中国中小商业企业协会 发　布 中 国 标 准 出 版 社 出　版半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment 2025 -03-21 发布 2025 -04-21 实施ICS 83.140.50 CCS G 43 T/CASME 1953 —2025 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CASME 1953 —2025 前言…………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围………………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 …………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ………………………………………………………………………………………………… 1 4 分类………………………………………………………………………………………………………… 2 5 技术要求 …………………………………………………………………………………………………… 2 6 试验方法 …………………………………………………………………………………………………… 3 7 检验规则 …………………………………………………………………………………………………… 4 8 标志、标签和随行文件 ……………………………………………………………………………………… 4 9 包装、运输和贮存 …………………………………………………………………………………………… 5目 　次 Ⅰ 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CASME 1953 —2025 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则　第 1部分：标准化文件的结构和起草规则 》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 。 本文件由江苏多肯新材料有限公司提出 。 本文件由中国中小商业企业协会归口 。 本文件起草单位 ：江苏多肯新材料有限公司 、安徽多肯创新科技有限公司 、扬州曼特勒尔材料科技有 限公司。 本文件主要起草人 ：刘韬、徐丹、刘雪莲。 Ⅲ 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CASME 1953 —2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 1 范围 本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类 、技术要求 、试验方法 、检验规则 、标志、标签 和随行文件 、包装、运输和贮存 。 本文件适用于工作温度范围为 -45 ℃~ 320 ℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造 、检验。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件 ；不注日期的引用文件 ，其最新版本 （包括所有的修改单 ）适用于本 文件。 GB/T 528　硫化橡胶或热塑性橡胶　拉伸应力应变性能的测定 GB/T 531.1　硫化橡胶或热塑性橡胶　压入硬度试验方法　第 1部分：邵氏硬度计法 （邵尔硬度 ） GB/T 1690　硫化橡胶或热塑性橡胶　耐液体试验方法 GB/T 2828 .1　计数抽样检验程序　第 1部分：按接收质量限 （AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 2941　橡胶物理试验方法试样制备和调节通用程序 GB/T 3452 .1—2005　液压气动用 O形橡胶密封圈　第 1部分：尺寸系列及公差 GB/T 3452 .2—2007　液压气动用 O形橡胶密封圈　第 2部分：外观质量检验规范 GB/T 3512　硫化橡胶或热塑性橡胶　热空气加速老化和耐热试验 GB/T 3672 .1　橡胶制品的公差　第 1部分：尺寸公差 GB/T 5719　橡胶密封制品　词汇 GB/T 5721　橡胶密封制品标志 、包装、运输、贮存的一般规定 GB/T 7757　硫化橡胶或热塑性橡胶　压缩应力应变性能的测定 GB/T 7759 .1　硫化橡胶或热塑性橡胶　压缩永久变形的测定　第 1部分：在常温及高温条件下 GB/T 7762　硫化橡胶或热塑性橡胶　耐臭氧龟裂　静态拉伸试验 GB/T 15256　硫化橡胶或热塑性橡胶　低温脆性的测定 （多试样法 ） HG/T 3090　模压和压出橡胶制品外观质量的一般规定 3 术语和定义 GB/T 5719界定的以及下列术语和定义适用于本文件 。 3.1 全氟醚橡胶密封制品 perfluoro ether rubber sealing product 由全氟甲基乙烯基醚 、四氟乙烯与全氟烯丙基醚三元共聚得到的一类弹性体材料制成 ，用于密封装 置的零部件 。 1 全国团体标准信息平台 T/CASME 1953 —2025 4 分类 全氟醚橡胶密封制品 （以下简称 “产品” ）按型式不同分为 Ο型圈、非Ο型圈。非Ο型圈包括其他型 式的模压制品 、压出制品 、压延胶板 。 5 技术要求 5.1 外观质量 5.1.1 Ο型圈的外观质量应符合 GB/T 3452 .2—2007中S级的要求 。 5.1.2 非Ο型圈的外观质量应符合 HG/T 3090的要求。 5.2 尺寸公差 5.2.1 Ο型圈的尺寸和公差应符合 GB/T 3452 .1—2005中A系列的要求 。 5.2.2 非Ο型圈的尺寸和公差应符合 GB/T 3672 .1的相关要求 。 5.3 材料力学性能 材料力学性能应符合表 1的规定。 表1　材料力学性能 项目 邵尔硬度 （HA） 拉伸强度 /MPa 拉断伸长率 /% 压缩回弹率 （23 ℃× 24 h）/% 压缩永久变形 （B型试样）/% 热空气老化 （230 ℃× 48 h） 耐液体性能 耐臭氧龟裂静态拉伸 （伸长 20%，50×10-8，16 h，40 ℃） 脆性温度 / ℃ASTM 1#标准油 （100 ℃× 48 h） ASTM 1#标准油 （150 ℃× 48 h） ASTM 3#标准油 （150 ℃× 48 h）压缩率 5% 压缩率 10% 压缩率 15% 空气，100 ℃× 48 h 空气，230 ℃× 48 h 硬度变化 （HA） 拉伸强度变化率 /% 拉断伸长率变化率 /% 硬度变化 （HA） 体积变化率 /% 体积变化率 /% 体积变化率 /%要求 75±5 ≥15 ≥160 ≥80 ≥78 ≥75 0~15 0~25 0~2 0~6 0~8 0~5 0~8 0~10 0~10 无龟裂 ≤-40 2 全国团体标准信息平台