皮安表/电压源校准规范 Calibrition specification for micro ammeter/voltage source 2025－06－05实施 北京电子仪器行业协会 发 布 中国团体标 准 T/BEA.40004－2025 2025－06－05发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/BEA.40004－2025 I 前 言 本标准由北京东方计量测试研究所 提出。 本标准由 北京电子仪器行业协会 归口。 本标准主要起草单位： 北京东方计量测试研究所 。 本标准参与起草单位： 北京信息科技大学、哈尔滨工业大学 。 本标准主要起草人： 韩琳、陈洪亮、冯荣尉、 徐圣法、刘杰强、 郭佳鑫、桑尚铭、佟亚珍、温星曦 、杨春玲、张静、彭帅 。 全国团体标准信息平台 T/BEA.40004－2025 2 皮安表/电压源校准规范 1 范围 本规范规定了 皮安表 /电压源设备的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理 和校准时间间隔。 1.1 主题内容 本规范规定了 皮安表 /电压源设备的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理 和校准时间间隔。 1.2 适用范围 本规范适用于新研制（新购置）、使用中、修理后的 皮安表 /电压源设备的校准。 2 规范性引用文件 本规范引用了下列文件。 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件其最新版本适用 于本规范。 JJG（军工） 200-2019《直流小电流表检定规程》 JJF1638 -2017《多功能标准源校准规范》 JJF 1059.1 -2012《测量不确定度评定与表示》 3 术语定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 概述 皮安表 /电压源可测 20pA～20mA微小电流，电压输出 ±30V，具有双通道 6位半测量能力，可以分 析多通道器件、监测材料中多个位置的电流并记录来自多传感器的数据，主要应用于元器件测试、双二 极管测试、半导体器件测试、多引脚器件测试等。 5 计量特性 5.1 电流测量允许误差 表1 电流测量允许误差 序号 量程 最大允许误差 ±（%rdg+补偿） 1 200pA 2.00%+0.2pA 2 2nA 1.00%+2pA 3 20nA 0.40%+2pA 4 200nA 0.30%+200pA 5 2μA 0.20%+200pA 6 20μA 0.10%+20nA 7 200μ A 0.10%+20nA 8 2mA 0.10%+2μ A 9 20mA 0.10%+2μ A 5.2 电压输出允许误差 全国团体标准信息平台 3 表2 电压输出允许误差 序号 量程 最大允许误差 1 ±10V ±（设置的 0.03%+1mv ） 2 ±30V ±（设置的 0.03%+1mv ） 6 校准条件 6.1 环境条件 a) 环境温度： 23℃±5℃； b) 环境湿度：（ 20～70）%RH； c) 供电电源：交流电压 220V±10V ，频率 50Hz±1Hz ； d) 其它：周围无影响测量系统正常工作的机械振动和电磁干扰。 6.2 校准用设备 校准用设备应经计量技术机构检定（校准），满足使用要求，并在有效期内。校准用设备的测量范 围应覆盖被校设备的测量范围，并具有足够的分辨力、准确度和稳定性。标准设备的测量扩展不确定度 （k=2）应不大于被校准设备各参数最大允许误差绝对值或允许范围的 1/3。根据所采用的校准方法， 选择以下可以满足校准要求的校准设备。 6.2.1 多功能标准源 电流范围应覆盖 ±20μA～± 20mA，电流输出最大允许误差或测量不确定度应优于被校准 皮安表 / 电压源电流测量准确度的 1/3。 电压范围应覆盖 ± 20mV～± 2V，电压输出最大允许误差或测量不确定度应优于 0.01%。 6.2.2 数字多用表 电压范围应覆盖 ± 30V，电压测量最大允许误差 ± 5.0ppm～5.5ppm。 表3 数字多用表技术指标 序号 量程 误差 ±（ppm Reading+0.5 Range ） 1 200mV 5.0+0.5 2 2V 3.5+0.2 3 20V 3.5+0.2 4 200V 5.5+0.2 6.2.3 标准电阻 电阻值 1MΩ、10 M Ω、100 M Ω、1GΩ、10 G Ω，电阻最大允许误差或测量不确定度应优于被校准 皮安表 /电压源电流测量准确度的 1/3。 7 校准项目 a) 外观及工作正常性检查； b) 电流测量功能； c) 电压输出功能。 8 校准方法 8.1 外观及工作正常性检查 用目视方法 ,检查被校设备电源开关、显示屏、按键等应完好，不应有影响电气性能的机械损伤。 被校设备通电开机后应运转正常，操作软件运行正常，各状态指示灯应正常。校准前，被校准仪器及校 准用设备应按规定先预热 1小时。 全国团体标准信息平台 T/BEA.40004－2025 4 8.2 电流测量功能 皮安表/电压源(20μA~20mA) 多功能标准源电流输入通道1 电流输入通道2三同轴电缆 BNC转双插 图1 20µA～20mA直流电流校准连接示意图 量程 20µ A～20mA依据 JJF1587 -2016《数字多用表校准规范》中 7.2.4.1的标准源法进行 检定。具体步骤如下： a) 按照上图所示连接仪器； b) 根据校准点设置多功能源的直流电流输出值，记录被校准设备的示值； c) 设多功能源的电流输出标准值为 IN，记录被校准设备 皮安表 /电压源的示值为 IX，根据指标中 规定的最大允许误差的上下限判断读数是否满足要求； d) 其他检定点重复以上步骤。 皮安表/电压源(200pA~2μA) 多功能标准源电流输入通道1 电流输入通道2三同轴电缆 BNC转双插BNC屏蔽线直流标准电阻器RS 图2 200pA～2µA直流电流校准连接示意图 量程 200pA～2µ A依据 JJG（军工） 200-2019《直流小电流表检定规程》中 5.3.4.3的间接 测量法进行检定。具体步骤如下： a) 按照上图所示连接仪器； b) 根据检定点选择适当的直流标准电阻器 Rs，设置多功能标准源输出电压 Us，待稳定后，读取 被检皮安表 /电压源显示值It； c) 根据指标中规定的最大允许误差的上下限判断读数是否满足要求； d) 其他检定点重复以上步骤。 e) 按照相同的方法测试第二个通道的电流测量功能。 表4 电流量程与选取电压及标准电阻对应关系 序号 电流量程 多功能标准源输出电压 直流标准电阻 1 2µA 0.2V～2V 1MΩ 2 200nA 0.2V～2V 10M Ω 3 20nA 0.2V～2V 100M Ω 4 2nA 0.2V～2V 1GΩ 5 200pA 0.2V～2V 10GΩ 8.3 电压输出功能 电压输出依据 JJF1638 -2017《多功能标准源校准规范》中的 6.4.1标准表法。直流电压输 出具体测试步骤如下： a) 连线如图 3所示； b) 直接用标准数字多用表测量被校准 皮安表 /电压源的输出电压； c) 测量结果参考值为 Us，记录被校准 皮安表 /电压源电压输出示值为 Ux，根据指标中规定的最大 允许误差的上下限判断读数是否满足要求； d) 其他检定点重复以上步骤； e) 按照相同的方法测试第二个通道的电压输出功能。 全国团体标准信息平台 5 数字多用表（标准）H L电压输出通道1 电压输出通道2 皮安表/电压源 （被校准） 接地桩电流输入通道1 同轴三转二转接器 图3标准表法校准直流电压连接示意图 9 校准结果表达 测试 校准后，出具校准证书。校准证书至少应包含以下信息： a) 标题： “校准证书 ”； b) 实验室名称和地址； c) 进行校准的地点（如果与实验室的地址不同）； d) 证书的唯一性标识（如编号），每页及总页数的标识； e) 客户的名称和地址； f) 被校对象的描述和明确标识； g) 进行校准的日期，如果与校准结果的有效性和应用有关时，应说明被校对象的接收日期； h) 如果与校准结果的有效性应用有关时，应对被校样品的抽样程序进行说明； i) 校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号； j) 本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明； k) 校准环境的描述； l) 校准结果及其测量不确定度的说明； m) 对校准规范的偏离的说明； n) 校准证书签发人的签名、职务或等效标识； o) 校准结果仅对被校对象有效的说明； p) 未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明。 10 复校时间间隔 建议复校时间间隔为 1年。由于复校时间间隔的长短是由仪器的使用情况、使用者、仪器本身质量 等诸因素所决定的，因此送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔。 经修理或调整的，应校准后使用。 附录A 原始记