ICS23.160 N 68 中华人民共和国机械行业标准 JB/T10074—2004 代替JB/T10074-1999 电阻真空计 技术条件 Specifications of resistance vacuum gauge 2004-03-12发布 2004-08-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会 发布 JB/T10074—2004 目 次 前言 1.范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4.1规管的技术要求. 4.2 真空计电路的技术要求 4.3 真空计整机技术要求 5试验方法.. 5.1规管的试验方法 5.2 真空计电路的试验方法 5.3 整机试验 检验规则 6.1 出厂检验. 6.2 型式试验 标志、包装、运输和贮存 7.1标志 7.2 包装 7.3产品出厂应随带的技术文件 7.4运输 7.5贮存 表1# 检验项目、检验方法和要求 JB/T10074-2004 前言 本标准代替JB/T10074--1999《电阻真空计技术条件》。主要技术指标参照JJF1050--1996《工作 用热传导真空计校准规范》，以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制订。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由上海市通用机械技术研究所归口。 本标准起草单位：上海市通用机械技术研究所、成都瑞普电子仪器公司、成都正华电子仪器公司、 上海市计量测试技术研究院、上海市真空学会。 本标主要起草人：韩建华、陈健、辜国证、许红、黄松生。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ZBY248—1984，JB/T10074—1999。 III JB/T10074-2004 电阻真空计 技术条件 1范围 本标准规定了电阻真空计（以下简称真空计）的技术要求、试验方法、检验规则等内容。该真空计 由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。 本标准适用于压强测量范围：10°Pa～10"Pa的真空计。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准： GB/T191包装储运图示标志（GB/T19[-—2000，eqvISO780：1997） GB/T4982夹紧型真空快卸法兰（GB/T4982—1985，idtISO2861-1：1974） GB/T6587.2电子测量仪器温度试验 GB/T6587.3电子测量仪器湿度试验 GB/T13306标牌 JB/T 9329 仪器仪表运输，运输贮存基本环境条件及试验方法 JJF1050 工作用热传导真空计校准规范 3术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 电阻真空计resistancevacuumgauge 利用加热中的热丝电阻随压强而变化的一种热导真空计。 3.2 真空计规管 vacuumgauge tube 为电阻真空计的-个部分，含有热丝电阻随温度变化的敏感元件并直接与真空系统连接。 3.3 真空计电路 子vacuumgaugecircuit 为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。 4技术要求 4.1规管的技术要求 4.1.1规管在下述环境条件下应能正常工作： a）环境温度：0℃～40℃ b）相对湿度：不大于80%（25℃时）。 4.1.2外观：规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。 4.1.3电阻值：规管热丝电阻冷态电阻值的零散不应超过土2%。 4.1.4规管与真空系统连接部分应满足下列要求： 4.1.4.1规管连接部分为圆型管道时，管道的外径应为15.5mm土0.5mm： JB/T10074-2004 4.1.4.2规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时，其技术要求应符合GB/T4982的规定 4.1.5密封性：规管对氮气的漏率应不大于10-*Pa·m/s。 4:1.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不得小于10M2。 4.1.7在环境温度为23℃±3℃下，规管校准曲线在测量范围0.5Pa～2500Pa时，与标准曲线的偏差平均 值不得超过土25%。 4.2真空计电路的技术要求 4.2.1真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作： a）环境温度：0℃~40℃： b）相对湿度：不大于80%（25℃时）； c）电源电压：220V±22V，频率50Hz±0.5Hz。 4.2.2真空计外观： a）真空计机箱外壳及表面处理良好，标志的文字符号均应清晰： b）真空计的显示器应无引起测量误差的外观缺陷，如模拟式电表不应有机械零位失调、指针弯曲 和卡针等现象：数字式显示器应无缺段、缺字等现象： c）真空计的开关、按钮、指示灯等均应齐全、完好，所有紧固件不得松动脱落。 4.3真空计整机技术要求 4.3.1规管和电路匹配使用时，仪器预热半小时经调整后，1h内，在电源电压为220V±22V时，真空 计在压强测量范围0.5Pa～2500Pa内，示值相对误差不应超过土50%。 5试验方法 5.1规管的试验方法 5.1.1规管是否符合4.1.1的要求，参照GB/T6587.2和GB/T6587.3的有关规定进行。 5.1.2规管是否符合4.1.2的要求，用目测或相应的测量工具来进行检查。 5.1.3用电桥方法测量冷阻及其零散，测量时取加热电流为工作时最小电流的1%。测试电路见图1。 图1 图中： RI、R2-——标准精密电阻，其精确度不超过土0.5%，R和Rz取近似于Ro的2倍： Ro-—-电阻真空计规管： Rs一标准电阻箱，能分辩的电阻变化不超过0.2%Ro，能检测的最大电阻为Ro的2倍： R-0kQ~20k多圈电位器： -光点检流计： G 2 JB/T10074-2004 E—稳定度优于0.2%的直流稳压电源，其值为2V： mA- 一精确度为1级的直流毫安表。 测量方法：在标准状态（温度23℃士3℃、湿度不大于80%）下，并在无热源、无空气对流及无振 动的条件下，按照规管正常使用时的安装位置放置规管。调节外电路串联电阻R，及桥臂电阻R；或R2 达到以下状态，即1s=0；这时Ro=R3，其Ro值由电阻箱读出，冷阻的零散应符合本标准4.1.3的要求。 ·参照JF1050的有关规定进行。 5.1.4规管连接部分用观察或GB/T4982来进行检查。 5.1.4.1规管连接管道的外径检测，系指离出口不小于30mm部分。用游标卡尺检测应符合4.1.4.1的 要求。 5.1.4.2用相应的检测工具来进行检查，应符合GB/T4982中有关连接盘部分的技术要求。 5.1.5规管是否符合4.1.5的要求，应在灵敏度不低于（5×10-l0）Pa·m²/s的氢质谱检漏仪上进行检 查。 5.1.6规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻，用500V绝缘电阻表检查应符合本标准4.1.6要求. 5.1.7采用定压式电路配合待测规管校准，其校准系统的不确定度不超过10%。试校气体为氮气。计 算单个规管校准曲线的误差取其相对值，即按式（1）、式（2）计算： Ai = Pi-P, Ps (2) 式中： pi--压强示值： P:压强标准值； Ai单个校准曲线选点对标准曲线的偏差值： 4-按压强计算的偏差平均值： 一选定点测量次数。 零散性测试选点，在测量范围内应不少于5点。其中两头各取1点，中间取3点。经上述测试和计 算，每个点的偏差平均值应符合本标准4.1.7的要求。 5.2真空计电路的试验方法 5.2.1真空计电路是否符合4.2.1的要求，参照GB/T6587.2和GB/T6587.3的有关规定进行。 5.2.2真空计外观是否符合4.2.2的要求，用目测或相应的方法来进行检查。 5.3整机试验 5.3.1在真空校准系统上检查电阻真空计显示的压强测量范围。 5.3.2真空计电路和规管配套，参照测规管特性曲线的方法进行整机测试，在压强测量范围的上下限 之间选点，每个数量级不得少于3点，每点重复测量不得少于3次，取平均值计算示值相对误差。其示 值相对误差值应符合本标准4.3.1的要求：在测试点中任选取1到2点进行1h时漂移和电源电压变化的 测试，其结果应符合本标准4.3.1的要求。 6检验规则 真空计的出厂检验、型式试验项目，按表1的规定。 6.1出厂检验 产品经检验全部检验项目合格，并附有产品合格证，方可出厂。 JB/T10074—2004 表1 检验项目、检验方法和要求 出厂检验 型式试验 技术要求条款 试验方法条款 项目 △ 4.1 5.1 规管 4.2 5.2 真空计电路 △ △ 4.3 5.3 整机 注：△符号为应做项目。 6.2 型式试验 在下列情况下，真空计应进行型式试验： a）新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定： b）产品在设计、工艺或材料上有较大改变可能影响产品性能时： c）停产一年以上恢复生产时： d）国家质量检验机构提出进行型式试验的要求时。 7标志、包装、运输和贮存 7.1标志 每台真空计应有固定标牌，其尺寸应符合GB/T13306的规定，并应标示下列内容： a）制造厂名称； b）产品的型号和名称： c）额定电压： d）制造年月和出厂编号。 7.2包装 7.2.1真空计的包装方法应保证产品在正常运输中不致损坏。产品出厂时，应有防尘保护，并做到： 清洁、防潮、防霉和抗压。 7.2.2包装箱外表应注明：产品型号、名称、数量、小心轻放、防潮、向上和收货单位及地址、发货 单位及地址、并按GBT191正确选用包装储运图示标志。 7.3产品出厂应随带的技术文件 7.3.1产品合格证的内容为： a）产品型号和名