ICS77.150.99 CCSH68 中华人民共和国国家标准 GB/T26307—2025 代替GB/T26307—2010 银 靶 材 Silvertarget 2025-08-29发布 2026-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T26307—2010《银靶》,与GB/T26307—2010相比,除结构调整和编辑性改动 外,主要技术变化如下: a) 增加了术语和定义(见第3章); b) 增加了产品Ag99.995纯度的分类和化学成分的要求,以及对应的试验方法(见4.1.1、5.1、 6.1); c) 增加了产品结构形式要求(见4.1.2); d) 增加了产品标记要求(见4.2); e) 更改了晶粒度要求,由“银靶的横向平均晶粒度应在50μm~150μm”改为“产品的横向平均晶 粒度应不大于150μm”(见5.2,2010年版的3.3); f) 增加了产品内部质量要求、试验方法及检验结果判定的规定(见5.3、6.3、7.4.2); g) 增加了产品焊接质量要求、试验方法及检验结果判定的规定(见5.5、6.5、7.4.2); h) 更改了产品外形尺寸及其允许偏差要求,由整体产品尺寸修改为不含背板的产品尺寸要求(见 5.6,2010年版的3.6); i) 更改了产品晶粒度分析方法,删除了附录A“现场金相测定银靶横向平均晶粒度的检测方法” (见5.2,2010年版的附录A); j)增加了产品检验项目及取样要求(见7.3); k) 增加了产品随行文件及订货单中相关内容(见8.3、第9章)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国有色金属工业协会提出。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本文件起草单位:有研亿金新材料有限公司、金川集团股份有限公司、云南省贵金属新材料控股集 团股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研亿金新材料(山东)有限公司、有研资源环境技 术研究院(北京)有限公司。 本文件主要起草人:宋琦、何金江、万小勇、杨晓艳、闻明、吴卫煌、朱孜毅、袁学韬、张亚东、尚再艳、 王传军、应宗波、张晓娜、徐国进、辛柏朴、刘丹。 本文件于2010年首次发布,本次为第一次修订。 ⅠGB/T26307—2025 银 靶 材 1 范围 本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行 文件和订货单。 本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款,其中注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本 文件。 GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T4135 银锭 GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T8651 金属板材超声板波探伤方法 GB/T11067(所有部分) 银化学分析方法 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T36590 高纯银化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 GB/T39810 高纯银锭 YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 靶材 target 溅射沉积技术中的阴极部分。 注:该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。 3.2 靶坯 targetblank 阴极上用作目标材料的部分。 3.3 背板 blackingplate 用来支撑或固定靶坯的部分。 注:靶材与背板通过钎焊的方式连接。 1GB/T26307—2025 4 分类和标记 4.1 产品分类 4.1.1 产品的类型按化学成分分为Ag99.99、Ag99.995两种。 4.1.2 按结构形式分为单体和复合两种。具体见图1。 a) 单体产品 b) 复合产品 图1 产品结构形式 4.1.3 产品的形状和尺寸主要由设备机台确定,外形主要为圆形、矩形。 4.2 标记 产品标记按照本文件编号、结构形式、背板材质、化学成分的顺序表示,标记示例如下: - GB/T26307- 结构形式- 背板材质 化学成分 示例: 化学成分为Ag99.99的以无氧铜材质为背板的产品,标记为:GB/T26307-复合-无氧铜背板-Ag99.99。 5 技术要求 5.1 化学成分 牌号为Ag99.99的产品化学成分应符合GB/T4135的规定。 牌号为Ag99.995的产品化学成分应符合GB/T39810的规定。 需方有其他特殊牌号或化学成分要求时,由供需双方商定。 5.2 晶粒度 产品的横向平均晶粒度应不大于150μm。需方对晶粒度有特殊要求时,由供需双方商定。 5.3 内部质量 产品的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。 5.4 表面粗糙度 产品的表面粗糙度Ra值不应大于1.6μm。 2GB/T26307—2025 5.5 焊接质量 复合靶材产品的绑定方法为钎焊,钎焊质量应满足焊接结合率大于或等于95%,单个焊接缺陷面 积占比不大于总面积的2%,需方如有特殊要求时,应由供需双方协商确定,并在订货单中注明。 5.6 外形尺寸及其允许偏差 产品的外形尺寸及其允许偏差应符合表1的规定。需方对尺寸有特殊要求时,由供需双方商定。 表1 外形尺寸及其允许偏差 单位为毫米 形状外形尺寸及其允许偏差 直径(长、宽)直径(长、宽) 允许偏差厚度 厚度允许偏差 圆形 矩形25~120 ±0.15 >120~400 ±0.2 >400~520 ±0.3 50~120 ±0.15 >120~400 ±0.2 >400~700 ±0.33~15 ±0.1 5.7 外观质量 产品表面应清洁光滑,无指痕,无油污和锈蚀;无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷;无润滑痕迹、颗粒附 加物和其他沾污。 6 试验方法 6.1 牌号为Ag99.99的产品化学成分分析按GB/T11067(所有部分)的规定进行。牌号为Ag99.995 的产品化学成分分析按GB/T36590的规定进行。 6.2 晶粒度的测量按GB/T6394的规定进行。 6.3 内部质量的检验按GB/T8651的规定进行。 6.4 表面粗糙度的测量按GB/T1031的规定进行。 6.5 焊接质量的检测按YS/T837的规定进行。 注:单体产品不检测焊接质量。 6.6 外形尺寸及其允许偏差的测量按GB/T15077的规定进行。 6.7 外观质量用目视检查,如发现异常现象,在10倍放大镜条件下进行目视检查。 7 检验规则 7.1 检查和验收 7.1.1 产品应由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件的规定。 3GB/T26307—2025 7.1.2 需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符,应 在收到产品之日起15d内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样应由供需双方在需 方共同进行。 7.2 组批 产品应成批提交验收。每批应由同一原料、同一规格的产品组成。 7.3 检验项目及取样 每批产品均应进行化学成分、晶粒度、内部质量、表面粗糙度、焊接质量、外形尺寸及其允许偏差、外 观质量的检验。检验项目、取样位置及数量应符合表2的规定。 表2 检验项目及取样规定 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条编号 试验方法的章条编号 化学成分 铸锭缩孔下 每个锭取1个试样 5.1 6.1 晶粒度 靶坯边缘 逐件 5.2 6.2 内部质量 整体 逐件 5.3 6.3 表面粗糙度 任意部位 逐件 5.4 6.4 焊接质量 结合面 逐件 5.5 6.5 外形尺寸及 其允许偏差整体 逐件 5.6 6.6 外观质量 整体 逐件 5.7 6.7 7.4 检验结果的判定 7.4.1 化学成分不合格时,则判该批产品不合格。 7.4.2 晶粒度、内部质量、表面粗糙度、焊接质量、外形尺寸及其允许偏差、外观质量任一项不合格 时,则判该件产品不合格。 8 标志、包装、运输、贮存及随行文件 8.1 标志 8.1.1 产品标志 每件检验合格的产品上进行如下标记: a) 供方名称; b) 产品名称和牌号; c) 批号; d) 本文件编号。 8.1.2 包装标志 产品外包装上应贴标签,内容包含: a) 供方名称; 4GB/T26307—2025