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“1CS23.160 JB J78 备案号:34898—2012 中华人民共和国机械行业标准 JB/T112372011 真空技术 多级罗茨干式真空泵 Vacuum technologyMulti-stage roots dry pumps 2011-12-20发布 2012-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T11237—2011 目 次 前言 1 范围. 2 规范性引用文件 3 术语和定义. 4 型式与基本参数 4.1型式. 4.2型号... 4.3 基本参数, 5技术要求. 6 测量方法 6.1 测量装置 6.2 测量条件 6.3 抽气速率和极限压力的测量 6.4 消耗功率的测量 6.5 工作温度的测量.. 6.6 噪声的测量 6.7 入口最大允许压力的测量 6.8 电气控制测试 6.9 无油测试. 7抽样及判定方法. 7.1 抽样方法. 7.2 判定方法. 8 检验规则. 9 标志、包装、运输和贮存 图 1 测试罩及异径接头, 表 1 基本参数, 表 2 测试罩直径尺寸 表 3 检验项目 建筑321---标准查询下载网 ww j z321. net JB/T11237--2011 前言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准负责起草单位:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司。 本标准参加起草单位:北京朗禾科技有限公司、浙江真空设备集团有限公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:张振厚、王光玉、孔祥玲、徐曦、许涛、何敏剑、李春影。 本标准为首次发布。 JB/T11237—2011 真空技术 多级罗茨于式真空泵 1范围 本标准规定了多级罗茨干式真空泵基本参数、技术要求、测量方法与检验规则、标志、包装、运输 和贮存。 本标准适用于除单级、双级以外的多级罗茨干式真空泵。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T191—2008包装储运图示标志 GB/T3163—2007真空技术术语 GB/T6995.4-—2008 电线电缆识别标志方法第4部分:电气装备电线电缆绝缘线芯识别标志 GB/T6995.5—2008 电线电缆识别标志方法第5部分:电力电缆绝缘线芯识别标志 GB/T13306—1991 标牌 GB/T16935.1一2008低压系统内设备的绝缘配合第1部分:原理、要求和试验 GB/T19956.1—2005 容积真空泵性能测量方法第1部分:体积流率(抽速)的测量 GB/T19956.2—2005 容积真空泵性能测量方法第2部分:极限压力的测量 GB/T21271一2007真空技术真空泵噪声测量 GB22360-—2008真空泵安全要求 3术语和定义 GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 抽气速率volumeflowrate 当泵装有标准测试罩并按规定条件工作时,从测试罩流过的气体流量与在测试罩上指定位置测 得的平衡压力之比,简称泵的抽速,单位为升每秒或立方米每小时(L/s或m/h)。 3.2 几何抽速 geometricvolumeflowrate 泵按额定转速运转时,单位时间内主级抽出气体的几何容积,单位为升每秒或立方米每小时(L/s 或m/h)。 注:通常以第一级作为多级干式罗茨真空泵的主级。 3.3 极限压力ultimatepressure 泵正常工作且没有引进气体的情况下,标准试验罩内逐渐接近的压力值。 3.4 全压力totalpressure 通常当“压力”不能明确区分分压力和它们之和之间的区别时,用来表示气体混合物所有组分分压 力之和。 1 建筑321---标准查询下载网 wwj z321.net JB/T112372011 4型式与基本参数 4.1型式 泵的结构型式是多级罗茨转子串联在一对真空泵轴上做反向同步旋转运动,转子与泵腔问不接触, 以极小间隙密封气体,多级串联的形式使气体逐级被压缩,可直排大气。 4.2型号 型号表示方法: 口口 口-口 代表真空泵设计序号,从第一次改型设计开始,以学母 A、B、C、顺序表示 名义抽气速率,单位为升每秒(L/s) 适用工艺环境,“F”表示被抽气体为腐蚀性气体,无特 指情况下省略 干式真空泵,用“G”表示 罗茨型转子多级泵,用“LC”表示 真空泵级数,以阿拉伯数字表示,可省略 示例:用于抽除腐蚀性气体,抽气速率为30L/s的五级罗茨干式真空泵,型号为“LCG-F100A”。 4.3基本参数 泵的基本参数应符合表1的规定。 表1 基本参数 抽气速率 极限全压力 噪声“ 推荐配用 进气口 抽气效率 额定转速 序号 型号 L/s (无气镇) ("7) 电动机功率 公称通径 气镇量 r/min 1 kPa时 10Pa时 (m/h) Pa dB (A) kw mm L/min LCG-30A 30 (100) ≤3 ≤68 2 865 3 63 0~10 2 LCG-45A 《3 89> 2 865 63 0~10 45 (160) 3 3 LCG-70A 70 (250) 3 ≤75 2 865 7.5 100 '0~10 LCG-170A 170 (600) ≤5 ≤82 2 865 100 0~10 22 LCG-280A 280 (1000) ≤85 0~10 5 s> 2 865 30 160 ≥80 ≥20 LCG-F30A 6 30 (100) ≤3 89 2 865 3 63 5~120 7 LCG-F45A ≤3 89> 2 865 3 63 5~120 45 (160) 8 LCG-F70A 70 (250) ≤3 ≤75 2 865 7.5 100 5~120 LCG-F170A 5~120 9 170 (600) ≤82 2 865 22 160 10 LCG-F280A 280 (1000) ≤85 2 865 30 160 5~120 噪声是在泵安装罩壳和排气阀的条件下测。 注:以上技术参数是以五级罗茨干式真空泵为例。 5 技术要求 5.1 泵的各项性能指标应符合表1的规定,并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。 5.2 泵的工作环境温度为5℃~35℃。 5.3 泵的零部件装配前必须做清洁处理。 5.4 泵的外表面应油漆光洁,紧固件及其他外露加工面应做防锈处理。 2 JB/T11237—2011 5.5泵应给出平均无故障工作时间(MTBF)和平均维护周期。 5.6泵在入口压力1000Pa下连续运转500h后的性能指标应符合本标准的规定。 5.7 泵工作时的入口最大允许压力应≥6000Pa。 5.8泵的动密封不允许有漏油现象。 5.9应测量泵的最高工作温度。 5.10 泵应具备一定的电气控制系统,在功率过载、水冷失效或气镇失效的情况下,可自动停泵或报警 提示。 5.11泵的设计、安装、运行、维修及拆卸过程应符合GB22360一2008中的规定。 6测量方法 6.1测量装置 6.1.1测试罩 如图1a)所示,形状为圆柱体。的轴向尺寸为1.5D,D是累的内径。实验气体进口在罩的轴线 上,并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力和 极限压力的真空计在距离连接法兰0.5D处,其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法 兰平面。除了进气管路外,法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁。 测试罩的容积V至少应是泵一个压缩周期扫过容积V的5倍。在泵入口必须连接一个异径接头, 其长度不应超过0.5D(见图1b))。 单位为毫米 接进气阀 0.1D 接真空计 Z 1 a)测试罩 系入口直径 b)异径接头 图1测试罩及异径接头 3 建筑321---标准查询下载网 ww j z321. net JB/T11237—2011 对于给定规格的泵,罩尺寸在表2中给出。 表2测试罩直径尺寸 序号 V/L VL D/mm 1 0~0.26 1.3 100 2 0.26~1.1 5.4 160 3 1.1~4.2 21 250 4 4.2~17 84 400 5 17~65 325 630 1300 1 000 6 65~260 6.1.2压力计 对于压力高于或等于1Pa时,其校准精度为土5%,对于更低压力,校准精度为土10%。 6.1.3功率表和电流互感器 功率表应具有0.5级精度,电流互感器应具有0.2级精度。 6.2测量条件 测量时应符合以下条件: a)泵的转速及配用电机应符合产品设计规定,泵的实际转速与规定转速相差不得超过土3%; b)测量时环境温度应为15℃~25℃,测量期间温度波动不大于土1℃; c)测量气体为干燥空气,相对湿度不大于75%; d)测气镇泵时,其掺气量应符合设计要求。 6.3抽气速率和极限压力的测量 按GB/T19956.1和GB/T19956.2中的规定进行测量。 要求绘制抽气速率和入口压力关系曲线,即S-p曲线,并记录测试条件参数。 要求绘制流量和入口压力关系函线,即Q-p曲线,并记录测试条件参数和极限压力时泵的消耗功 率。 6.4消耗功率的测量 6.4.1测量方法 在不同入口压力下,用功率表测泵驱动电动机的输入功率,然后乘以电动机不同负荷下的效率,即 为泵的消耗功率。泵消耗功率的测量可与抽气速率的测量同时进行。 要求绘制消耗功率和入口压力关系曲线,并记录测试条件参数。 6.4.2测量步

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