ICS 31.030 L 90 SJ 备案号：50564-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11507—2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 Oxidecoatingetchingbufferforintegratedcircuit 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11507—2015 前 信 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。 本标准主要起草人：戈士勇、 何珂 装会川。 2 STA ND SJ/T11507—2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 1范围 本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、 标志、储存、运输等。 本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀 本标准不涉及使用安全性间题。本 负责建文适当的安全健康条款及使用范围的限 制。 AT 2规范性引用文件 下列文件对于本受价 并的应用是然的凡是注日期的引双件，仅所活日期的版本适用于本文 件。凡是不注日 期购用文件 其最新版本（包活所有的修改单 GB/T 191 包装储运图示 GB/T601 定溶液的制备 式剂杂） 测定用标准落领的制备 GB/T602 GB/T603 武剂试验 制晟的制备 GB/T605 试剂色度定通用方法 GB/T667 产品采 化 GB/T6682 验室用水规格和试验方 分机 GB/T9727 磷酸盐测定通用方法 GB/T9728 硫酸盐测定通用方法 GB/T9729 氣化物测定通用方法 化学试剂硅酸盐测定通用方法 GB/T9742 GB/T11446.1 电子级水S 化学品安全标签编写规庭 GB15258 GB50472 SJ/T11510 -2015 液晶显示器用铝腐蚀液 3术语和定义 超纯硝酸 ultrapurenitricacid 金属离子含量不大于1ug/L的硝酸。 SJ/T11507—2015 4 性状和技术要求 4.1 性状 本腐蚀液为无色透明液体，呈酸性，是氟化铵与氢氟酸按一定比例混合的缓冲溶液，氟化铵含量允 许偏差为±0.4%， 氢氟酸含量允许偏差为土0.25%。 技术要求 4. 2 氧化层缓冲腐蚀液的技术要求应符合表1的规定： 表1 技术要求 指标 项目 - II III 色度 ≤10 Hazen 颗粒（≥0.5μm） 《25 ≤25 ≤10 pes/mL 颗粒(≥1.0μm） 01> ≤10 一 pes/mL 氮化物（CI) ≤3 ≤3 ≤2 mg/kg 硫酸盐（SO.） ≤1.5 ≤1.5 mg/kg 磷酸盐（PO) ≤0.4 mg/kg 氟硅酸盐（SiFe） ≤50 ≤50 ≤10 mg/kg 银(Ag) 00S> ≤10 ≤I μg/kg 铝(AI) ≤100 ≤10 μg/kg 砷(As) ≤300 ≤10 μg/kg 金(Au) ≤500 ≤10 ≤1 ug/kg 硼(B) ≤10 1 ug/kg 钡(Ba) 00S> ≤10 ≤1 μg/kg 2 SJ/T11507—2015 表1(续) 指标 项目 1 11 II 钙(Ca) 《10 ≤1 μg/kg (Cd) ≤200 01> ≤1 μg/kg 钻(Co) ≤10 ≤I μg/kg 铬(Cr) ≤1 500 μg/kg AND 铜(Cu) 1 206 μg/kg 铁 (Fe) ≤500 01> ≤1 μg/kg 镓(Ga) ≤1 μg/kg OF 汞（Hg ≤1 Hg/k 钢（ TRY ≤1 500 钾（K) ≤1 8508 μg/k LSIN 锂（Li) ≤500 01V ≤1 μg/kg 镁 (Mg) ≤500 ≤10 ≤1 μg/kg S 锰(Mn) ≤1 ug/kg RDS A 钼(Mo) 1 500 μg/kg (EN) 001> 01> ≤1 μg/kg 镍(Ni) ≤500 01> ≤1 μg/kg 铅(Pb) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 铂 (Pt) ≤500 01> ≤1 μg/kg 锑(Sb) 01> ≤I ≤500 μg/kg 3