ICS31.030 L90 SJ 备案号：50568-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11511—2015 液晶显示器用正胶显影液 Positive PhotoresistdeveloperforLCD 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11511—2015 前言 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、 本标准主要起草人：戈士勇、何珂、王周霞、王香、装会川。 H SJ/T11511—2015 液晶显示器用正胶显影液 1范围 本标准规定了液晶显示器用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标 志、储存、运输等。 本标准适用于液晶显示器用正胶显影液，以下简称正胶显影液。 本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限 制。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T601 化学试剂标准滴定溶液配制 GB/T602 化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T603 化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备 GB/T605 化学试剂色度测定通用方法 GB/T631—2007 化学试剂氨水 GB/T6678 化工产品采样总则 GB/T6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T9729 化学试剂氯化物测定通用方法 GB/T11446.1 电子级水 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB50472 电子工业洁净厂房设计规范 SJ/T11510—2015液晶显示器用铝腐蚀液 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 超纯硝酸 ultrapurenitricacid 金属离子含量不大于1g/L的硝酸。 1 SJ/T11511—2015 性状和技术要求 4 4.1 性状 本试剂为无色透明有刺激性氨味的碱性液体，为四甲基氢氧化铵的水溶液，四甲基氢氧化铵含量允 许相对偏差为±1.0%。 技术要求 4.2 正胶显影液技术要求应符合表1的规定： 表 1 技术要求 项目 指标 色度 ≤10 Hazen 颗粒（≥0.5um） ≤50 pes/mL 氯化物（CI) ≤0.1 mg/kg 碳酸盐（CO3） ≤100 mg/kg 银（Ag) ≤50 Hg/kg 铝(A1) ≤50 μg/kg 砷（As)* ≤50 μg/kg 金（Au）* ≤50 μg/kg 硼（B）* N50 μg/kg 钡（Ba)* ≤50 μg/kg （Be)* ≤50 Hg/kg 铋（Bi）* ≤50 μg/kg 钙（Ca) ≤50 μg/kg 锅（Cd) ≤50 Hg/kg 2 35 美 g/g μg/kcg Hg/cg Hg/kg ugkg Hg/kg Hg/kg (sr <Sb <sn (Pt (M0 (In) (Na (Li) (K> (Hg Fe (Cu) (Co) EN) 表 1 （续》 <50 ≤50 ≤50 <50 <50 ≤50 <50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 <50 <50 SJ/T 11511- 2015 SJ/T 11511-2015 表1（续） 项目 指标 钛（Ti）* ≤50 Hg/kg 钒（V）* μg/kg 锌(Zn) μg/kg 注：*项为供选项。 5试验方法 5.1一般规定 本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品按GB/T601、 GB/T602、GB/T603的规定制备：除特殊要求外，实验用水应符合GB/T6682中二级水规格，实验用试 剂均为分析纯。 5.2 显影液含量测定 5.2.1 试剂 盐酸标准滴定溶液：℃（HCl）=0.1mol/L。 5.2.2 仪器和设备 自动电位滴定仪：配酸碱滴定电极。 5.2.3 测定步骤 称取适量样品于滴定杯中，精确至0.0001g，加入40mL纯水，按照自动电位滴定仪操作规程测定 显影液含量。 两次平行测定结果相对偏差不大于0.5%，取其算术平均值为测定结果。 5.3色度测定 按GB/T605规定方法测定。 5.4 颗粒测定 按SJ/T11510—2015中5.4的规定测定。 5.5 阴离子测定 5.5.1 氯化物 称取20g试样于25mL比色管中，精确至0.0001g，稀释至20mL，按GB/T9729的规定测定。溶液 所呈浊度不得大于对应的标准比浊溶液。 4 SJ/T11511—2015 标准比浊溶液的制备是取含0.002mgC1的氯化物标准溶液，稀释至20mL，与同体积样品溶液同时 同样处理。 5.5.2碳酸盐 称取10g样品于100mL容量瓶中，精确至0.0001g，用无二氧化碳的水稀释至刻度，定容，摇匀。 移取10mL该溶液于50mL比色管中，按GB/T631一2007中5.7的规定测定。 标准比浊溶液的制备是取含0.1mgCOz的二氧化碳标准溶液，用无二氧化碳的水稀释至40mL，与 同体积样品溶液同时同样处理。 5.6阳离子测定 5.6.1方法提要 采用电感耦合等离子体-质谱法（ICP-MS）以标准加入法为分析方法检测阳离子含量。 5.6.2试剂和材料 5.6.2.1 超纯水：符合GB/T11446.1的电子级I级水。 5.6.2.2超纯硝酸。 5.6.2.3硝酸溶液：取50mL硝酸加入950mL超纯水。 5.6.2.4调谐液：由仪器供应商提供或者持证调谐溶液，其中阳离子含量不大于10μg/L。 5.6.2.5 调谐工作液：1g/L，取10mL调谐液（5.6.2.4）加入90mL超纯水，此液4℃冷藏可保持 3 d. 5.6.2.6 多元素标准储备液：阳离子浓度为100μg/mL，选取相应浓度的持证标准溶液。 5.6.2.7 多元素标准工作液：分别取标准储备液（5.6.2.6）1mL于聚四氟乙烯洁净瓶中，加2mL硝 酸，用水稀释至100mL，摇匀，此标准工作液中阳离子浓度为1μg/mL。 5.6.2.8高纯氩气、氢气、氢气，纯度大于99.999%。 5.6.3 仪器设备 5.6.3.1八极杆电感耦合等离子体-质谱仪（ICP-MS）：配制八极杆反应系统（ORS）。 5.6.3.2微量移液器：（10-100），（100-1000）。 5.6.4分析步骤 5.6.4.1样品测试液 100级制样净化房中，称取6份10g待测试样，精确至0.0001g，分别置于6个100mL的聚四氟乙烯 高纯瓶中，加2mL超纯硝酸，依次加入0mL、0.05mL、0.2mL、0.5mL、0.7mL和1.0mL多元素标准 工作液（5.6.2.7），用超纯水稀释至100g，摇匀。 5.6.4.2测定步骤 按照仪器操作规程，调节好仪器工作条件，以零点为空白测定样品阳离子含量。 线性相关系数不得低于0.995。 5.6.5检出限、精密度和回收率 5.6.5.1检出限（L0Q） 5