ICS 31.550 L 01 SJ 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11451—2013 扩散炉能源消耗规范 Specification for energy consumption norm of diffusion furnace 2013-10-17发布 2013-12-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T 114512013 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由工业和信息化部节能与综合利用司、中国电子节能技术协会提出。 本标准由中国电子技术标准化研究院归口。 本标准起草单位：北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心。 本标准主要起草人：李补忠、盛金龙、刘效祯、蒋迪宝、杨常建、严海若。 I SJ/T11451-2013 引 言 为了货彻国务院关于加快建设节约型社会及工业和信息化部关于开展资源节约、完善规章制度和标 准的要求，根据原信息产业部信运简【2005】23号文和信运简［2006］04号文的要求，制定本标准。 2011 ST N D III SJ/T11451-2013 扩散炉能源消耗规范 1 范围 本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。 本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃～1350℃的扩散/氧化退火 合金工艺使用的扩散炉 2规范性引用文件 ND 下列文件对于本文件 的是 期的版本适用丁本文件。 凡是不注日期的引用 最新版本（包括所有的修改单）适用子 GB/T2587 能设 GB/T3484 量 衡通则 GB/T1272 L产品 制通则 消耗限额 JO 单位能 量器具配备和管理通则 GB-17167 能源消耗指 标计算 原则 3.1扩散炉能 指标是 品单位产 单元的可比单耗。 3.2扩散炉可 生产每 于克合格产品产 实耗的电能量 3.3实耗电能 接消耗的电能量和使用的耗能工质间接消耗的电能量 3.4扩散炉能源 还是初级产品，均 以单位产品产量为 单无。为了便手对不同的产品的能耗水平进行比较，对 温度不同的产品规定 了不同的产品产量可比折算系数（简称： 3.5扩散炉可比单耗可安 计计算，也可按生产 场测算：其数据的取值应符合 GB/T2587、GB/T3484、GBT12723 时合GB17167的要求。 4能源消耗等级指标 扩散炉能源消耗等级指标应符合表1的规定。 表1扩散炉能源消耗等级指标 可比单耗 kw·h/kg 级 二级 h≤18.0 18.0<b≤30.0 版敬专有 复制无效 复制无效 2013 北单耗计算方法 版权专有 户的可比单耗按公式(1）计算： b, m. 可比单耗，单位为千瓦时每于克（kwh／kg）： 统计期内扩散炉实耗电能量，单位为千瓦时（kW-h）计算方法见公式（2） E 复制元效 统计期内该扩散炉合格产品的折合产量，单位为天克 (6) mz 复制无 耗电能量 B-Ei+E2+E+E 系统（包括控制装置）消耗电能量，单位为于瓦时（KW） 钣权专 冷却水折合电能量，单位为于瓦时（kw-h），计算方 氧气折合电能量，单位为千瓦时人kw-h），计算方法 氮气折合电能量，单位为千瓦时（kw-h）， 计算方法 式中 复制无效 版权专有 冷却水折电系数，单位为于瓦时每吨（kw-h/t） B 环水时其折电系数按每吨水的耗电量计算： 氧气折合电能量（E）按公式（4）计算： 222 Es-aN 版权专 气折电系数，单位为千瓦时每立方米（kw-h/m） M 氧气消耗量（标态），单位为立方米（m） 注：标态系标准状态的简称，指的是温度为0℃厘力为L01325Pa时的状 523氮气折合电能量（按公式（5）计算： 复制无交 版权专 （高纯氮）折电系数，单位为干瓦时每立 复制无效 氯气消耗量（标态），单位为立方米（m） 版权专有 复制无效 版权专有 复制无效 SJ/T 53 合格产品的折合产量（办）按公式 版权专有 扩散炉各个炉管的合格产品产量，单位为千克（kg mi 扩散炉的炉管数，1-1-n： i K 工艺温度可比折算系数，其数值与运行时要求的工艺温度 详见表2 表2工艺温度可比折算系数 400℃KT 5500kT 1000℃<T H150C<T 上艺温度T 550°℃ 700:0% 850℃ 1000℃ ≤1150℃ ≤1300℃ 制无效 1.67- 143 K V25 1.11 1.00 扩散炉可比单耗统计计算表用于评价，见附录A：现场测试计算表用于检查和 5.4 专无 权专有 评价原则 6 版权 扩散炉的可比单耗小于或等于18.0kw-h/kg的，能耗达到 级指标 无效 版权专有 复制无效 制无效 权专有 版权专有 复制无 复制无效 版权专有