ICS 29.045 SJ H 83 备案号：50544-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11487—2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触 测量方法 Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductorwafer 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T 114872015 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。 本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。 本标准主要起草人：何秀坤、董彦辉、刘兵、李翔、付雪涛。 SJ/T 11487—2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 1范围 本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。 本标准适用于半绝缘砷化、磷化钢、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量，电阻率的测量范围 为102cm~10122.cm。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。 4方法原理 非接触式电阻率测试源自电容充放电原理，如图1所示。电阻率R。与电容充放电弛豫时间成正比 根据电量变化的弛豫曲线可确弛豫时间t，并最终计算得到电阻率Rs。 电容探头 Q 电极 外围防护 晶片 T=R,(C,+C,) T 图1 非接触式电阻率测量原理图 1 SJ/T 114872015 5干扰因素 测量时应注意以下干扰因素： 样品厚度均匀性和有效测量面积的变化对测量结果产生影响，测量试样厚度应均匀，其面积应 a) 大探头面积。 测量温度等均会对测量结果产生影响，应注意保持测试环境和试样温度在22℃~24℃范围。 6测量装置 测量装置由下列部分组成： a） 电容式无接触半绝缘品片电阻率测定仪： b）千分尺，精度土0.01mm。 7环境要求 环境温度为22℃~24℃，相对湿度小于70%，测试室应无机碱冲击、振动，无电磁干扰。 8样品制备 将试样制备成厚度为0.5mm1mm两面平行的圆片或方片，样品的有效测量面积应大探头面积。 9测试步骤 9.1校准 采用同类校准样品进行10次测量，例如对于电阻率为10°2-cm10°2·cm的碳化硅标样，所测得的 标样电阻率平均值与标称值的差在土2%范周内；对于电阻率为10°Qcm~10°2.cm或10°2cm～1022cm 的碳化硅标样，所测得的标样电阻率平均值与标称值的差在土10%范用内。 9.2测量 将试样放入样品空中测定时间常数t，测试时试样应避光，避免试样光电导对测鼠结果的影响。 10计算 由公式（1）计算电阻率p: p= T(88)-1 ·(1) 式中： 测试材料的相对介电常数： 介电常数： 时间常数，S。 2 SJ/T11487—2015 11 精密度 在同一实验室，按照本标准，对电阻率为4×10°2·cm的碳化硅样品进行10次重复性测量，相对标准 偏差（RSD）为2%。 12 报告 报告应包括如下内容： 样品来源； a) b) 样品编号、名称、规格； c) 样品厚度； d) 有效测量面积； e) 测量环境； f) 测量仪器型号； 测量结果； g) h) 测试者姓名、测试单位、测试日期。 3 SJ/T 11487—2015 中华人民共和国 电子行业标准 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 SJ/T11487—2015 * 中国电子技术标准化研究院 编制 中国电子技术标准化研究院 发行 电话：（010）64102612 传真：（010）64102617 地址：北京市安定门东大街1号 邮编：100007 网址：www.cesi.cn * 印张： 5 开本：880×1230 1/16 字数：15千字 8 2015年8月第一版 2015年8月第一次印刷 印数：200册定价：25.00元 版权专有 不得翻印 举报电话：（010）64102613 SJ/T 11487—2015 中华人民共和国 电子行业标准 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 SJ/T11487—2015 * 中国电子技术标准化研究院 编制 中国电子技术标准化研究院 发行 电话：（010）64102612 传真：（010）64102617 地址：北京市安定门东大街1号 邮编：100007 网址：www.cesi.cn * 印张： 5 开本：880×1230 1/16 字数：15千字 8 2015年8月第一版 2015年8月第一次印刷 印数：200册定价：25.00元 版权专有 不得翻印 举报电话：（010）64102613