ICS 31.030 L 90 备案号：52022-2015 中华人民共和 用电感耦合等离子你 酸中金属 前 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术 本标准起草单位：苏州晶瑞化学有限公司、 国电子科技集团公司第四十六研究所。 本标准主要起草人：刘兵、钱森林、 A 用电感耦合等离子体发射光 1范围 本标准规定了采用电感耦合等离子体发射 本标准适用于电子工业用氢氟酸中微量金 钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍( 锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。 应用本标准测定的电感耦合等离字体发身 GB50472中规定的100000级售净室 本标准不涉及使用安牵性问题，本标准的 制。 规范性引用文 2 件 SJ/T115542015 100mg/L，也可使用其他浓度的标准溶液。 5.2高纯氢氟酸 氢氟酸含量40%50%，金属离子含量低于 5.3气体 高纯氩气、高纯氮气，纯度不低于99.999%； 5.4纯水 符合GB/T11446.1规定的EW-I级电子级纯 5.510%（V/V）氢氟酸 取50mL高纯氢氟酸(5.2)到洗净的500mLP 口瓶中，用纯水（5.4）稀释到500mL，混匀， 注1：10%氢氟酸是基于与被测样品的基体浓度保持 注2：本标准中所用到的容器可为PFA（四氟乙烯- 物）、PP（聚丙烯）、HDPE（高密度聚乙烯 10μg/L）浸泡3天～5天。 表1 元素 钠 (Na) 镁(Mg) 铝(AI) 钾(K) 钙(Ca) 钛(Ti) 钒(V) 铬(Cr) 锰（M) 铁（Fa Cey ONiy (0) (Zn) 锌 表1 元素 钠 (Na) 镁(Mg) 铝(AI) 钾(K) 钙(Ca) 钛(Ti) 钒(V) 铬(Cr) 锰（M) 铁（Fa Cey ONiy (0) (Zn) 锌 表1 元素 钠 (Na) 镁(Mg) 铝(AI) 钾(K) 钙(Ca) 钛(Ti) 钒(V) 铬(Cr) 锰（M) 铁（Fa Cey ONiy (0) (Zn) 锌