ICS 77.150.50 YS H64 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T893—2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 High-purity sputtering titanium target used in electronic film 2013-10-17发布 2014-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T893—2013 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员（SΛC/TC243）归口 本标准起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。 本标准主要起草人：何金江、董亭义、袁海车、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺听、钱红兵、周辰、刘丹、 陆灵芝、干学泽、熊晓东。 一 YS/T893—2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 1范围 本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标惠、包装、运输、：存及 质量证明与合同（订单）等内容。 本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注期的引用文件，仪注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1031 GB/T4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定 GB/T4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定 GB/T4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定 GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法 GJB1580A 变形金属超声检验方法 YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 YS/T891 高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 YS/T892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积。 3.2 靶坏targetblank 阴极上用作溅射材料的部分。 3.3 背板backingplate 用来支撑或固定靶材的部分。靶坏与背板可以通过焊接（如钎焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等方 式连接。 4要求 4.1产品分类 4.1.1产品按照结构形式分为单体和复合两种，示意图如图1所示。 1 YS/T893—2013 4.1.2 按照形状分类主要为圆形、矩形和异型（如三角形等）。 4.1.3 靶材的背板可包括铜及铜合金、铝及铝合金等 致 a）复合靶材 单体靶材 图1靶材结构示意图 4.2 化学成分 产品化学成分应符合表1规定， 表1 高纯钛溅射靶材的化学成分表 Ti质量分数/%.不小于 99.9 99.995 66666 纯度简称 3N 4N5 5N Ag 10 0.2 0.2 IV 100 5.0 2.0 B 0.1 0.1 Ca 20 1.0 1.0 0.1 Cr 400 5.0 1.0 50 2.0 1.0 Fe 400 15.0 7.0 K 5 0.1 0.1 Li 0.1 0.1 Mg 1.0 0.1 Mn 30 1.0 0.3 金属杂质质量分数/×10-%， 不大于 Mo 50 4.0 0.5 Na 5 0.2 0.1 Ni 400 5.0 0.5 Pb 2.0 0.1 Is 200 5.0 2.0 us 2.0 1.0 Th 0.001 0.001 U 100°0 0.001 V 1.0 1.0 W 1.0 0.5 Zn 1.0 0.5 Zr 5.0 1.0 2 YS/T893—2013 表1(续） 杂质总质量分数/×10-5%，不大于 1000 50 10 c 200 50 40 H 10 10 气体元素质量分数/×10*%， N 200 50 50 不大于 (0 800 300 250 10 10 注：钛的质量分数为100%减去表中金属杂质实测质量分数总和的余量（不含C、N、O.S、H） 4.3 晶粒尺寸 钛溅射靶材的品粒尺寸应符合表2规定，并且晶粒分布均匀，需方如有特殊要求时，由供需双方商 定，并在订货单（或合同）中注明。 表2 钛溅射靶材晶粒尺寸要求 品粒要求 纯度 纯度简称 平均值/μm 最大值/μm %666 3N ≤1000 %$66*66 4N5 ≤100 99.999% 5N ≤100 4.4 内部质量 钛溅射靶材内部不应有夹杂和气孔等缺陷。需方如有特殊要求时，由供需双方商定。 4.5 焊接质量 钛溅射靶材的焊接分为钎焊和扩散焊。焊接质量应符合表3的规定，需方如有特殊要求时，由供需 双方商定。 表3焊接质量要求 焊接方式 焊接结合率 单个未焊合间隙面积/总面积 钎焊 ≥95% ≤2% 扩散焊 ≥98% ≤1% 4.6 尺寸与允许偏差 钛溅射靶材尺寸一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产。 4.7 表面粗糙度 钛溅射靶材表面粗糙度应符合图样要求。F 图样无要求时，Ra值应不大于1.6μm。需方如有特殊 要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同）中注明。 3 YS/T 893-—2013 4.8 外观质量 钛溅射靶材表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物和其他沾污。 试验方法 5 5.1 产品化学成分可以生产靶坏的钛锭化学成分检验结果为依据。纯度为99.9%的高纯钛中金属杂 质元素按YS/T892进行检验；纯度为99.995%和99.999%的高纯钛中金属杂质元素按YS/T891进行 检验。气体元素C、N、O、H分别按照GB/T4698.7、GB/T4698.14、GB/T4698.15进行检验，元素S采 用红外碳硫分析仪进行检验。 5.2 晶粒尺寸检验按照GB/T6394规定进行观察、评定和确认。 5.3 内部质量检验按GJB1580A规定进行。 5.4 焊接质量检验按YS/T837规定进行。 5.5 产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的测量工具进行测量。 5.6 表面粗糙度由粗糙度测量仪检测按照GB/T1031规定进行。 5.7 外观质量用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。 6 检验规则 6.1 检验和验收 6.1.1 产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量 证明书。 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准（或订货合同）的规定不 符时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决，如需仲裁，仲裁取样应由供需 双方在需方场所共同进行。 6.2 组批 产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同种纯度和规格的产品组成。 6.3 检验项目、取样规定 6.3.1 产品应进行成分、品粒尺寸、内部质量、焊接质量、尺寸及允许偏差、表面粗糙度、外观质量检验。 表4 检测项目、取样位置及数量 检验项口 取样规定 取样数量 要求的章条号 检验的章条号 化学成分 铸锭冒口下 1个样品/锭 4.2 5.1 品粒尺寸 6.3.2 2个样品/批 4.3 5.2 内部质量 1件/批 4.4 5.3 焊接前整体 焊接质量 焊接后整体 遂件 4.5 5.4 尺寸及允许偏差 成品 遥件 4.6 5.5 表涵粗糙度 成品 逐件 4.7 5.6 外观质量 成品 逐件 4.8 5.7 YS/T893—2013 6.3.2 2在生产过程中.为了不破坏靶的整体性，晶粒尺寸的检测在钛溅射靶材焊接前进行。取样位置 如图2所示。 样品2 样品2 口 样品 样品 圆形靶坏 h) 矩形靶坏 图2 钛溅射靶材还分析取样示意图 6.4检验结果判定 6.4.1化学成分检验不合格时，则判该锭生产的靶材不合格。 6.4.2 格，则判整批产品不合格。 6.4.3内部质量、焊接质量、尺寸及允许偏差、表面粗糙度、外观质量检验不合格时，判该件产品不 合格。 标志、包装、运输、贮存、质量证明书 7.1标志 7.1.1 每块检验合格产品上进行如下标记： a) 供方名称； b) 产品名称和纯度； c) 批号。 7.1.2 产品内包装上应贴标签，内容包括： a) 供方名称； b) 产品名称和纯度； 批号； c) d) 生产日期。 7.1.3产品外包装上应贴标签，内容包括供方名称、产品名称和纯度、批号、生产日期等，同时有运输安 全相关专用标识。 7.2包装 7.2.1 内包装应在100级洁净间内进行，每块产品采用独立真空包装 7.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后放 于包装盒内。 7.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。 7.3 运输与贮存 运输及则存过程中，应注意防震、防潮、防压及防二次污染。 5