ICS81.060.10 CCSQ32 团体标准 T/SDAMA010—2025 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 HighpuritysiliconcarbidepowderforSiliconcarbideceramicwaferboat 2025-05-30发布 2025-05-30实施 山东省新材料产业协会SDAMA 发布 全国团体标准信息平台 T/SDAMA010—2025 I前  言 本文件参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》、GB/T 20001.10《标准编写规则第10部分：产品标准》给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件的附录A为规范性附录。 本文件由山东省新材料产业协会提出。 本文件由山东省新材料产业协会归口。 全国团体标准信息平台 T/SDAMA010—2025 1碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 1范围 本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则以 及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T191包装储运图示标志 GB/T4676普通磨料取样方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T19077粒度分析激光衍射法 GB/T20316.2普通磨料堆积密度的测定 GB/T37254高纯碳化硅微量元素的测定 JB/T6569普通磨料包装 JB/T11433普通磨料密度的测定 3术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4代号与标记 产品代号由高纯碳化硅粉体H；一般工业用途碳化硅牌号F；碳化硅粒度范围数字组成。标记顺序 为：H-F粒度范围数字。 示例：粒度范围数字为240的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体标记为：H-F240。 5技术要求 5.1化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定。 表1化学成分 元素 单位 含量 SiC % ≥99.99 全国团体标准信息平台 T/SDAMA010—2025 2Si % ≥70.02 C % ≥29.96 Fe mg/kg ≤30 Al mg/kg ≤30 Na mg/kg ≤10 Mg mg/kg ≤10 Ca mg/kg ≤10 B mg/kg ≤10 Ti mg/kg ≤5 5.2粒度分布 产品的粒度分布应符合表2的规定。 表2粒度分布 牌号粒度/um D10 D50 D90 H-F240 ＞25.0 48.0±1.0 ＜90.0 H-F1200 ＞2.0 4.0±0.5 ＜10.0 5.3堆积密度 产品的堆积密度应符合表3的规定。 表3颗粒密度 牌号 堆积密度/(g/cm3) H-F240 ≥1.50 H-F1200 ≥0.75 5.4颗粒密度 产品的颗粒密度应符合表4的规定。 表4颗粒密度 牌号 颗粒密度/(g/cm3) H-F240 ≥3.12 H-F1200 ≥3.12 6试验方法 6.1化学成分 全国团体标准信息平台 T/SDAMA010—2025 3产品的化学成分按GB/T37254规定的方法进行检验。 6.2粒度分布 产品的粒度分布按GB/T19077规定的方法进行检验。 6.3堆积密度 产品的堆积密度按GB/T20316.2规定的方法进行检验。 6.4颗粒密度 产品的颗粒密度按JB/T11433规定的方法进行检验。 7检验规则 7.1检验分类 检验分为型式检验和出厂检验。 7.2检验项目 7.2.1型式检验 检验项目为第5章所规定的全部项目，正常生产时，每季度进行一次型式检验。当出现以下几种情 况时也应进行型式检验： a)新产品试制； b)停产后复产； c)原材料或工艺有较大改变。 7.2.2出厂检验 出厂检验项目为：化学成分、粒度分布、堆积密度。 7.3组批与检验频次 以每次投料生产的产品为一批，每批不超过5t；化学成分按每批进行一次检验，粒度分布按每件（吨） 进行检验，堆积密度按每批进行检验一次。 7.4试样抽取 试样按GB/T4676规定的方法进行抽取、缩样。 7.5判定规则 检验结果的判定按GB/T8170中修约值比较法进行，产品检验结果如全部符合标准要求则判定该 批产品合格，若有指标不符合标准要求则重新加倍抽样复检，如复检结果仍有指标不符合标准要求则判 定该批产品不合格。 8标志、包装、运输和贮存 8.1标志 全国团体标准信息平台 T/SDAMA010—2025 4产品包装上应清晰注明产品名称、牌号、数量、生产商名称、地址等，外包装上的“防潮”等图示 标志应符合GB/T191的要求。 8.2包装 包装按JB/T6569规定执行，内包装里应附有产品合格证,其内容包括产品名称、牌号、批号、生 产日期、检验员编号等。 8.3运输和贮存 8.3.1包装物严禁利器钩划，严禁雨淋或水浸泡，运输及贮存过程中应注意防潮。 8.3.2产品贮存应远离酸、碱等腐蚀性物质，贮存在清洁的环境中，防止二次污染。 8.4其它 需方对碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体的标志、包装、运输和贮存有特殊要求时，由供需双 方商定。 全国团体标准信息平台 T/SDAMA010—2025 5附录A （资料性） 起草单位和主要起草人 本文件起草单位：山东圣诺实业有限公司、山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东依 莱特硅业有限公司、潍坊新方精细微粉有限公司、山东省新材料产业协会 本文件主要起草人：高惠、周强、郝文虎、王明峰、王东、毕见强、周健华、马运志、赵雷、石金 旺、祁丰才、石威、龚红宇、王伟礼、孙国勋 全国团体标准信息平台