ICS31.030 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T28159—2025 代替GB/T28159—2011 电子级磷酸 Electronicgradephosphoricacid 2025-08-29发布 2026-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T28159—2011《电子级磷酸》,与GB/T28159—2011相比,除结构调整和编辑性 改动外,主要技术变化如下: a) 更改了电子级磷酸的规格等级(见4.2,2011年版的4.2); b) 更改了电子级磷酸外观的测试方法(见5.2,2011年版的5.3); c) 增加了电子级磷酸含量用电位滴定仪和密度仪测试的方法(见5.3.2.5及5.3.3); d) 增加了色度项目及检测方法(见5.4); e) 更改了电子级磷酸易氧化物的测试方法(见5.5,2011年版的5.5); f) 更改了电子级磷酸金属离子的测试方法(见5.6,2011年版的5.6); g) 更改了电子级磷酸氯化物、硝酸盐、硫酸盐的测试方法(见5.7,2011年版的5.7); h) 更改了电子级磷酸颗粒的测试方法(见5.8,2011年版的5.8); i) 增加了挥发酸项目及检测方法(见5.9)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:中国电子技术标准化研究院、湖北兴福电子材料股份有限公司、贵州磷化(集团) 有限责任公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、天富(江苏)科技有限 公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、信联电子材料科技股份有限公司、广西川金诺化工有限公 司、江苏澄星磷化工股份有限公司、云南省化工产品质量监督检验站、联仕新材料(苏州)股份有限公司、 湖北三宁化工股份有限公司、广西钦州志诚化工有限公司、眉山胜科电子化学有限公司、晶瑞电子材料 股份有限公司。 本文件主要起草人:曹可慰、李少平、史泽远、赵俊莎、姜飞、陈惠云、顾玲燕、吴怡然、李祥庆、苏守进、 聂新宇、张宝帅、胡国涛、贾成林、陈伟、徐海圣、张淑娟、王琴、姚莎、李万清、雷惠宪、李全东、叶瑞、贺兆波、 黄如林、张永萍、黄俊群、钱森林、王洪华。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———2011年首次发布为GB/T28159—2011; ———本次为第一次修订。 ⅠGB/T28159—2025 电子级磷酸 1 范围 本文件规定了电子级磷酸的要求、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、安全等,并描述了相应的试 验方法。 本文件适用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T1282—2013 化学试剂 磷酸 GB1886.15—2015 食品安全国家标准 食品添加剂 磷酸 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1 电子级水 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T23770 液体无机化工产品色度测定通用方法 GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T34672—2017 化学试剂 离子色谱法测定通则 SJ/T11637—2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则 SJ/T11638 电子化学品中颗粒的测试方法 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 要求 4.1 外观 电子级磷酸应为无色透明液体。 4.2 规格 电子级磷酸分为E1级、E2级、E3级共3个等级,其中E1级主要用于显示面板行业、E2级主要用 于8寸集成电路行业、E3级主要用于12寸集成电路行业。 1GB/T28159—2025 4.3 技术要求 电子级磷酸的技术要求应符合表1的规定。 表1 技术要求 项 目指 标 E3 E2 E1 磷酸(H3PO4)质量分数/% 85~90 85~90 85~90 色度/黑曾单位 ≤5 ≤5 ≤10 易氧化物(以H3PO3计)质量分数/% ≤0.0005 ≤0.0005 ≤0.001 硝酸盐(NO- 3)质量分数/(mg/kg) ≤0.1 ≤0.1 ≤0.5 硫酸盐(SO2- 4)质量分数/(mg/kg) ≤0.5 ≤0.5 ≤5 氯化物(Cl-)质量分数/(mg/kg) ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 挥发酸(以H+计)含量/(mmol/g) ≤0.0002 ≤0.0002 ≤0.0002 银(Ag)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 铝(Al)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤50 砷(As)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 金(Au)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤10 硼(B)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤50 钡(Ba)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 钙(Ca)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤50 镉(Cd)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 钴(Co)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 铬(Cr)质量分数/(μg/kg) ≤3 ≤5 ≤20 铜(Cu)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 铁(Fe)质量分数/(μg/kg) ≤5 ≤20 ≤50 镓(Ga)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤10 钾(K)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 锂(Li)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤10 镁(Mg)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 锰(Mn)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 钼(Mo)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 钠(Na)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤50 镍(Ni)质量分数/(μg/kg) ≤3 5 ≤20 铅(Pb)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 锑(Sb)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤100 锡(Sn)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤10 2GB/T28159—2025 表1 技术要求(续) 项 目指 标 E3 E2 E1 锶(Sr)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 钛(Ti)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤50 铊(Tl)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤20 锌(Zn)质量分数/(μg/kg) ≤1 ≤5 ≤50 颗粒≥0.2μm/(个/mL) ≤20 ≤50 — 颗粒≥0.1μm/(个/mL) ≤50 ≤100 — 其他颗粒粒径/(个/mL) 供需双方商定 供需双方商定 供需双方商定 注:“—”为不做要求。 5 试验方法 5.1 一般规定 本文件所用试剂在没有注明其他要求时均指分析纯试剂,所用水为GB/T11446.1规定的EW-Ⅰ 级电子级水。试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按照 GB/T601、GB/T602、GB/T603的规定配制。金属离子的测定、颗粒测定及其溶液的配制及样品的处 理均需在不低于GB/T25915.1中规定的ISO6级洁净室进行。 5.2 外观检验 将试样注入50mL比色管中至50mL刻度线,沿比色管直径对光观察,是否为无色透明液体。 5.3 磷酸质量分数的测定 5.3.1 重量法(仲裁法) 按GB1886.15—2015中A.4.1规定的方法进行。 5.3.2 容量法 5.3.2.1 原理 以百里香酚酞为指示液,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定磷酸,以确定磷酸含量。 5.3.2.2 试剂 5.3.2.2.1 氢氧化钠标准滴定溶液:c(NaOH)=0.5mol/L。 5.3.2.2.2 百里香酚酞指示液:1g/L。 5.3.2.3 分析步骤 称取约1g试样,精确至0.0002g。置于250mL锥形瓶中,加80mL水和5滴百里香酚酞指示 液,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液变为浅蓝色即为终点。 3GB/T28159—2025 5.3.2.4 试验数据的处理 磷酸(H3PO4)的质量分数w1按公式(1)计算: ω1=cVM m×1000×100 …………………………(1) 式中: ω1———磷酸(H3PO4)的质量分数,%; c———氢氧化钠标准滴定溶液的浓度,单位为摩尔每升(mol/L); V———消耗的氢氧化钠标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL); m———试样的质量,单位为克(g); M———磷酸的摩尔质量的1 2,单位为克每摩尔(g/mol),M1 2H3PO4æ èçö ø÷=49.00é ëêêù ûúú。 取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。 5.3.2.5 其他说明 根据企业测量设备的配置情况,可使用自动电位滴定仪替代手动滴定进行磷酸含量检测。 5.3.3 密度仪法 5.3.3.1 原理 本方法运用U形管振荡法测量液体密度的原理,主要是使用带有参比测量池的U形