ICS 29.045 SJ H 83 备案号：50562-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范 Sapphire singlecrystalpolishedwafers specification 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T 115052015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草。 请注意本文件的某些内容能涉及专利。本文件的发布机构不承扣识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、1业和信息化部电子T业标准化研究院 合肥品桥光电材料有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、天通电了控股股份有限公司。 本标准主要起草人：何秀坤、李静、陈俊、樊志远、李翔、付雪涛。 一 SJ/T11505—2015 蓝宝石单晶抛光片规范 1范围 本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、 包装、运输和贮存等内容。 本标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片，其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参 照本标准。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1555半导体单晶晶向X衍射测定方法 GB/T2828 逐批检查计数抽样程序及抽样表 GB/T 6618 硅片厚度和和总厚度变化测试方法 GB/T6619 硅片弯曲测试方法 GB/T6621：硅抛光片表面平整度测试方法 GB/T6624：硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T14140硅片直径测量方法 GB/T 14264 “半导体材料术语 SJ/T 11396 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片 SJ/T20387 红外探测器用蓝宝石窗口性能试验方法 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。 4要求 4.1衬底抛光片 蓝宝石单晶衬底抛光片的要求见SJ/T11396。 4.2窗口抛光片 4.2.1材料 蓝宝石窗口所用材料为蓝宝石单晶，其化学组成为α-Al2O3，蓝宝石单晶性能应符合如下要求： 纯度应不低于99.995%； a) 衍射摇摆曲线半峰宽度应不大于15弧秒； SJ/T11505—2015 位错密度应不大于1000个/cm²。 c) 4.2.2外观 表面无污染、无崩边、双面磨抛。 4.2.3表面状况 表面呈镜面，表面平整度、翘曲度、弯曲度应符合表1的规定。 表1 表面平整度、翘曲度和弯曲度 单位为毫米 直径(D) D≤25 25<D≤50 50<D≤75 平整度 S00'0> L00'0> 0100> 翘曲度 ≤0.010 ≤0.020 ≤0.025 弯曲度 S00'0≤ ≤0.007 0100> 注：其它规格抛光片的要求由供需双方商定。 4.2. 4 结晶完整性 在所有直径范围内均应为单晶结构，目视无镶嵌、无云层、无气泡。 4.2.5晶向 在所有直径范围内晶向均应为（0001）土1° 4.2. 6 6几何尺寸 直径、厚度及公差应符合表2的规定。 表2直径、厚度及公差 单位为毫米 直径(D) D≤25 25<D≤50 35<D≤75 直径公差 ±0.10 ±0.10 ±0.10 厚度（H) 0.600<H≤0.800 0.800<H≤1.000 1.000<H≤1.500 厚度公差 ±0.010 ±0.015 ±0.020 注：其它规格抛光片的要求由供需双方商定。 4.2.7透过率 厚度为1mm时，在3μm~5μm波长范围，透过率应不低于80%，通过率曲线应平滑、无吸收峰。 4. 2. 8 应力双折射 应力双折射最大光程差应小于350nm/cm。 4. 2. 9 力学试验 应能承受表3所规定的力学试验，试验后性能指标应无变化。 2 SJ/T11505—2015 表3力学试验条件 试验项目 离心加速度 振动试验 碰撞试验 冲击试验 试验条件 试验 20Hz2000Hz~20Hz， 振动频率 加速度15g 40次/min~80次/min，加速 脉冲重复频率 度35g，脉冲持续时间6ms 80g，脉冲持续时 60g，持续时间 加速度 间6ms 6 ms 4.2.10 环境试验性 应能承受表4所规定的环境试验，试验后窗口性能指标应无变化。 表4窗口环境试验条件 试验项目 温度冲击试验 热冲击试验 交变湿热试验 试验条件 55℃+→120℃，保持时间 0℃→100℃，保持时间5min， 55℃→25℃，湿热连 温度 30min，转换时间小于30s， 转换时间小于10s，共10周期 续交变时间96h 共10周期 湿度 %6 5试验方法 5.1 衬底抛光片 蓝宝石单晶衬底抛光片的试验方法见SJ/T11396。 5.2窗口抛光片 5.2.1杂质含量 采用ICP-MS、GD-MS或SIMS法进行杂质含量测定。 5.2. 2 外观质量 按GB/T6624目测外观质量。 5.2.3表面状况 5.2.3.1按GB/T6621进行表面平整度测定。 5.2.3.2按GB/T6618进行表面翘曲度测定。 5.2.3.3按GB/T6619进行弯曲度测定。 5.2.4 结晶完整性 按SJ/T20387进行结晶完整性测定。 3 SJ/T11505—2015 5.2.5晶向 按GB/T1555进行晶向测定。 5.2.6几何尺寸 按GB/T14140进行直径测定，按GB/T6618进行厚度和总厚度变化测定。 5.2.7透过率 按SJ/T20387进行透过率测定。 5.2.8应力双折射 按SJ/T20387进行应力双折射测定。 5.2.9力学试验 按SJ/T20387进行力学试验。 5.2.10环境试验 按SJ/T20387进行环境试验。 6检验规则 6.1衬底抛光片 蓝宝石单晶衬底抛光片的检验规则见SJ/T11396。 6.2窗口抛光片 6.2.1检查与验收 6.2.1.1 窗口抛光片由制造方质量部门按本标准进行检验，并附有检验合格证。 6.2.1.2 除非另有规定，使用方在收到窗口抛光片时，应按本标准规定验收。 6.2.2组批 应成批提交验收，每批应由同一牌号、类型和规格的产品组成。 6.2.3检验分类 6.2.3.1 鉴定检验 鉴定检验项目为本规范4.2所规定的全部内容，检验产品的数量应不少于3片，检验产品应全部符合 本规范的规定。 6.2.3.2 质量一致性检验 检验项目应按本规范的4.2.1~4.2.8条的规定进行逐批检验。 6.2.3.3抽样方案 产品交收试验应按GB/T2828采用一次抽样方案进行抽样，检查水平为一般IⅡ，接收质量限为1.0。 4 SJ/T11505—2015 7标志、包装、运输和贮存 7. 1 衬底抛光片 蓝宝石单晶衬底抛光片的标志、包装、运输和贮存见SJ/T11396。 7. 2 窗口抛光片 7. 2. 1 产品标志 在检验合格的每批产品外包装上应有如下标志： 产品名称； b) 规格； c) 直径、厚度； d) 生产批号； 生产日期； e) 生产厂家名称。 f) 7. 2. 2 包装 7. 2. 2. 1 产品包装应具有防擦伤、防污染、防破裂措施，包装盒附有防震标志。 7. 2. 2.2 包装箱上应附产品质量合格证。蓝宝石单晶衬底抛光片质量合格证的要求见SJ/T11396，窗 口抛光片的质量合格证应包括以下内容： 供方名称及商标； a) b) 产品名称； 规格； c) d) 件数； e) 执行标准； 检验结果及检验部门印章； 生产日期。 g) 7. 2. 3 运输和贮存 产品在搬运、运输和储存过程中应防止高温、碰伤和化学腐蚀。 7.2. 3.1 7.2. 3. 2 产品应保存在无腐蚀气氛的洁净仓库中。 5