ICS 31. 030 L 90 备案号：52024-2015 中华人民共和 用原子吸收光谱测定 铜、铁、钊 前 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。2 本标准由全国半导体设备与材料标准化技 本标准起草单位：苏州晶瑞化学有限公司、 国电子科技集团公司第四十六研究所。 本标准主要起草人：刘兵、钱森林、 用原子吸收光 银、金、钙、 1范围 本标准规定了采用原子吸收光谱法（AAS 验方法。 本标准适用于电子工业用硝酸（HNO 本标准中对于硝酸（HNO3）中微量金属离 宜于用火焰法（FL-AAS）对于量在01pg/L~ 应用本标准测定单子业用硝酸（HNO,） 在100μg/L以下的测定人推荐不低于GB50472 本标准不涉及使用安全性间荣准韵 制。 SJ/T11556—2015 5 试剂及材料 5.1 纯水 符合GB/T11446.1规定的EW-I级电子级纯 5.2高纯硝酸 硝酸含量65%~71%，单项金属离子浓度 5.3标准溶液 银(Ag)、金(Au)、钙(Ca)、铜(Cu)、铁((Fe) 5.4气体 高纯乙炔(纯度>99.99%)、净化的压缩空气 5.5实验用塑料瓶 若千HDPE（或PP、FEP、PFA）材质的容 注：HDPE——高密度聚乙烯，PP——聚丙烯，FEP— 乙烯基醚共聚物。 6.2.2测定 6.2.2.1工作标准溶液的配制 工作标准溶液见下表2。 表2 工 元素 标准溶液浓度 mg/L 准确移取规定的银 银 (8V) 0.5、1.0、1.5 量瓶中，用1%的码 准确移取规定的金 金（Au) 0.5、1.0、1.5 量瓶中，用的 准确移取规定的钙 钙(Ca) 1.0、2.0、 3.0 准确移取规定的铜 铜(Cu) 0.5~ 量瓶中用16的 准确移取规定的 铁(Fe) 配中，用1% 通移取规定的销 6.2.2测定 6.2.2.1工作标准溶液的配制 工作标准溶液见下表2。 表2 工 元素 标准溶液浓度 mg/L 准确移取规定的银 银 (8V) 0.5、1.0、1.5 量瓶中，用1%的码 准确移取规定的金 金（Au) 0.5、1.0、1.5 量瓶中，用的 准确移取规定的钙 钙(Ca) 1.0、2.0、 3.0 准确移取规定的铜 铜(Cu) 0.5~ 量瓶中用16的 准确移取规定的 铁(Fe) 配中，用1% 通移取规定的销 6.2.2测定 6.2.2.1工作标准溶液的配制 工作标准溶液见下表2。 表2 工 元素 标准溶液浓度 mg/L 准确移取规定的银 银 (8V) 0.5、1.0、1.5 量瓶中，用1%的码 准确移取规定的金 金（Au) 0.5、1.0、1.5 量瓶中，用的 准确移取规定的钙 钙(Ca) 1.0、2.0、 3.0 准确移取规定的铜 铜(Cu) 0.5~ 量瓶中用16的 准确移取规定的 铁(Fe) 配中，用1% 通移取规定的销