ICS 31-550 SJ L01 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T31083—2016 代替SJ/T31083—1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 Vacuum coating equipment requirements of readiness and methodsofinspectionassessment 2016-01-15发布 2016-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T31083—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替并废止SJ/T31083一1994《DM一450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》。 本标准与SJ/T31083一1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： 标准名称“DM一450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法”修改为“真空镀膜设备完好要求 和检查评定方法”； RM 准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定力法 可参照执行”； 增加了 AW 单点漏 在3.1中 设备极限空度及抽气 间指标，增加 压性能 保 镀膜均匀性及 复性指标， 批次重 量指标 离子轰击功率及食 工件旋转达 “触摸 的完好要求， 删除了关于制动 位装置 在3. 在3. 关于动 删除了关于 完好要求 删除 关于真空 34中 ，增加了冷泉 分子泵、 各、真空阀及真 空计 的完婚要求； OLOG 在3. 各指示 补充 控肌的完好要求 在3.6 了冷却 的完好要求 删除了 件的完好要求； 在3.7中增 空室单独接地的要求，以及真空室门、高压部伴外面板 紧急停止按钮、危 险源点标识的完好要求； 删除了3.8中 于高压电源线和高压引线连接的表述； 修改了4.1中设备极限真空度及抽气时间的检查方法，删除 增加了保压特性、单点漏 模均匀性及重复性的检查方法 一对4.2条中“评定方法”的描述傲了修改。D 本标准由中国电子技术标准化研究院归 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集 团公司第五十四研究所。 本标准主要起草人：彭海涛、杨红伟、家秀云、蒋红旺、张岩、赵润、张世祖、周昭彤、严海若。 本标准的历次版本发布情况为： SJ/T31083—1994。 SJ/T31083—2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 1范围 本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于B0C700一4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 SJ/T31001—2016设备完好要求和检查评定方法编写导则 SJ/T31002-—2016企业设备维护保养通则 3完好要求 3.1主要技术指标 BOC700一4/G型真空镀膜设备的主要技术指标有： a）极限真空度<1×10-Pa； 抽气时间：由大气压抽到<1×103Pa的时间应≤20min； b) 保压性能：保压测试10min，真空度<1×102Pa； 单点漏率<1×10-8Pam/s； e) 烘烤温度：室温至200℃可调； 镀膜均匀性：工件内及工件间镀膜厚度的均匀性<4%； G g）镀膜批次重复性<4%。 具体设备可符合有关标准和合同（包括设备说明书）的要求。 3.2操作系统 3.2.1 设备各操作手柄、开关、按钮动作灵活，定位可靠，标识清楚。 3.2.2各仪表、指示灯、指示正常，触摸屏触摸灵敏，显示正确。 3.3传动系统 3.3.1营 常温或加热情况下，各传动件均应运行平稳，动作可靠，无异常噪声、抖动、停滞等现象。 3.3.2动密封点密封性好，传动时不得有真空度跳变现象。 3.4真空系统 3.4.1机械泵、压缩机及冷凝泵（或扩散泵、分子泵）等工作正常，无异常噪声，冷凝泵二级冷头温 度小于12K 3.4.2粗抽阀、高真空阀、再生阀、冷凝泵充气阀、真空室充气阀（包括手动阀、气动阀或电磁阀等） 1 SJ/T31083—2016 动作可靠、无漏气。 3.4.3真空管路连接牢固，密封性好。 3.4.4各真空计显示正常，示数灵敏、准确。 3.5电气系统 3.5.1电气系统装置齐全，功能完整；电气性能灵敏可靠；互锁完备、正确。 3.5.2电气箱内部清洁，各线路布线整齐，标识齐全、清楚；各端子联接牢固、无松动；线路绝缘层 无破损、老化、漏电现象。 3.5.3各指示灯、按钮、开关齐全，工控机工作可靠。 3.6冷却系统 3.6.1 属水现象。 3.6.2 3.6.3 量传感器。 3.6.4 水冷系统的折 人联锁 锁保护装置灵敏、可靠。 3. 7 安全防护系 TE 3. 7.1 设备接地 可靠， 标识明菱 真空室必须单独接地。 真空室 部件外 的位置传感器工作正常、灵每 3.7.2 与真空系 充及高 压部件互锁。 CHNOL 紧急停 上按钮 3.7.3 作正常 标镇清 陶源 3.7. 4 设备各 标识齐全 TR 3.8 维护保养 LOG 清 3.8.1 设备内外 腐蚀。 各部件紧固螺无松动。 3.8. 2 3.8.3 定期清理设备， 期检查维护易损部件，定期更换、补充泵油。 其他按SJ/T310Q2-2016的规定执行。 3.8.4 4检查、评定方法 ND RD 4.1 检查方法 4.1.1 打开真空室至少3min后，关真空室门，按设备操作要求对真空室抽真空，12h后，记录真空 室压强，结果即为极限真空度。 4.1.2真空室门打开至少3min后，关真空室门，按设备操作要求对真空室抽真空，记录从机械泵粗 抽开始，到开高真空阀后第一次到达所要求真空度的时间，即为抽气时间。 4.1.3设备达到极限真空度后，关闭高真空阀，10min后记录真空室压强，该压强数据即为保压测试 结果。 4.1.4单点漏率采用氢检漏仪或残气分析仪检测。 4.1.5利用真空镀膜设备淀积单层膜，采用椭偏仪检测镀膜厚度。在同一工件的不同区域取样，计算 工件内镀膜厚度的均匀性；在同批次的不同工件上取样，计算工件间镀膜厚度的均匀性；在同样淀积条 件的不同批次工件上取样，计算镀膜重复性。均匀性及重复性的计算公式为： 8T=（（Tmax-Tmin）/（Tmax+Tmin））×100%. (1) 式中： 2 SJ/T 31083-2016 8T一一镀膜厚度均匀性或重复性； Tmax—镀膜厚度取样最大值； Tmin—镀膜厚度取样最小值。 4.1.6对设备完好要求的其他项目，在设备现场采用主观法检查。 4.2评定方法 4.2.1完好设备的基本要求应达到SJ/T31001一2016规定的要求，完好设备的维护保养应达到SJ/T 31002--2016规定的优等设备标准。 4.2.2第3章所列内容中3.1、3.4.1~3.4.4、3.5.1、3.5.2、3.6.1~3.6.4和3.7.1~3.7.3为主要项 目，其余为次要项目。主要项目全部达到要求、次要项目最多只有一项未达到要求，评定为完好设备； 否则评定为不完好设备。 SJ/T 31083—2016 中华人民共和国 电子行业标准 真空镀膜设备完好要求和检查 评定方法 SJ/T 31083-—2016 * 中国电子技术标准化研究院编制 中国电子技术标准化研究院发行 电话：（010）64102612，传真：（010）64102617 地址：北京市安定门东大街1号 邮编：100007 网址：www.cesi.cn * 开本：880×1230 01/16印张： 字数：12千字 2 2016年6月第1版2016年6月第1次印刷 印数：200册定价：20.00元 版权专有 不得翻印 举报电话：（010）64102613 SJ/T 31083—2016 中华人民共和国 电子行业标准 真空镀膜设备完好要求和检查 评定方法 SJ/T 31083-—2016 * 中国电子技术标准化研究院编制 中国电子技术标准化研究院发行 电话：（010）64102612，传真：（010）64102617 地址：北京市安定门东大街1号 邮编：100007 网址：www.cesi.cn * 开本：880×1230 01/16印张： 字数：12千字 2 2016年6月第1版2016年6月第1次印刷 印数：200册定价：20.00元 版权专有 不得翻印 举报电话：（010）64102613