ICS31.030 SJ L90 备案号：50537-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T114842015 掺铝氧化锌型透明导电氧化物玻璃 Aluminumdopedzincoxidetypetransparentconductiveoxidecoatedglass 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T114842015 目 次 前言 范围 1 2规范性引用文件 3术语和定义 4 材料. 技术要求. 5 5.1 总则 2 5.2 外观质量 TON 5.3 尺寸和偏 5.4 机械性角 5.5 光学性 5.6 电学性 5.7 耐候 . 5.8 特殊 试验方法 6 6.1 标准计 6.2 外观质 5 6.3 玻璃尺 时角线差 6.4 机械性能 6 6.5 光学性能 6.6 电学性能. 8 耐候性能.. 6.7 检验规则 7 10 检验分类. 7.1 10 7.2 组批.. 10 7.3 出厂检验.. .10 型式检验 10 7.4 8包装、标志、储存和运输 11 8.1标志. 11 8.2包装.. .11 8.3 储存和运输 11 附录A（资料性附录） 膜层表面形貌 12 附录B（资料性附录） 化学组分 13 1 SJ/T11484—2015 前言 本标准根据GB/T1.1一2009规定的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会(SAC/TC203)归口。 本标准主要起草单位：汉能控股集团有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家建筑 材料工业太阳能光伏（电）产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人：丁建、武振羽、熊宇迪、童翔、郁操、陈振、王香、王冬。 II SJ/T114842015 铝氧化锌型透明导电氧化物玻璃 1范围 本标准规定了掺铝氧化锌型透明导电氧化物玻璃的术语、定义、材料、技术要求、试验方法、检验 规则、包装、标志、储存和运输。 本标准适用于硅基薄膜太阳能电池用掺铝氧化锌型透明导电氧化物玻璃。其他薄膜太阳能电池技术 可参照此标准。 2规范性引用文件 STRY 下列文件对于 文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件， 注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日 的园用文件 #最新版本括所有的修改单适用天本件 GB/T 1551 桂单 电阻率测量方 2009 GB/T2419 2008 透明婆 透光率和雾度测定 GB/T2828 2012 计 检验程序 第1部分：按接受质量限（AQI） 业务 家的逐批检验抽样计 划（ISO2859 1.1999 IDT) GB/T2829 周期检 Z 2002 及其试验 GB/T6382. 平极玻离集装器具 法 1995 GB/T638 平 法 1925 GB/T8170 2008 数值修 约规则写极限 的表 尔和判定 GB/T9286 1998 色漆和清漆漆膜的划格试验 GB11614 2009 板玻璃 200 GB/T18114.5 稀士精矿化学分析方法第5部分：氧化铝量的测定 电感耦合等离子体发射 光谱法 GB/T18915.1—2002 JC/T513—1993 3平板玻璃木箱包 JC/T676—1997 玻璃材料弯曲强度试 JC/T678—1997 玻璃材料弹性模量、剪切模量和泊松比试验方法 IEC61646-2008地面用薄膜光伏组件 设计鉴定和定型（Thin-filmterrestrialphotovoltaic(PV) modules-Design qualification and typeapproval) ISO9050-2003建筑用玻璃.玻璃透光性的测定.透阳光性.太阳能透过度以及紫外线透过度的测定 和有关上光模（Glassinbuilding-Determinationoflighttransmittance,solardirecttransmittance,totalsolar energytransmittance,ultraviolettransmittanceandrelatedglazingfactors) 3术语和定义 GB/T18915.1—2002和GB/T2410—2008界定的及下列术语和定义适用于本文件。 1 SJ/T11484—2015 3.1 TCO玻璃 transparentconductingoxide（TCO）glass 镀有透明导电氧化物薄膜的玻璃。 3. 2 掺铝氧化锌型透明导电氧化物玻璃 aluminumdopedzincoxidetypetransparentconductiveoxide coatedglass 表面镀有掺铝氧化锌型透明导电氧化物的玻璃，通常简称AZO透明导电氧化物玻璃或ZAO透明导 电氧化物玻璃，以下简称AZO型TCO玻璃。 3. 3 雾度haze 透过试样而偏离入射光方向大于5°角的散射光通量与透射光通量之比，通常用百分数表示。 3. 4 方块电阻sheetresistance 一个正方形的薄膜导电材料边到边之间的电阻，方块电阻值与方块的边长无关，仅与导电膜的厚度 和电导率等参数相关。 4 材料 AZO型TCO玻璃以浮法玻璃为基底时，基底外观质量应满足GB11614一2009的要求。 除上述要求外，玻璃镀膜所采用的材料均应满足相应的国家标准、行业标准、相关技术条件或订货 文件要求。 技术要求 5 5.1 总则 AZO型TCO玻璃的主要技术要求及其试验方法应符合表1的规定。 表1AZO型TCO玻璃主要技术要求及其试验方法 名称 技术要求 试验方法 外观质量 5.2 6.2 尺寸和偏差 5.3 6.3 机械性能 5.4 6.4 光学性能 5.5 6.5 电学性能 5.6 6.6 耐候性能 5.7 6.7 5.2 外观质量 AZO型TCO玻璃的外观质量应符合表2的规定。 2 SJ/T 114842015 表2 AZO型TCO玻璃的外观质量要求 缺陷种类 外观质量 点状缺陷 直径L/mm 允许个数限度/个 5xS 0I>T>S0 3×S 玻璃点状缺陷 1.0<L≤1.5 IxS L>1.5 0 膜面点状缺陷 1≤L≤2.5 2×S ≥0.3mm的点状缺陷最小间距不小于300mm； 点状缺陷密集度 直径100mm圆内尺寸≥0.2mm的点状缺陷不超过3个。 线道 ND 不允许 裂痕 划伤 允许范围 允许条数限度 玻璃划像 宽≤0.2mm,长≤40mm 2XS USTRY ，长≤10mm 2XS 断市 公称厚度不超！ mm时，每米不 3个。 7 S是以 平方来为单位的 注： 板面积数值 GB/T8170—2008 点状缺陷的允许 限应及划伤的允 个数 限度为各系数与S相乘所得的数值 2008修丝 GB/T8170 至整数。 三 点状缺 许有光畸 5. 3 尺寸和 5.3.1 玻璃尺 于偏差 S AZO型TCO 长度与宽度信 厚度偏差 差参照表4。 MIN 表3尺寸偏差 单位为毫米 对偏美 S 公称厚度 尺000 2~6 + 表4厚度偏差和厚博差 单位为毫米 公称厚度 厚度偏差 厚薄差 2~6 ±0.2 0.2 5.3.2 玻璃对角线差 AZO型TCO玻璃在形状为矩形的情况下，对角线差应不大于两对角线平均长度的0.15%。 5.3.3 玻璃边缘 AZO型TCO玻璃四拐角应倒角，并且磨边光滑。 3