ICS 23.160 J78 备案号：34896—2012 中华人民共和国机械行业标准 JB/T7673—2011 代替JB/T7673--1995 真空技术 真空设备型号编制方法 Vacuum technology-Methods for compiling vacuum equipment models 2011-12-20发布 2012-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T7673-—2011 目 次 范围.. 1 规范性引用文件 2 3 术语和定义， 真空设备型号组成 4 4.1 通则... 4.2 真空泵 4.3 真空泵机组 4.4 真空阀门.. 4.5 真空镀膜机. 5真空设备型号示例 5.1 真空泵 5.2 机组.. 5.3 阀门... 5.4 镀膜机， 参考文献， 表 1 真空泵名称 表 2 真空泵特征 表 3 阀门使用的真空范围， 表4 阀门结构型式. 表 5 阀门驱动方式. 表 6 阀门通道型式. 表 7 阀门辅助结构型式， 表8 膜层沉积原理、 表9 镀膜机结构特征 表10 镀膜机用途特征. JB/T7673——2011 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JB/T7673—1995《真空设备型号编制方法》，与JB/T7673—1995相比主要技术变化如下： -增加了前宽； 为了使用的方便增加了目次； 一增加了第2章“规范性引用文件”； 增加了第3章“术语和定义”； 一所有表增加了标题； -增加了表1中的涡旋真空泵等的型号“WX、ZH、LC、LG、IQ、YK、SK”，表2中的真空泵特 征型号“F、P、Q、J”，表6中阀门通导形式“D”，表8中的镀膜原理型号“ZLF、LR、HYJ、 HF”，表9中的镀膜机特征型号“F、J、N”，表10中的镀膜机用途特征型号“B、I、E”； 增加了表7阀门辅助结构型式，以后的表号依次顺延； 修改了镀膜室内部尺寸表示法，用一个数表示； 重新编制了表8中的溅射镀膜原理型号； 删除了表1中的余摆线真空泵、单级多旋片式真空泵、汞扩散真空泵、回旋泵（弹道泵）、复合 的镀膜机用途特征“Z、R”，3.1中的XD-63、YZ-150 修改了JB/T7673一1995第3章“真空设备型号示例”中的编制内容，成为本标准的第5章。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司。 本标准参加起草单位：浙江真空设备集团有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所、台 州环球真空设备制造有限公司、淄博真空设备厂有限公司。 本标准主要起草人：杨静、陈月增、范立群、王西龙、王晓虎、刘玉魁、赵计春、赵伟胜、徐法俭。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ZBJ78016~78019-1989; JB/T7673—1995。 II JB/T7673—2011 真空技术真空设备型号编制方法 1范围 本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。 本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3163—2007真空技术术语 3术语和定义 GB/T3163界定的术语和定义适用于本文件。 4真空设备型号组成 4.1通则 由基本型号和辅助型号两部分组成，两者中间为横直线， 4.2真空泵 基本型号 辅助型号 023-456 代表真空泵级（极）数，以阿拉伯数字表示。不分级（极）或单级（极）者省略。 2 代表真空泵名称，以构成名称的一个（或两个）关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印 刷体大写）表示，按表1的规定。 3 代表真空泵特征，以其关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印刷体大写）表示，按 表2规定或自编补充代号，如无需表示可省略。 4 代表真空泵使用特点（多指被抽气体性质），对于可凝性被抽气体，以印刷体大写字母“N” 表示；对于腐蚀性被抽气体，以印刷体大写字母“F”表示。无特指者省略或自编补充代号。 5 代表真空泵规格或主参数，以阿拉伯数字表示，按表1的规定。 6 代表真空泵设计序号，以第一次改型设计开始，以字母A、B、C、顺序表示。 I JB/T7673---2011 表1真空泵名称 序号 真空泵名称 代号 关键字意义及拼音字母 真空泵规格或主参数 相应单位 往复真空泵 1 W “往”复“wang” 2 D “定”片“ding” 定片真空泵 3 旋片真空泵 x “旋”片“xuan” “滑”阀“hua” 4 滑阀真空泵 H 5 罗茨真空泵（机械增压泵） ZJ “增”压“zeng”，“机”械“ji” 抽气速率 L/s 6 罗茨干式真空泵 LC “罗"“luo”，“茨”“ci" 7 涡旋真空泵 WX “涡”“wo”，“旋”“xuan” “爪”式“zhua” 8 爪式真空泵 ZH 9 螺杆真空泵 LG "蝶"“luo”，“杆”“gan” 10 溅射离子泵 “离”子“li" 11 分子泵 F “分”子“fen” 12 扩散 K “扩”散“kuo” 13 扩散喷射泵《油增您泵) z “增”压“zeng” 14 办华浆 s “升”华“sheng” 进气口径 mm “吸”"xi","气”“qi" 15 吸气剂泵 XQ 16 锆铝吸气剂泵 GL “锆”“gao"”，“铝”“lu” 17 制冷机低温聚（冷凝泵） DZ “低”温“di”，“制”冷“zhi" 18 灌注式低温浆（冷凝泵） DG “低”温“di”，“灌”注“guan” 19 分子筛吸附泵 FX “分"子“fen"，“吸”附“xi" 分子筛重量 kg 20 水喷射泵 PS “喷”射“pen”“水”“shai" 抽气速率 m²/h 21 气喷射泵 PQ “喷”射“pen”，空“气”“qi” 22 水蒸气喷射 P “喷”射“pen” 总抽气量 kg/h 23 液环真空泵 YK “液”环“ye" 优量 m’/min 24 水环真空泵 SK “水”环“shui” 个别规格泵的进个只径相圆而抽气速率不等， 则可同时标出抽气速率，单位为/s。 表2 真空泵特征 代号 关键字意义及拼音字母 代号 关键字意义及拼音字母 W “卧”式“wo” T “凸”腔“tu” z “直”联“zhi" F “风”冷“feng”，“复”合“fu” “升”华器“sheng” x 磁“悬”浮“xuan” 带“旁”路“pang” “金”属密封“jin” P J 带“截”止阀“jie” I G “干”式“gan” Q “气”冷“qi” 4.3 真空泵机组（以下简称机组） 基本型号 辅助型号 023-45 1 2 JB/T7673—2011 2] 代表机组中主泵名称，以代号表示，按表1的规定。 3 代表机组组合特征，如前级泵配置、挡油器形式等，以其关键字的汉语拼音字母（印刷体大 写）表示， 由制造厂编撰。通常可省略。 4 代表机组中主泵的规格或主参数，以阿拉伯数字表示，按表1的规定。 [5 代表机组设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C、顺序表示。 4.4 真空阀门（以下简称阀门） 基本型号 辅助型号 口23-4日6 代表阀门使用真空范围，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印刷体大写）表示，按表3的 规定。 代表阀门结构型式或功能类别，以其关键字的汉语拼音第一（第二、三）个字母（印刷体大 写）表示，按表4的规定。 表3阀门使用的真空范围 代号 c G D 关键字意义及拼音字母 “超”高真空阀“chao” “高”真空阀“gao” “低”真空阀“di” 表4 阀门结构型式 代号 关键字意义及拼音字母 代号 关键字意义及拼音字母 “挡”板“dang” “锥”形“zhui” D c “插”板“cha” w “微”调“wei" F “翻”板“fan” U “球”形“qiu” M 隔“膜”“mo” 入 “压”差“ya” 1 “蝶”形“die” 3 代表阀门驱动方式，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印刷体大写）表示，按表5的规定， 手动式省略。 4 代表阀门通道型式及使用方向，以其关键字的汉语拼音第个字母（印刷体大写）表示，按 表6的规定，直通式省略，双向阀省略。