ICS 31. 030 L90 SJ 备案号：50563-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11506—2015 集成电路用铝腐蚀液 Aluminum etching solutionforIntegrated Circuit 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11506—2015 前 言 本标准是按照GB/T1.1—2009之规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。 本标准主要起草人：戈士勇、 何珂 装会川。 AND S STA IND SJ/T11506—2015 集成电路用铝腐蚀液 1范围 本标准规定了集成电路用铝腐蚀液（以下简称铝腐蚀液）的术语、性状、技术要求、试验方法、检 验规则和包装、标志、储存、运输等。 本标准适用于集成电路用铝腐蚀液 本标准不涉及使用安全性问题。本标准 负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限 制。 2 规范性引用文件 下列文件对 的应用凡是注日期的引件，仅所日期的版本适用于本文 件。凡是不注日 期南用文件 其最新版本 （包活所有的修改单 GB/T 191 包装储运图示 GB/T 601 溶液配制 GB/T602 试剂杂 GB/T603 式剂试验 制品的制备 583 GB/T4472- 20 化工 广密度、相对 GB/T6678 化 产品采 GB/T6682 验室用 规格和试验 GB/T8170 约规则与极限数值的表示和判定 GB/T9728 硫酸盐测定通用方法 GB/T 9729 氯化物测定通用方法 S GB/T 11446.1 电子级水 化学品美全物整编写规定 GB15258 GB 50472 RD D SJ/T11510—2015 液晶显示器用铝腐饨 3术语 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 超纯硝酸ultrapurenitricacid 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸。 SJ/T11506—2015 表1(续） 指标 项目 I II I 铜 (Cu) 001> ≤50 ≤5 μg/kg 铁(Fe) ≤100 ≤20 ≤2 μg/kg 汞 (Hg) ≤100 ≤2 μg/kg 钾(K) ≤100 ≤20 ≤2 μg/kg 镁(Mg) ≤100 ≤10 μg/kg 锰(Mn) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 钠(Na) ≤100 ≤2 μg/kg 镍(Ni) ≤100 ≤10 μg/kg 铅(Pb) ≤100 01> ≤2 μg/kg 锑(Sb) 00S> ≤2 μg/kg 锡(Sn) ≤100 ≤2 μg/kg 钛(Ti) 001 ≤2 μg/kg 钒(V) ≤100 ≤20 ≤2 μg/kg 锆 (Zr) ≤100 ≤20 ≤2 μg/kg 注： 酸值和密度由供需双方商定， 含量允许偏差值满足表1规定 5 试验方法 5. 1 一般规定 本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品均按GB/T601 GB/T602、GB/T603 之规定制备：除特殊要求外， 实验室用水应符合GB/T6682中二级水规格，实验 用试剂均为分析纯。 3