ICS 31-550 SJ L01 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T310802016 代替SJ/T31080—1994 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查 评定方法 Pattern generator for photomask making requirements of readiness and methods of inspection assessment 2016-01-15发布 2016-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T 31080—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替并废止SJ/T310801994《图形发生器完好要求和检查评定方法》。 本标准与SJ/T31080一1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： 和检查评定方法”； 膜制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法”； 增加了“规范性引用文件”一章； 一对3.1中间掩模的第二名称“初级版”改为“初缩版”； 一对“工作台正交性”技术指标的描述做了修改； 一一对“计算机控制系统”的内容做了修改； 一对“评定方法”的描述做了修改。 本标准由中国电子技术标准化研究院归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集 团公司第五十四研究所。 本标准主要起草人：张倩、石少青、辛士卓、朱石平、王丽英、侯文明、田伟、严海若。 本标准的历次版本发布情况为： SJ/T 31080—1994。 SJ/T31080—2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 1范围 本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并 结合该设备的具体指标检查评定。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。 SJ/T31001—2016设备完好要求和检查评定方法编写导则 SJ/T31002—2016企业设备维护保养通则 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 中间掩模reticle 初缩版 用图形发生器制作在感光板上，其图形尺寸一般大于集成电路实际尺寸的掩模。 3.2 可变狭缝 variable aperture 在图形发生器中用于产生各种图形的机构，通常由两组可开合的刀口组成 4完好要求 4.1 主要技术指标 4.1.1 工作台定位精度为土0.25 5μm 4.1.2 150mm全程范围内的总精度为士0.60 μm 4. 1. 3 工作台正交性为土0.5”。 4.1.4可制作曝光面积为150mm150mm的掩模。 4.1.5具有两种曝光光源，即闪光灯光源和汞灯光源，可分别制作乳胶干板和铬版，光源非均匀性为 5%。 4.1.6 采用双频激光干涉仪进行闭环控制，最小输入数据0.1Hm。 4.1.7 可变狭缝在像面可产生线宽2Hm.至1.5mm的矩形，狭缝可围绕中心旋转0°~90°。 1 SJ/T31080—2016 自动调焦系统Z轴运动范围是635Hm,对版面的探测精度是土0.25Hm。 4.1.8 4.2操作系统 4.2.1 各开关及按钮启动灵活，标识齐全。 4.2.2 制动及限位装置齐全，灵活可靠。 4.3传动系统 设备运转平稳、无振动。 4.4润滑系统 润滑系统完好无损。 AND 4.5真空系统 低翼空系绕王作正 气压系统 4. 6 为隔震台提 工作正常。 6 电气系统 4. 7 电气系 靠， 茶 1 电气线 绝缘层无 4.8 计算机控制 主机、显示 盘应 正常读 型，磁带机应工 由磁带机录 工作正常，主机操作程序和测试程 日碎带 4. 9 附件 价及损伤。 附件齐全， 保管良好， S 4. 10 附属装置 RD 净化间应保持21℃土0.1℃， 持在百级以内。 安全防护 4. 11 4. 11. 1 各安全防护装置安全、可靠。 4. 11.2 接地可靠，标识明显。 4.11.3 计算机应有良好的接地地线。 4.12维护保养 4.12.1 设备环境温度应保持在20℃~25℃，相对湿度小于75%。 4.12.2 其他按SJ/T31002—2016的规定执行。 2 SJ/T 31080—2016 检查、评定方法 5. 1 检查方法 5.1.1 输入专用测试程序，用图形发生器制作方阵状及鱼骨状检测图形（见图1、图2），用高精度测 长仪器及高倍显微镜检查检测图形有关项目。 5.1.2 根据图1中（1）、（2）、（8）各项及图2拼接情况，检测工作台定位精度。 5.1.3 根据图1中（1）、（2）、（27)项的测量结果，检测出设备全程总精度。 26 27 25 -X 18 10 15, 114 16 28 -Y 图13600F型图形发生器方阵状测试图形 SJ/T31080—2016 0.0025mm 0.006mm×0.275mm 0.006mmx0.250mm 0.0025mm 0.0025mm 0.1305mm 测试线2- 测试线1 基础线2 基础线1 参老线9 参考线1 图23600F型图形发生器鱼骨状测试图形 5.1.4根据图1中(5)、（7)、（8)项检测工作台的正交性。 5.1.5 根据实拍150mm×150mm的掩模图形，检测可制作掩模的最大尺寸。 5.1.6用光强计测量或制作分辨率图形的方法来检测光源的均匀性。 5.1.7根据实拍方阵、鱼骨图形及检测图1中（4)、（8)、(26)等项检测狭缝尺寸精度及转角精度。 5.1.8通过实拍分辨率图形，检测自动调焦精度。 5.1.9各系统完好要求所列内容，采取直观法检查。 5.2评定方法 5.2.1 完好设备的基本要求应达到SJ/T31001—2016规定的要求，完好设备的维护保养应达到SJ/T 31002—201X规定的优等设备标准。 5.2.2第4章所列内容中4.1.1.～4.1.8为主要项目，其余为次要项目。主要项目全部达到要求、次要 项目最多只有一项未达到要求，评定为完好设备；否则评定为不完好设备。 SJ/T31080—2016 0.0025mm 0.006mm×0.275mm 0.006mmx0.250mm 0.0025mm 0.0025mm 0.1305mm 测试线2- 测试线1 基础线2 基础线1 参老线9 参考线1 图23600F型图形发生器鱼骨状测试图形 5.1.4根据图1中(5)、（7)、（8)项检测工作台的正交性。 5.1.5 根据实拍150mm×150mm的掩模图形，检测可制作掩模的最大尺寸。 5.1.6用光强计测量或制作分辨率图形的方法来检测光源的均匀性。 5.1.7根据实拍方阵、鱼骨图形及检测图1中（4)、（8)、(26)等项检测狭缝尺寸精度及转角精度。 5.1.8通过实拍分辨率图形，检测自动调焦精度。 5.1.9各系统完好要求所列内容，采取直观法检查。 5.2评定方法 5.2.1 完好设备的基本要求应达到SJ/T31001—2016规定的要求，完好设备的维护保养应达到SJ/T 31002—201X规定的优等设备标准。 5.2.2第4章所列内容中4.1.1.～4.1.8为主要项目，其余为次要项目。主要项目全部达到要求、次要 项目最多只有一项未达到要求，评定为完好设备；否则评定为不完好设备。