ICS23.160 J78 备案号： 中华人民共和国机械行业标准 JB/T10553-—2006 真空技术扩散硅压阻真空计 Vacuum technology -- Piezoresistive silicon chip vacuum gauge 2006-05-06发布 2006-10-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T10553—2006 目 次 前言 1范围.. 2规范性引用文件 3术语和定义 4‘产品分类.. 4.1扩散硅压阻规管的分类 4.2真空计的分类 5技术要求.. 5.1规管的技术要求.. 5.2真空计的技术要求 6试验方法. 6.1规管试验方法 6.2真空计试验方法 7检验规则.. 7.出厂检验 7.2型式检验、 8标志、包装和贮存 8.1标志. 8.2 包装. 8.3 贮存.. 图1 基本误差测试电路 图2 规管电参数稳定性测试电路 图3规管工作电源稳定度测试电路。 图4 匹配误差测试电路. JB/T10553—2006 前 言 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：吴春阳、苏玉萍、付晓东、王晓莉。 本标准为首次发布。 III JB/T10553--2006 真空技术扩散硅压阻真空计 1范围 本标准规定了扩散硅压阻真空计（简称真空计）的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、 包装和贮存等。 本标准适用于测量压力为（100～1×10°）Pa的扩散硅压阻真空计。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191 包装储运图示标志（GB/T191—2000，eqvISO780：1997） GB/T2829 周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验） GB/T 3369 工业自动化仪表用模拟直流电流信号 GB/T3370 工业自动化仪表用模拟直流电压信号 GB/T 4982 真空技术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型（GB/T4982一2003，ISO2861-1：1974， IDT) GB/T6070 真空法兰（GB/T6070—1995，eqvISO1609：1986） GB/T6107 使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口（GB/T 6107—2000，idtEIA/TIA-232-E) GB/T6587.2-1986电子测量仪器温度试验 GB/T6587.3—1986电子测量仪器湿度试验 GB/T11014平衡电压数字接口电路的电气特性（GB/T110141989，eqVEIARS-422-A：1978） GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件 JB/T8105.1橡胶密封真空规管接头 JB/T9329仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法 EIA/TIA-574使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的9插针非同步 接口 3术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 扩散硅压阻真空计piezoresistivesiliconchipvacuumgauge 利用扩散硅压力敏感电阻测量压力的一种真空计，由扩散硅压阻规管和真空计电路组成。 3.2 真空计电路gaugecircuit 为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。 3.3 标准环境温度standardambienttemperature 温度为（23±3）℃。 JB/T10553-2006 4产品分类 4.1扩散硅压阻规管（以下简称规管）的分类 规管按其输出方式分为： a）电压输出： b）电流输出。 4.2真空计的分类 真空计按输入信号分为： a）电压信号输人； b）电流信号输入。 5技术要求 5.1规管的技术要求 5.1.1工作环境 规管在下述环境下应能正常工作： a）环境温度：（0～40）℃； b）相对湿度：不大于85%（25℃时）。 5.1.2外观 规管外壳应光洁无裂纹、锈斑等缺陷。 5.1.3绝缘电阻 规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于10MQ。 5.1.4连接 规管与真空系统连接部分应满足下述要求： a）连接部分为圆形管道时，管道外径应为（15.5土0.5）mm； b）连接部分为法兰连接时，法兰应符合GB/T4982和GB/T6070的规定； c）采用其他连接方式时，应符合JB/T8105.1的规定； d）连接部分表面不应有影响密封性能的划伤或几何变形等现象。 5.1.5气密性 规管对氨气的漏率应不大于10~Pa·m²。s数量级。 5.1.6基本误差 在标准环境温度下，当压力在（100～1×105）Pa范围时，规管的基本误差为土0.5%（满度）。 5.1.7规管电参数稳定性测试 当规管电源电压变化土5%时，规管零点输出和满量程输出的变化量不超过土0.25%（满度）。 5.1.8抗运输环境性能 规管在包装运输条件下，应能符合JB/T9329的要求。其中：高温试验选用55℃；低温试验选用 40℃；跌落高度为250mm。 试验后，规管应满足本标准5.1.2、5.1.4和5.1.6的要求。 5.2真空计的技术要求 5.2.1工作环境 真空计应在下述环境条件和供电电源下应能正常工作： a）环境温度：（0～40）℃。 b）相对湿度：不大于85%（25℃时）。 c）电源电压：使用交流电源时，公称值为220V，频率50Hz，电压变化应不大于土10%；使用直 流电源时，公称值由生产厂家规定，一般低于48V，并且优先采用5V、12V、24V、36V、48V 2 JB/T10553-2006 等电压值，电压变化应不大于土5%。 5.2.2外观 a）真空计外壳及零部件的表面应处理良好，标志的文字和符号均应清晰； b）显示器应无缺段、缺字等现象： c）真空计的开关、旋钮、指示灯、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好，所有紧固件不得松动 脱落。 5.2.3 真空计的规管工作电源 在标准环境温度下，真空计提供的规管工作电源电压的稳定度应满足下述要求： a）当电源电压为220V土22V时，规管工作电源电压的变化不应超过土1%： b）电源电压为220V，电路通电1h后，规管工作电源电压的变化不应超过土1%； c）使用直流电源供电，当电源电压变化土5%时，规管工作电源电压的变化不应超过土1%； d）使用直流电源供电，电压为公称值时，电路通电1h后，规管工作电源电压的变化不应超过土1%。 5.2.4真空计的匹配误差 在标准环境温度下，当真空计输人零点标称信号值（电压或电流）时，仪表显示值的误差不得超过 土0.2%（满度）。 在标准环境温度下，当真空计输人满量程标称信号值（电压或电流）时，仪表显示值误差不得超过 ±0.2%（满度）。 5.2.5极限偏差 在标准环境温度下，真空计示值误差应不超过下述范围： 当压力在（100～1×10°）Pa范围内时，±0.5%（满度）。 5.2.6输出信号 当真空计有输出信号时，应满足下列要求： a）真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T3370的规定，真空计模拟直流电流信号范围应符合 GB/T3369的规定。 b）真空计输出数字的编码应优先采用BCD码，并列出逻辑“1”、“0”状态的电平值及负载能力。 真空计的数字通信接口，建议优先采用RS232C和RS422接口。采用25针RS232C接口应符合 GB/T6107，采用9针RS232C接口应符合EIA/TIA-574的规定，采用RS422接口应符合GB/T 11014的规定。 5.2.7 控制性能 对于带有控制功能的真空计，产品使用说明书中应标明控制方式、控制范围、动作误差和负载能力。 动作误差不应超过示值的士5%。 5.2.8抗运输环境性能 真空计在运输包装条件下，应能符合JB/T9329的要求，其中：高温试验选用55℃，低温试验选用 -40℃，跌落高度为250mm。 试验后，真空计能满足本标准5.2.2和5.2.5的要求。 6试验方法 6.1规管试验方法 6.1.1规管是否符合5.1.2的要求，用目测或相应的测量工具来进行检查。 6.1.2规管是否符合5.1.3的要求，用绝缘电阻表测量。 6.1.3规管是否符合5.1.4的要求，观察和游标卡尺来进行检查。 6.1.4规管是否符合.5.1.5的要求，在相应灵敏度的的质谱检漏仪上进行检查。 6.1.5规管的基本误差是否符合5.1.6的要求，采用下列方法和装置进行测试： 3