ICS 31. 030 L 90 SJ 备案号：50566-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11509—2015 液晶显示器用ITO腐蚀液 ITO etching solution for liquid crystal display 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T11509—2015 前 本标准是按照GB/T1.1—2009之规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。 本标准主要起草人：戈士勇、何珂 上周霞 装会川。 SJ S STA IND RDS SJ/T11509—2015 液晶显示器用ITO腐蚀液 1范围 本标准规定了液晶显示器用ITO腐蚀液的术语、分类、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包 装、标志、储存、运输等。 本标准适用于液晶显示器用ITO腐蚀液，以下简称ITO腐蚀液。 本标准不涉及使用安全性问题本标准的使 负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限 制。 2 规范性引用文件 USTRY 本文件的应用是家的凡是注日期的引用文件，仅所日期的版本适用于本文 下列文件对于 件。凡是不注日期橱用文件 用于本文件 其最新版本 活所有的修改单费 适 包装储运图示 TECHNOL GB/T191 GB/T 601 深济液配制 GB/T602 武剂杂质测定用标准落液的制备 GB/T603 试剂试验 及制品的制备 GB/T447 化工 901 密度、相对 GB/T667 产品采 GB/T6682 验室用 水规格和试验 GB/T9723 火焰原子吸收光谱法通则 GB/T9727 磷酸盐测定通用方法 GB/T9728 试秘硫酸盐测定通用方法 GB/T9854—2008 化学试剂草酸 GB/T11446.1 电子级水 GB15258 GB 50472 HG/T3474—2000 化学试剂三氯化铁 SJ/T11510—2015 液晶显示器用铝腐蚀液 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1IToindiumtinoxides 钢锡氧化物， 一种n型氧化物半导体。 SJ/T11509—2015 超纯硝酸 ultrapurenitricacid 3. 2 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸。 分类、性状和技术要求 4.1 分类 ITO腐蚀液常用的种类有王水系、FeCl系、乙酸系、草酸系和硫酸系5个类别。 4. 2 性状 王水系、FeCIs系、乙酸系、草酸系和硫酸系ITO腐蚀液的性状符合表1规定： 表1 ITO腐蚀液性状 类别 性状 王水系 淡黄色、有刺激性气味的透明液体，为盐酸、硝酸及水按一定配比配成的混合液体 FeCl,系 红棕色液体，为三氯化铁、盐酸及水按一定配比配成的混合液体，三氯化铁含量允许偏差为 ±0.5%，盐酸含量允许偏差为±1.0% 无色、有刺激性气味的透明液体，为盐酸、 乙酸及水按一定配比配成的混合液体 乙酸系 草酸系 无色、略有刺激性气味的透明液体，为草酸的水溶液，草酸含量允许偏差为±0.1% 无色、略有刺激性气味的透明液体，为硫酸、硝酸、 乙酸及水按一定配比配成的混合液体 硫酸系 技术要求 4.3 4.3.1 5类ITO腐蚀液酸值和密度的技术要求 5类ITO腐蚀液酸值和密度的技术要求符合表2规定： 表2 ITO腐蚀液酸值和密度技术要求 酸值允许偏差 密度允许偏差 类别 mmol/g g/mL ±0.2 ±0.01 王水系 FeCl,系 ±0.05 乙酸系 ± 0.2 ±0.01 草酸系 ±0.01 硫酸系 ±0.2 ±0.03 酸值和密度指标由供需双方商定，允许偏差按表2规定、 注： 4.4 杂质含量 5类ITO腐蚀液杂质含量应符合表3的规定： 2 SJ/T11509—2015 表3 杂质含量 项目 王水系 三氯化铁系 乙酸系 草酸系 硫酸系 色度（max) ≤10 一 一 ≤10 01> Hazen 硫酸盐（SO4） ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 一 mg/kg 磷酸盐（PO4） ≤1 ≤1 ≤1 一 mg/kg 银（Ag) ≤10 10 ≤10 ≤10 "g/kg 铝(AI) ≤20 "g/kg 砷(As) 01> μg/kg 钡(Ba) 10 μg/kg 钙(Ca) 01V 0001 ≤10 ≤50 "g/kg 鍋(Cd) ≤10 01> ≤50 μg/kg IRY 钻（Co) ≤10 "g/kg 铬(Cr) ≤50 "g/kg 铜(Cu) ≤10 0 ≤30 "g/kg 铁(Fe) ≤50 μ g/kg 镓(Ga) 01> μg/kg 汞(Hg) ≤100 ≤100 ≤10 ≤10 "g/kg 钾(K) ≤10 0001> 01> "g/kg 锂(Li) ≤10 01 01> μg/kg 3