ICS 17.100 N11 备案号：33679—2011 中华人民共和国机械行业标准 JB/T11206—2011 硅压阻式微型、薄型压力传感器 Silicon piezoresistive miniature and thin line pressure sensors 2011-11-01实施 2011-08-15发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T11206—2011 目 次 前言. III 1范围. 规范性引用文件 2 术语和定义 3 4产品分类 4.1分类.. 4.2命名.. 5基本参数.. 5.1 测量范围 5.2 按测量压力类型分类 5.3 外形结构 5.4 适用被测介质的类型 5.5 安装方式及影响 5.6 激励... 5.7 工作温度范围 5.8 补偿温度范围 5.9 贮存温度范围 要求 6 6.1 详细规范， 外观... 6.2 6.3 外形及安装尺寸 6.4 输入阻抗. 6.5 输出阻抗. 6.6 绝缘电阻... 6.7 绝缘强度. 6.8 静态性能. 6.9 过载. 6.10 零点漂移... 6.11 热零点漂移... 6.12 热满量程输出漂移 6.13 零点长期稳定性. 6.14动态性能... 6.15环境影响特性 6.16疲劳寿命. 7试验方法. 7.1环境条件 7.2 校准. 7.3 外观. JB/T11206—2011 7.4 外形及安装尺寸 6 7.5 输入阻抗， 7.6 输出阻抗， 绝缘电阻. 7.7 7.8 绝缘强度. 7.9 静态性能， 7.10 过载. 7.11 零点漂移.. 7.12 热零点漂移 7.13 热满量程输出漂移 7.14 零点长期稳定性 7.15 动态性能.. 7.16环境影响试验 7.17疲劳寿命. 8检验规则. 8.1 检验分类 8.2 出厂检验.. 8.3 型式检验. 10 9 标志、包装、运输及贮存 10 9.1 产品标志 10 9.2 包装... 11 9.3 运输和贮存 11 附录A（规范性附录）传感器性能指标的计算方法 A.1 实际工作特性 12 A.2 参比工作直线. 12 A.3 满量程输出值YF.s 13 非线性 A.4 14 A.5 迟滞. 14 重复性R A.6 14 A.7 准确度... 15 A.8 零点漂移d... 16 A.9 零点长期稳定性rz 16 A.10 热零点漂移α.. 16 A.11 热满量程输出漂移β.. 16 A.12 振动对传感器零点影响Zo. 17 A.13 外磁场对传感器输出的影响C。 17 表1传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性 表2热零点漂移和热满量程输出漂移 表3检验项目 表A.1 校准循环次数与包含因子 II JB/T112062011 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。 本标准起草单位：昆山双桥传感器测控技术有限公司、沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究 中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心。 本标准主要起草人：尤彩红、王冰、刘沁、刘波、王文襄、徐秋玲、匡石、李颖、李延夫。 本标准为首次发布。 III JB/T11206—2011 硅压阻式微型、薄型压力传感器 1范围 本标准规定了硅压阻式微型、薄型压力传感器的术语和定义、产品分类、基本参数、要求、试验方 法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于硅压阻式微型、薄型压力传感器（以下简称传感器）的生产、使用、验收等。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2423.1-—2008电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法试验A：低温 GB/T2423.2—2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.3---2006 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验 GB/T2423.5—1995 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击 GB/T2423.10—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦） GB/T2423.15—2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法试验Ga和导则：稳态加速度 GB/T2423.222002 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验N：温度变化 GB/T2829—2002 周期检查计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T7665--2005 传感器通用术语 GB/T7666—2005 传感器命名法及代号 GB/T13384一2008机电产品包装通用技术条件 GB/T15478压力传感器性能试验方法 JG624—2005动态压力传感器检定规程 JB/T6172--2005压力传感器系列型谱 JB/T9329一1999仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法 3术语和定义 GB/T7665一2005界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 原位测压insitumeasurepressure 为保证如实反应被测动态压力变化的波形，传感器力敏元件应安装在测压点处的测量方式。 3.2 微型压力传感器miniaturepressuresensor 在小流场空间的原位测压中，基本不影响流场模型，不产生端流要求，通常采用微机械加工及微封 装技术制作的径向尺寸为毫米级的压力传感器。 3.3 薄型压力传感器 thin linepressure sensor 在表面流场的原位测压中，基本不影响流场模型，不产生流要求，通常采用微机械加工及微封装 技术制作的厚度尺寸为毫米级的压力传感器。 JB/T11206—2011 3.4 筛网screen 为使传感器硅基力敏薄膜免受高速固体微粒侵入损伤及热光传导影响，紧靠薄膜前方安装的一薄层 筛状金属帽罩。筛孔形状可以是多种形式的。 4产品分类 4.1分类 传感器的分类应符合JB/T6172的规定。 4.2命名 传感器的命名应符合GB/T7666的规定。 规定。 5基本参数 5.1测量范围 传感器的测量范围应符合产品详细规范的规定。除另有规定外，推荐从下列数字中选取： 10″、0~±6×10″、0~±8×10。 其中n为整数，n=0、土1、土2、土3、。 测量范围的单位为帕（Pa）、千帕（kPa）、兆帕（MPa）。 5.2按测量压力类型分类 按测量压力分为绝压压力、表压压力、差压压力。 5.3外形结构 5.3.1外形及安装尺寸 传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定。 微型压力传感器的测压部外径推荐从下列数值中选取： 1mm、1.5mm、2mm、2.5mm、3mm、3.5mm、4mm、5mm、6mm、8mm、10mm 若尾部有安装螺纹，螺纹规格推荐从下列数值中选取： M3、M4、M5、M6、M8、M10、M12。 薄型压力传感器的测压部厚度推荐从下列数值中选取： 1mm、1.5mm、2mm、2.5mm、3mm、3.5mm、4mm、5mm、6mm。 5.3.2电气连接 传感器的电气连接方式应符合详细规范的规定。 5.3.3参考压力管 传感器的参考压力管应符合详细规范的规定。 5.3.4平衡补偿管 因外形尺寸限制，传感器的电桥平衡和补偿元件装不进去，需在线上外接平衡补偿管，平衡补偿管 的外形尺寸和位置应符合详细规范的规定。 5.4适用被测介质的类型 详细规范应规定适用的被测压力介质的类型，如气体、液体、腐蚀性介质、非腐蚀性介质、导电性 介质、非导电性介质。必要时，列出与被测介质相接触材料的名称、牌号。 5.5安装方式及影响 微型、薄型传感器整体刚度不高，易受安装影响，详细规范应给出优选的安装方式，规定安装力矩。 2 JB/T11206—2011 5.6激励 当采用恒流源激励时，推荐使用的直流电流为1.0mA、1.2mA、1.5mA、2mA、5mA、10mA。 当采用恒压源激励时，推荐使用的直流电压为3V、5V、6V、9V、10V、12V、15V、18V、24V。 5.7工作温度范围 传感器工作温度的下限值优先从下列数值中选取：-60℃、-55℃、-45℃、-40℃、-30℃、-25℃、 -20℃、-10℃、0℃。 传感器工作温度的上限值优先从下列数值中选取：50℃、60℃、70℃、85℃、100℃、125℃、150℃、 200℃、250℃、300℃、350℃。 5.8补偿温度范围 传感器补偿温度的下限值优先从下列数据中选取：-55℃、-45℃、-25℃、-10℃、0℃、25℃。 传感器补偿温度的上限值优先从下列数据中选取：50℃、70℃、85℃、100℃、150℃、200℃。 5.9贮存温度范围 传感器贮存温度范围：-55℃~150℃。 6要求 6.1详细规范 传感器性能应符合本标准和相关详细规范的规定。当本标准的要求与产品详细规范的要求不一致 时，应以产品详细规范为准。 6.2外观 传感器的外观应无明显的瑕疵、划痕、锈蚀和损伤，安装螺纹部分应无毛刺。 6.3外形及安装尺寸 传感器的外形及安装尺寸应符合6.1的规定。 6.4输入阻抗 传感器的输入阻抗应符合6.1的规定。 6.5输出阻抗 传感器的输出阻抗应符合6.1的规定。 6.6绝缘电阻 传感器的绝缘电阻应符合6.1的规定。 6.7 绝缘强度（必要时） 传感器的绝缘强