ICS 71.100.20 G 86 SJ 备案号：50574-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11517—2015 电子工业用气体一氧化碳 Gases for electronic industry-Carbon monoxide 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T 115172015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准山全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1）归口。 本标准起草单位：西南化工研究设计院有限公司、1海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种 气体研究所有限公司、北京绿菱气体科技有限公司。 本标准士要起草人：方华、王新鹏、吴平修、庄鸿涛、杜汉盛、汤有伦、周鹏云。 SJ/T 11517—2015 电子工业用气体 太一氧化碳 1范围 本标准规定了一氧化碳的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于甲酸脱水、甲酸甲酯选择分解、木炭还原二氧化碳、甲醇裂解或使用天然气、轻油、 重质液态烃、焦炭、煤等含碳物质为原料经过氧化、蒸汽转化或二氧化碳还原等不同工艺过程获得并经 精制得到的一氧化碳产品。它在多晶态钻石膜生产中，为化学气相沉积（CVD）工艺过程提供碳源。 分子式：CO 相对分子质量：28.0101（按2007年国际相对原子质量计算） 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分电解法 GB/T5832.2气体中微量水分的测定.第2部分露点法 GB 7144 气瓶颜色标志 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 GB/T 8984 GB 11640 铝合金无缝气瓶 GB 14194 永久气体气瓶充装规定 GB/T26571 特种气体储存期规范 GB/T28726 气体分析氨离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程(国家质量监督检验检疫总局发布，2000年) 3技术要求 一氧化碳的质量应符合表1的要求。 表1技术指标 项目 指标 氧化碳（CO）纯度（体积分数） ≥99.995 10-2 氢（H2）含量（体积分数） <2 10-6 氧（O2）+氩（Ar）含量（体积分数） <5 10~6 SJ/T11517—2015 表1（续） 项目 指标 氮（N2）含量（体积分数） <20 10-6 二氧化碳(CO2)含量(体积分数) <3 10-6 总碳氢化合物(以甲烷计)含量(体积分数) <2 10-6 水（H2O）含量(体积分数) <2 10-6 总杂质含量(体积分数) 10-6 4检验规则 一氧化碳产品应逐一一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产 品不合格。 氧化碳采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 5试验方法 5.1一氧化碳纯度 一氧化碳纯度按(1)式计算： β=100-(@+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5+Φ)×10-4 (1) 式中： -氧化碳纯度(体积分数)/10- Φr 氢（H2）含量(体积分数)/10~； Φ2 氧+氩含量(体积分数)/10； Φ3 氮含量(体积分数)/10*°； Φ4 二氧化碳含量(体积分数)/10； 总碳氢化合物（以甲烷计）含量（体积分数)/10°； Φ Φ-水含量(体积分数)/10。 5.2放空 测定一氧化碳中杂质含量时，应有一氧化碳尾气处理措施。 5.3氢、氧+氩、氮、二氧化碳的测定 按GB/T28726规定的方法测定一氧化碳中的氢、氧+氩、氮、二氧化碳含量。 色谱柱I：柱长约3m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其 他等效色谱柱。该柱用于分析氢、氧+氩、氮含量。 2 SJ/T11517—2015 色谱柱IⅡI：柱长约6m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.18～0.25mm的HayesepR（一种高分 子聚合物），或其他等效色谱柱。该柱用于分析二氧化碳含量。 气体标准样品：组分含量的体积分数为（1～5）×10°，平衡气为氨。 允许采用其他等效的方法测定一氧化碳中的氢、氧+氩、氮、二氧化碳含量。当以上测定结果有异 议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁方法。 5.4总碳氢化合物（以甲烷计）的测定 按GB/T8984规定的方法测定一氧化碳中的微量总碳氢化合物的含量。 色谱柱：柱长约3m、内径3mm的不锈钢柱，内装粒径为0.18mm～0.25mm的硅烷化玻璃微球载体， 或其他等效色谱柱。 气体标准样品：组分含量的体积分数为（1～5）×10°，平衡气为氨。 以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。 5.5水含量的测定 按GB/T5832.1或GB/T5832.2规定的方法或其他等效的方法测定一氧化碳的水含量。当以上测定结 果有异议时，以GB/T5832.2规定的方法为仲裁方法 6标志、包装、购运及安全 6.1标志、包装及贮运 6.1.1一氧化碳的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。 6.1.2包装一氧化碳的气瓶应符合GB11640的规定。 6.1.3# 推荐使用进行内表面处理的气瓶。瓶阀出气口连接方式推荐使用DISS724或CGA350。 6.1.4应防止瓶口被泄漏和污染。 6.1.5 一氧化碳的充装应符合GB14194的相关规定。 6.1.6气瓶颜色标志应符合GB7144的规定。 6.1.7运输时，一氧化碳气瓶上应附有GB190中指定的标志。 6.1.8 包装容器上应标明“电子一氧化碳”字样。 6. 1. 9 瓶装一氧化碳的成品压力应大于气瓶公称工作压力的90%。用于测量的压力表精度不低于1.5 级。 6.1.10 一 -氧化碳的保存期限按GB/T26571规定执行。 6.1.11一氧化碳出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括： 一一产品名称，生产厂名称； 一生产日期或批号，充装压力（MPa）或充装量（Kg）； 一本标准号及技术指标，检验员号。 6.1.12一氧化碳产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源。 6.2安全要求 6.2.1一氧化碳是无色、无臭、易燃的有毒气体。 6.2.2与一氧化碳接触时，禁止明火、禁止火花和禁止吸烟。若发生火灾，应切断气源，喷雾状水保 持钢瓶冷却，用干粉、二氧化碳灭火。 3 SJ/T 11517—2015 6.2.3 3一氧化碳是一种化学室息剂。一氧化碳与血红蛋白的亲和力强，是氧的300倍，更容易被血红 细胞吸收。一氧化碳中毒的表现有头痛、虚弱、眩晕、恶心及晕厥，严重病例可有昏迷、脉弱和呼吸衰 竭。 6.2.4时间加权平均接触限值：25×10体积分数)。 注：时间加权平均接触限值：正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均含量。 6.2.5对CO中毒的救护必须迅速及时。首先应将患者移至通风良好处，保持体温。接着由医护人员 或遵照医护人员瞩吋进行抢救，包括人工呼吸和给氧。 6.2.6接触一氧化碳时，推荐使用带有隔绝式呼吸器的气密式化学防护服。 SJ/T 11517—2015 中华人民 共 #和国 电子行 业标准 电子工业用气体一氧化碳 SJ/T11517—2015 * 中国电子技术标准化研究院 编制 中国电子技术标准化研究院 发行 电话：（010）64102612 传真：（010）64102617 地址：北京市安定门东大街1号 邮编：100007 网址：www.cesi.cn * 开本：880×1230 1/16 字数：18千字 1 2015年8月第一版 2015年8月第一次印刷 印数：200册 定价：30.00元 版权专有 不得翻印 举报电话：（010）64102613