制品”、“防潮”等字样和图形。 8.4运输 4 JB/T 8320-1996 装卸、运输都要轻拿轻放,不得扔摔、碰撞。 8.5 5贮存 产品贮存在无有害气体、干燥清洁的地方,不能放在户外。并防止管子受压而损坏。 附加说明: 本标准由机械工业部西安电力电子技术研究所提出并归口。 本标准由西安电力电子技术研究所、长沙电子材料厂负责起草。 本标准主要起草人:苗宏、刘一华、吕湘辉。 5 JB/T 8320-1996 中华人民共和 国 机械行业标准 电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管 JB/T 8320-1996 * 机械科学研究院出版发行 机械科学研究院印刷 (北京首体南路2号 开本880×12301/16印张X/X 字数XXX,XXX 19XX年XX月第X版 交19XX年XX月第X印刷 印数1-XXX 定价XXX.XX元 编号 XX-XXX 机械工业标准服务网:http://www.JB.ac.cn

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