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ICS 33.100 SJ L06 备案号: 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11446—2013 离子化静电消除器通用规范 General specification for ionizing electrostatic eliminators 2013-06-01实施 2013 -04- 25 发布 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T114462013 目 次 III 前言 范围 1 2 规范性引用文件 3术语和定义 3.1. 3.2. 3.3. 3.4 3.5 产品结构分类 4 技术要求 5 5. 1 外观 5.2 电性能 5.3 臭氧浓度 电磁干扰-EMI 5. 4 电气安全性 5.5 5.6 噪声控制 5. 7 洁净性能 测试方法 6 6. 1 外观检查 6.2 电性能测试 6.3 臭氧浓度测试 6.4 电磁骚扰特性测试 6.5 电气安全性能测试 6.6噪声测试 6.7 洁净性能测试 7检验规则 7. 1 一般要求 7.2分类.... 7.3定型检验 7.4交收检验 7.5周期检验 8标志、使用说明书、包装、运输和贮存 8.1标志 I SJ/T11446—2013 8.2使用说明书 5 8.3:包装 6 8.4运输和贮存 附录A(规范性附录) 离子化静电消除器电性能测试方法 附录B(规范性附录) 离子化静电消除器洁净性能测试方法 11 I SJ/T114462013 前 言 本规范按照GB/T1.12009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本规范由中国电子技术标准化研究院(CESI)归口。 本规范起草单位:苏州天华超净科技股份有限公司上海安平静电科技有限公司、深圳长城开发科 本规范主要起草人:裴振华、孙玉荣、孙卫星、李晨辉、再红峰、韩玲玲。 本规范委托中国电子技术标准化研究院(CESI)负责解释, 2013 III SJ/T:11446—2013 离子化静电消除器通用规范 范围 本规范规定了离子化静电消除器的定义、产品结构分类、技术要求、测试方法、检验规则以及标志、 使用说明书、包装、运输和贮存。 本规范适用于外加电源使空气分子电离,形成正和负的两种离子来消除带电物体表面静电荷的离子 化静电消除器。其它类似结构的离子化静电消除器可参照本规范执行。 本规范不适用于易燃、易爆场所,地不适用于放射性辐射和感应式静电消除器。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注白期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T191卡2008:包装储运图示标志 GB/T2828.1-_2003计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 2007测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分! 通用要求 GB4793.1 工业、科学、和医疗(ISM)射频设备电磁骚扰特性的测量方法和限值 GB 4824 2008声学噪声源声功率级测定,消声室和半消声室精密法 GB/T6882- 200洽净厂房设计规范 ‘GB50073- 一2007工作场所有害因素职业接触限值 化学有害因素 GBZ2.1- 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文化 3.1 离子化静电消除器ionizingelectrostaticeliminator 利用电极放电,使空气电离产生正负离子,并使带电体表面静电荷被中和的静电消除器。 3. 2 离子风机 ionizing airblower 离子风枪ionizingairgun 离子风嘴ionizingair nozzle 用气流将带电离子输送到带电体表面中和静电荷的装置。 3. 3 SJ/T114462013 充电板监测仪.chargeplatemonitor 用来测量离了化静电消除器的电荷中和特性的仪器。 3. 4-: 静电消散时间staticdecaytime 使带电体上静电电位减少到起始值的设定百分数(通常10%)所需要的时间。 3.5 残余电压offset voltage 离子化静电消除器正常工作情况下,充电板监测仪测量的某一位置的电压值。 产品结构分类 根据结构和外形的不同,本规范规定了下列三种类型的离子化静电消除器: a)离子风机: b) 离子风枪、离子风嘴: c) 离子棒:产品外形为棒状,分气源型和无气源型两种类型。 5技术要求 5.1 外观 5.:1.1 外表面无毛刺、破损、污物。 5.1.2 涂、镀层应牢固,不应有褪色、剥落和锈斑。相同的涂、镀层颜色应均匀一致。 5.1.3 装置的固定连接机构应紧固可靠。 F 5.1:4 可转动、滑动和倾斜的部位应稳定可靠。 5.2电性能 静电消散时间和残余电压应符合表1的规定。 表1 离子化静电消除器电性能要求 残余电压绝对值 静电消散时间: 类型 级别 V s A <5 离子风机 B <10 c <50 A <10 <20 离子风枪或风嘴 B <50 <20 离子棒 B <50 静电消散时间是指充电板监测仪测得的静电压从±1000V降到土100V的时间间隔。 SJ/T11446—2013 5.3臭氧浓度 臭氧浓度应符合GBZ2.1—2007的规定,不得超过0.3mg/m²。 5.4电磁干扰EMI 不同频段的电磁干扰限值应符合GB4824-2004中1组B类设备的规定。 5.5电气安全性 离子化静电消除器电气安全性应符合GB4793.12007的规定。 5.6噪声控制 离子化静电消除器噪声应符合_GB50073 2001l的规定,不应大于65dB(A)。 5.7洁净性能 离子化静电消除器在客种洁净度等级的环境中运行时,产生的粒径大手或等于0.5um的悬浮粒子 数应满足以下要求 在洁净度为A级(isoclass4)的环境中,悬浮粒子数小于或等于352粒/米3 在洁净度为5级(ISoclass5)的环境中,悬浮粒子数小于或等于3520粒/米 在洁净度为6级(isoclass6).的环境中,悬浮粒子数小于或等于35200粒/采 在洁净度伪6级(ISOclass7)的环境中,悬浮粒子数小于或等于:352000粒米 在洁净度为&级(ISOclass.8)的环境中,悬浮粒子数小于或等于:3520000粒来 NOI 6测试方法 6.1 外观检查 用目测方法, 在日光灯下,检查产品外观情况 6.2 电性能测试 残余电压和静电消散时简测试方法见附录A。 6.3 臭氧浓度测试 臭氧浓度按GB4706.452008中32.1的实验环境和步骤进行测试。 6.4电磁骚扰特性测试 电磁骚扰特性按GB4824—2004的方法进行测试。 6.5电气安全性能测试 电气安全性能按GB4793.1--2007的方法进行测试。 6.6噪声测试 噪声按GB/T6882--2008的方法进行测试。 6.7洁净性能测试

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