ICS 31-030 SJ L90 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11598—2016 电子工业用氢化铝钠 Sodium aluminum tetrahydride used in electronic industry 2016-01-15发布 2016-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T11598—2016 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本标准起草单位：英利集团有限公司、六九硅业有限公司、河北大学、工业和信息化部电子工业标 准化研究院。 本标准主要起草人：杨惠始、 滕晓云、冯亚彬、张雷。 SJ/T11598—2016 电子工业用氢化铝钠 1范围 本标准规定了电子工业用氢化铝钠的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存以及质 量证明书和安全警告。 本标准适用于由金属钠、铝粉及氢气作用制得的浴于 二醇二甲醚（DME）的氢化铝钠。氢化铝钠 AV 2 规范性引用文件 JSTRY 下列文件对于 期的版本适用于本文件。 本 用交件 其最游服本（包活所有的修改单）适用于 凡是不注日期的 本文 检货物装标 GB 190 危 安全标 GB15258 写规定 手证剂标准 定游液的制备 GB/T 601 制品的制备 GB/T603 法中所用制剂及 GB/T668 化工产品采样通则 GB/T668 分析 要求 3.1 外观 电子工业用氢化锅钠为黑色落液。 S 3.2 技术要求 T 表1技术指标 指标 项目 一等品 二等品 三等品 ≥16.00% ≥15.00% ≥14.00% 氢化铝钠(NaA1H4)含量 ≤0.15% ≤0.15% 六氢化铝钠(Na3A1H6)含量 ≤0.10% 铝粉(A1）含量 ≤0.80% ≤0.90% ≤0.90% 甲苯(C7H8)含量 ≤24.00% ≤24.00% ≤24.00% 注：各物质含量均为质量分数。 试验方法 1 SJ/T11598—2016 4.1 外观检查采用目视检验。 4.2 氢化铝钠含量的测定按照附录A进行。 4.3六氢化铝钠含量的测定按照附录B进行。 4.4 铝粉含量的测定按照附录B进行。 4.5 甲苯含量的测定按照附录C进行。 检验规则 5 5.1 检验分类 电子工业用氢化铝钠的检验分为鉴定检验和质量一致性检验（逐批检验） 5.2采样 采样应符合GB/T6680的规定，且应在情性气体保护装置中进行。 5.3 鉴定检验 5.3.1 通则 在有下列情况（包含但不限于）之一时，应进行鉴定检验： a) 新产品鉴定时； b) 产品转厂生产时； 原辅材料规格发生变化时； c) (P 停产时间超过一个月，恢复生产时； e) 质量一致性检验结果与上次鉴定检验结果有较大差异时； f) 质量技术监督机构或客户提出鉴定检验要求时。 5. 3. 2 检验项目 鉴定检验项目应符合表2的要求。 5.3.3 合格判定 当所有鉴定检验项目合格时，则该产品鉴定检验合格；若有任一鉴定检验项目不合格，则该产品鉴 定检验不合格。 表2检验一览表 检验项目 要求章条号 试验方法章条号 鉴定检验 质量一致性检验 外观 3. 1 4. 1 . . 氢化铝钠含量 3. 2 4.2（附录A) . 六氢化铝钠含量 3. 2 4.3（附录B） . . 铝粉含量 3. 2 4.4（附录B） . . 甲苯含量 3. 2 4.5（附录C) . 注：●表示需要检验的项目。 5.4 质量一致性检验（逐批检验） 5.4.1 组批 2 SJ/T11598—2016 由同一批原料，同一工艺条件下生产的同一反应炉中的产品为一个检验批，每个检验批产品应不超 过2t。 5.4.2检验项目 质量一致性检验（逐批检验）项目包括外观、氢化铝钠含量、六氢化铝钠含量、铝粉含量，应符合 表2的要求。 5.4.3合格判定 当所有质量一致性检验（逐批检验）项目合格时，则该批产品检验合格；若有任一质量一致性检验 （逐批检验）项目不合格，则该批产品检验不合格 AND 标志、包装、运输、储存 6.1 标志 包装罐上的标 清晰 包括以下内容： a) 产品名 产品 b) c) 产品 单及 地址； d) 生产 批号及 e) 生产 日期； f) 符合 规定的 “遇水放出易燃 物 标志、 腐蚀性物质 中“向上”标志； 符合 g) 58规定 包装 6. 2 6.3运输 本产品运输过程中应注意防水 防撞击，远离易燃物， 氧化剂及酸类。 6.4储存 本产品应储存于通风、阴凉、干燥的库房内，库房内地面应高于室外地面。储存时应隔绝热源、火 种、氧化剂及酸类，注意防潮、防撞击，远离易燃物。储存期应不超过6个月。 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，至少包括以下内容： 产品名称； a) b) 产品等级： c) 产品重量； (P 生产单位及地址； 生产批号及日期； e) f) 检验结果； g) 保质期； 3 SJ/T115982016 h) 本标准编号。 安全警告 8 8.1本产品具有强烈的化学活性，在空气中急速氧化，放出氢气；遇水剧烈反应，易引起燃烧爆炸； 与皮肤接触易引起灼伤。 8.2本产品应防止与空气、水接触，并密闭放于情性环境中。使用本产品时应在通风良好、洁净、干 燥的场所进行。 8.3当发生火灾时，可使用干沙、干粉、蛭石、石棉布灭火，不应使用水、泡沫、酸碱、四氯化碳和 二氧化碳灭火器灭火。 生产或使用本产品的操作人员应采取适当的防护措施，戴护目镜、面罩、防火手套，避免皮肤与氢 化铝钠直接接触。 4 SJ/T11598—2016 附录A （规范性附录） 氢化铝钠含量的测定方法 A.1范围 本附录规定了电子工业用氢化铝钠中氢化铝钠含量的测定方法。 本附录适用于电子工业用氢化铝钠中氢化铝钠含量的测定。 A.2方法提要 用环已烷稀释样品后， 加入乙醇水解，通讠 腺为指示剂，反滴过前 FDTA，进过消耗的艺酸锌标准滴定溶液的量来计算化铝钠含量。 A.3 试剂和材料 水的要求。 A. 3. 1 纯水： 符合GB 6682 2008年规是的学 A. 3.2 无水乙醇 析纯。 折纯，经5A筛干燥24 A.3.3 环已烧 A. 3. 4 盐酸溶液 量分数10 安照B/0 2002规定的 A.3.5NH.OH溶液 析纯氨水和纯水配制， =1:3。 水 A.3.6乙酸锌标准液 清液（0.1mol/L） 配制：用分析天 4.00g乙酸锌试剂（分析纯或以上）溶解于水中加人几滴乙酸试剂（分 析纯或以上），用纯水稀释至1000ml。 标定：用25m1移液管移取0 mo1/L的EDTA标准溶液（A.3.）2500 加入500m1锥形瓶中， 加入10m1乙酸-乙酸铵缓冲 5m1双硫腺，摇匀。用乙 3.82 酸锌标准滴定溶液进行滴定，直到首次山 录消耗的乙酸锌标准滴定溶液的体积为 V。乙酸锌标准滴定溶液的浓度根据公式 CzAcs (A. 1) V 式中： CZnAc2 乙酸锌标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升（mo1/L）； CEDTA 乙二胺四乙酸二钠标准溶液的浓度，单位为摩尔每升（mo1/L）； V 消耗的乙酸锌标准滴定溶液的体积，单位为毫升（m1）。 A. 3. 7 乙二胺四乙酸二钠（EDTA）标准溶液：c（EDTA)=0.1mo1/L，按照GB/T601的要求进行配制。 A. 3. 8 乙酸-乙酸铵缓冲溶液：PH值为4～5，按照GB/T603的要求进行配制。 A. 3. 9 双硫粽指示液：0.3g/L乙醇溶液，用分析天平称取0.3g双硫腺指示剂，溶解于酒精中，稀释至 1000ml。 A. 3.10 酚酞指示液：10g/L，按照GB/T603的要求进行配制。 A. 3. 11 沸石或玻璃珠。 5