ICS 23.160 JB J 78 备案号：33645—2011 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 11080—2011 真空技术 涡旋干式真空泵 Vacuum technologyScroll dry pump 2011-11-01实施 2011-08-15发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T11080—2011 目 次 前言 .11 范围... 1 规范性引用文件. 2 3术语和定义. 型式与基本参数 4..型式... 4.2 型号... 4.3 基本参数 5技术要求... 测量方法. 6 6.1 测量装置.. 6.2 测量条件. 6.3 抽气速率和极限压力的测量 6.4 最大消耗功率的测量 6.5 工作温度的测量. 6.6 噪声的测量. 6.7 入口最大允许压力的测量 7抽样及判定方法 7.1 抽样方法， 7.2 判定方法. 8检验规则 9标志、包装、运输和贮存， 图1涡旋干式真空泵工作原理图 图2测试罩.. 表 基本参数.. 表2测试罩直径尺寸， 表3检验项目. JB/T 11080—2011 前 言 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、川北科技（北京）有限公司。 本标准参加起草单位：沈阳真空技术研究所 本标准主要起草人：张振厚、陈林、王光玉、孔祥玲、全太前、王学智。 本标准为首次发布。 JB/T11080—2011 真空技术涡旋干式真空泵 1范围 本标准规定了涡旋干式真空泵的术语和定义、型式与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定 方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于涡旋干式真空泵（以下简称泵）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所 有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各 方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191包装储运图示标志（GB/T191一2008，ISO780:1997，MOD） GB/T3163真空技术术语（GB/T3163—2007，ISO3529-13:1981，MOD） GB/T13306标牌 GB/T19956.1容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量（GB/T19956.1- 2005，ISO1607-1:1993，IDT) GB/T19956.2容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量（GB/T19956.2一2005，ISO 1607-2:1989，IDT) GB/T21271真空技术真空泵噪声测量方法[GB/T21271—2007，ISO2151:2004，Acoustics-Noise test code for compressors and vacuum pumps-Engineering method (grade 2),MOD) GB22360真空泵安全要求（GB22360—2008，EN1012-2:1996，MOD） 3术语和定义 GB/T3163中确立的及下列术语和定义适用于本标准。 3.1 抽气速率volumeflowrate 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在测试罩上指定位置测 得的平衡压力之比，简称泵的抽速，单位为L/s。 3.2 几何抽速geometricvolumeflowrate 泵按额定转速运转时，单位时间内抽出气体的几何容积，单位为L/s。 3.3 极限压力 ultimatepressure 泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力。 3.4 全压力totalpressure 当“压力”不能明确区分分压力和它们之和之间的区别时，常用来表示气体混合物所有组分分压力 之和。 1 JB/T11080—2011 4型式与基本参数 4.1型式 泵的结构型式是涡旋转子与定子采用相同涡旋型线，转子绕定子作无摩擦平动，转子与定子的相位 差为180° （工作原理图见图1）。 排气位置 定子 进气位置 转子 图1涡旋干式真空泵工作原理图 4.2型号 型号表示方法： 真空泵设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C、表示 名义抽气速率，单位为L/s 干式真空泵，用“G”表示 涡旋真空泵，用“WX”表示 示例：抽气速率为8L/s的涡旋干式真空泵，型号为“WXG-8A”。 4.3基本参数 泵的基本参数应符合表1的规定、 表1基本参数 抽气效率 配用电动 进气口法兰 排气口法兰 抽气速率 极限全压力 噪声Lw 序号 型号 机功率 公称通径 公称通径 L/s Pa dB (A) 1 kPa时 5 Pa时 kw mm mm WXG-2 N ≤3 9> 0.37 25 16 WXG-4 4 S9> 0.55 25 16 2 %08≤ ≥40% WXG-8 8 ≤3 S9> 0.75 40 25 3 WXG-15 15 ≤3 69≤ 1.5 50 40 2 JB/T11080—2011 5技术要求 5.1 泵的各项性能指标应符合表1的规定，并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。 5.2 泵的工作环境温度为（0～40）℃。 5.3 泵在规定的极限压力下运转，其噪声指标应符合表1的规定。 5.4 泵应运转平稳，无异常声音。 5.5 泵的零部件装配前必须作清洁处理。 5.6 设计时泵的几何抽速应为名义抽速的1倍～1.2倍。 5.7 说明书中应给出泵的最高工作温度和泵的平均无故障工作时间（MTBF）。 5.8 泵在入口压力1000Pa下连续运转500h后的性能指标应符合本标准的规定。 5.9 泵工作时的入口最大允许压力应≥6000Pa。 5.10 泵的设计、安装、运行、维修及拆卸过程应符合GB22360的规定。 6测量方法 6.1测量装置 6.1.1测试罩 如图2所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D，D是罩的内径。实验气体进口在罩的轴线上， 并与连接法兰的距离为D，进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力和极限 压力的真空计在距离连接法兰0.5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平 面。测试罩的容积Vp至少应是泵一个压缩周期扫过容积V,的5倍。在泵入口必须连接一个异径接头， 其长度不应超过0.5D（见图2）。 气体入口 压力计接头 D 5D 异径接头 泵入口直径 D 图2测试罩 对于给定规格的泵，测试罩直径尺寸在表2中给出。 表2测试罩直径尺寸 序号 Vp L Vp L D mm 1 0~0.26 1.3 100 2 0.26~1.1 5.4 160 3 1.1~4.2 21 250 4 4.2~17 t8 400 3 JB/T11080—2011 6.1.2压力计 对于压力高于或等于1Pa时，其校准精度为土5%，对于更低压力，校准精度为土10%。 6.1.3功率表和电流互感器 功率表和电流互感器应具有一级精度，并具有计量部门签发的有效证书 6.2测量条件 测量时应符合以下条件： a）泵的转速及配用电动机应符合产品设计规定，泵的实际转速与规定转速相差不得超过土3%； b）测量时环境温度应为5℃～35℃，测量期间温度波动不大于土1℃； c）测量气体为干燥空气，相对湿度不大于75%； d）测带有气镇的涡旋干式真空泵时，其掺气量应符合设计要求。 6.3抽气速率和极限压力的测量 按GB/T19956.1和GB/T19956.2的规定进行测量。 6.4最大消耗功率的测量 6.4.1测量方法 在不同入口压力下，用功率表测泵驱动电动机的输入功率，然后乘以电动机不同负荷下的效率，即 为泵的消耗功率。 6.4.2测量步骤 关闭微调阀和辅助进气阀，开泵运转，待泵温平衡后，开启微调阀和辅助进气阀，使罩内压力由低 至高，逐点稳定，同时测取功率值，为使测得值具有要求的精度，应避免功率表在示值1/2以下使用。 测量值应具有两位有效数字。 对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，待泵温再一次平衡后，重新测量气镇时的消耗功 率。 6.5工作温度的测量 泵在极限压力下运转1h后，把温度计固定在排气阀附近，连续观察30min，若温度变化不超过1℃， 温度计指示的最终温度即为泵的工作温度。 对于气镇泵，应在上述测量后，完全打开气镇阀，继续运转1h，再测量气镇时的工作温度，工作 温度最好与极限压力同时测量。 6.6噪声的测量 按GB/T21271的规定进行测量。 6.7入口最大允许压力的测量 按GBT19956.1中的方法，调节进气阀，使测试罩内的压力保持在6000Pa或6000Pa以上的某 一压力值，使泵连续运转48h，停放8h后，按6.3～6.6的方法测量泵的各项指标，如果符合要求，该 压力值即为泵的入口最大允许压力。 7抽样及判定方法 7.1抽样方法 7.1.1检查批的组成 单台泵经简单汇集形成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输批相同或不同，由同一规格型 不得超过100台。 批的组成、批量大小以及识别批的方式等，应协商确定。 7.1.2抽样方案 采用一次抽样方案。每批样本数为两台，不合格判定数为0。 4