ICS31.550 CCSL95 团体标准 硅异质结光伏电池透明导电氧化物（TCO） 溅镀设备 Transparentconductiveoxide(TCO)sputteringequipmentfor siliconheterojunctionphotovoltaiccells 2024-12-15发布 2024-12-30实施 中国光伏行业协会  发布T/CPIA0101—2024 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CPIA0101—2024 I目次 前  言.............................................................................................................................................................III 1范围................................................................................1 2规范性引用文件......................................................................1 3术语和定义..........................................................................1 4工作环境及工作条件..................................................................2 5要求................................................................................2 5.1设备外观及结构要求..............................................................2 5.2电磁兼容性......................................................................2 5.3主要性能指标....................................................................2 5.4安全性要求......................................................................3 6试验方法............................................................................3 6.1检验设备及仪器..................................................................3 6.2试验工作环境条件................................................................4 6.3设备外观及结构检查..............................................................4 6.4电磁兼容性检查..................................................................4 6.5主要技术指标测试................................................................4 6.6安全性试验......................................................................7 7检验规则............................................................................7 7.1检验分类........................................................................7 7.2定型检验........................................................................7 7.3交付检验........................................................................8 8标志、包装、搬运和运输、贮存........................................................8 8.1标志............................................................................8 8.2包装............................................................................8 8.3搬运和运输......................................................................8 8.4贮存............................................................................8 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CPIA0101—2024 III前  言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口。 本文件起草单位：湖南红太阳光电科技有限公司、晋能清洁能源科技股份公司、无锡爱尔华光电科 技有限公司、东方日升新能源股份有限公司、英利能源发展有限公司、通威太阳能（成都）有限公司、 浙江润海新能源有限公司、安徽光势能新能源科技有限公司、苏州爱康光电科技有限公司。 本文件主要起草人：周奇瑞、童芳、朱科俊、鲍少娟、陆威、张莹、史金超、张智富、连维飞、张 永红、蔡霞。 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CPIA0101—2024 1硅异质结光伏电池透明导电氧化物（TCO）溅镀设备 1范围 本文件规定了硅异质结光伏电池透明导电氧化物（TCO）溅镀设备（以下简称“设备”）的工作条 件、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、搬运和运输、贮存。 本文件用于硅异质结光伏电池透明导电氧化物（TCO）溅镀设备的生产、检验和交货。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T191包装储运图示标志 GB2894—2008安全标志及其使用导则 GB/T5226.1—2019机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T6388运输包装收发货标志 GB/T11164—2011真空镀膜设备通用技术条件 GB/T13306标牌 GB/T13384—2008机电产品包装通用技术条件 GB/T17626.2—2018电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验 GB/T17626.3—2016电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验 CB/T3764—1996金属镀层和化学覆盖层厚度系列及质量要求 SJ1552电子工业专用设备机械装配技术要求 SJ/T1635电子工业管路的基本识别色和识别符号 SJ/T10674—1995涂料涂覆通用技术条件 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 透明导电氧化物transparentconductiveoxide；TCO 透明导电氧化物是一种在可见光光谱范围透过率很高且电阻率较低的薄膜材料。 3.2 溅镀sputtering 利用在辉光放电下离子轰击靶材，将靶材材料撞击出来沉积到基板上的过程来镀膜的工艺。 3.3 极限压强ultimatepressure 真空设备能够维持的稳定的最低压强。 全国团体标准信息平台 T/CPIA0101—2024 24工作环境及工作条件 设备的工作环境和工作条件应满足以下要求： a)环境温度：5℃～40℃。 b)大气压强：8.6×104Pa～1.06×105Pa。 c)净化级别：优于100000级。 d)相对湿度：30%～70％。 e)冷却水：软水，温度18℃～26℃，水压0.2MPa～0.4MPa，颗粒物最大直径小于30μｍ。 f)设置散热、排废、尾气抽风口。 g)工艺气体压强：0.2MPa～0.6MPa；压缩空气压强：0.4MPa～0.6MPa。 h)接地电阻值应小于或等于4Ω。 5要求 5.1设备外观及结构要求 设备外观及结构应满足以下要求： a)设备表面应整齐平整，不应有明显的凹凸不平、划伤、锈蚀等缺陷，零部件应完整无缺。如 有适当装饰，应色泽协调、美观。 b)表面涂覆的零部件，应符合SJ/T10674—1995的要求。 c)表面有金属镀层及化学处理的零部件，应符合CB/T37