ICS 81.040.30 Q 35 JC 备案号：34408--2012 中华人民共和宝建材行业标准 JC/T 2064—2011 半导体用透明石英玻璃棒 Transparent quartz glass rods for semiconductor 2011-12-20 发布 2012-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T 20642011 前 言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本标准负责起草单位：久智光电子材料科技有限公司。 本标准参加起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。 本标准主要起草人：宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。 本标准为首次发布。 JC/T2064—2011 半导体用透明石英玻璃棒 1范围 本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒（以下简称石英玻璃棒）的术语和定义、分类和标记、要求、 试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。 冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T4121石英玻璃热变色性试验方法 GB/T107012008石英玻璃热稳定性试验方法 GB/T12442石英玻璃中羟基含量检验方法 JC/T597-2011半导体用透明石英玻璃管 3术语和定义 JC/T597界定的术语和定义适用于本文件。 4分类和标记 4.1分类 按用途分为太阳能级石英玻璃棒(T级)和电子级石英玻璃棒(D级） 4.2标记 产品按分类（T或D）、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记 示例：符合JC/T2064一2011，直径为20mm，长度为1000m，生产批号为20091221的太阳能级透明石英玻璃棒 标记为： 5要求 5.1规格尺寸及尺寸公差 5.1.1直径及直径公差 1 JC/T20642011 直径及直径公差应符合表1的规定。 表1 单位为毫米 直径范围 直径公差 8≤Φ<16 ±0.3 16≤中20 ±0.5 20≤<30 ±0.8 注：特殊规格的石英玻璃棒，由供需双方商定。 5.1.2长度公差 应小于等于5mm。 5.1.3椭圆度 不应大于直径公差的绝对值。 5.1.4 弯曲度 不应超过棒长的0.1%。 5.2外观质量 外观缺陷应符合表2的规定。各项外观指标均对每米石英玻璃棒而言。 表2 外观缺陷 要求 Φ<0.3mm 不计 气泡 0.3mm0.5mm <5个 Φ>0.5mm 不允许 破皮气泡 不允许 ≤1m 允许有3条 气线 长度 >1 mm 不允许 破皮气线 不允许 色线等其他缺陷 不允许 5.3理化性能 5.3.13 杂质元素含量 5.3.1.1T级石英玻璃棒 2 JC/T2064—2011 T级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钻、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含 量应小于等于30.00×10，其中：铁含量应不大于1.50×10，钛含量应不大于3.00×10，铜含量应 不大于0.80×10，硼含量应不大于0.20×10，锂、钠、钾总含量应不大于5.00×10。 5.3.1.2D级石英玻璃棒 D级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含 量应不大于25.00×10*，其中：铁含量应不大于0.80×10，钛含量应不大于2.00×10，铜含量应不 大于0.50×10*，硼含量应不大于0.10×10，锂、钠、钾总含量应不大于2.50×10。 5.3.2羟基含量 应不大于220×10 5.3.3热稳定性 石英玻璃棒在1200℃土5℃下保温20min，置于20℃土5℃的空气中冷却，试验三次，不应出现裂 纹、缺口或崩落（切、磨口处小于3mm的断面崩落不计）。 5.3.4热变色性 石英玻璃棒在1200℃土5℃下保温2h，在290nm波长处热处理前、后的透射比变化平均值△T应 小于等于4%。 5.3.5抗析晶性 石英玻璃棒在1400℃±5℃下保温6h，析晶层平均厚度应小于等于80um。 6试验方法 6.1规格尺寸及尺寸公差 6.1.1直径、直径公差及椭圆度 用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等量具进行测量。 测量石英玻璃棒两端及中部的直径，同一截面上测量点不少于3个，取所有测量数据中的最大值减 公称直径所得代数差为直径上公差，最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减 最小值，其差值的最大值为椭圆度值。 6.1.2长度 用分度值为1mm的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。 6.1.3弯曲度 将石英玻璃棒放在准确度不低于2级的平台上，使两端紧贴平台转动石英玻璃棒，用分度值不大于 0.02mm的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间隙，用最大间隙值再除以公称长度。 6.2外观质量 将石英玻璃棒平行放于两支额定功率不低于36W荧光灯下，石英玻璃棒与光源距离不超过600mm， 采用黑色衬底，进行目测检验，必要时可用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等量具进行测量。 3 JC/T2064—2011 6.3物理化学性能 6.3.1杂质元素含量 按GB/T3284的规定进行分析。 6.3.2羟基含量 按GB/T12442规定的检验。其中试样的制备：切取长度（35～40）mm，宽度（8~20）mm，厚度（1.8 2.2）mm的试样两个，试样的大面应进行机械抛光。 6.3.3热稳定性 按GB/T10701一2008中空气冷却法的规定检验。其中试样的制备：取两组试样（每组3个），一组 试验，一组备用。一组试样中若有一个试样出现裂纹、缺口或崩落，应取另一组重新试验。若一组试样 中有两个试样产生上述缺陷，则不允许重检。 6.3.4热变色性 按GB/T4121的规定检验。其中试样的制备：同6.3.2，数量三个。按公式（1）、公式（2）计算290nm 波长处热处理前、后的透射比变化值的平均值。 AT=T-T, (1) . A-T+AT+AT (2) 3 式中： T——试样热处理前在290nm处的透射比，单位为百分数（%）； T,——试样热处理后在290nm处的透射比，单位为百分数（%）； △T一一试样热处理前、后在290nm处透射比变化值，单位为百分数（%）。 6.3.5抗析晶性 按JC/T597一2011附录A中规定的试验方法进行。 7检验规则 7.1检验分类 产品检验分为出厂检验和型式检验。 7.2出厂检验 7.2.1检验项目 包括规格尺寸及尺寸公差、外观质量。 7.2.2判定规则 每支产品均符合要求，判该支产品为合格，有一项不符合要求，判该支产品为不合格。 7.3型式检验 7.3.1总则 4 JC/T2064—2011 在下列情况下进行型式检验： 新产品投产或产品定型鉴定时： h) 正常生产时，每一年进行一次； 原材料或工艺等发生较大变化，可能影响产品质量时； 产品停产6个月以上恢复生产时； e) 国家质量监督机构提出进行质量监督抽查时。 7. 3.2 检验项目 包括第5章的全部要求。 7、3.3组批 同种原料、相同生产工艺的50kg为一批。小于50kg也按一批计。 7.3.4抽样 7.3.4.1规格尺寸及尺寸公差，外观质量抽样 采用100%检验。 7.3.4.2物理化学性能抽样 从规格尺寸及尺寸公差、外观质量检验合格的石英玻璃棒中随机抽取1支～3支进行理化性能检验。 7.3.5判定规则 7.3.5.1规格尺寸及尺寸公差、外观质量判定 每支产品均符合要求，判该支产品该各项指标为合格。有一项不符合要求，判该支产品为不合格。 7.3.5.2物理化学性能的判定 各项理化性能均符合要求，判该批产品理化性能为合格。有一项不符合要求，判该批产品理化性能 为不合格。 7.3.5.3综合判定 规格尺寸及尺寸公差、外观质量及理化性能均符合要求，判该批产品为合格。有一项不符合要求， 判该批产品为不合格。 8标志，包装、运输和贮存 8.1标志 8.1.14 每批产品出厂时应附有产品合格证书，内容包括： 产品分类(T或D)、产品名称： 生产批号； d) 标准代号： 检验员编号。 5