ICS17.120.10 N12 SJ 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10583—2016 代替SJ/T10583—1994 气体质量流量控制器通用技术条件 General specification for gas mass flow controller 2016-09-01实施 2016-04-05发布 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T105832016 目 次 前言 III 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和单位 4 原理 5 分类 5 6 要求.. 5 7 试验方法 8 8 检验规则、 14 9 标志、包装、运输、贮存 16 SJ/T10583—2016 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替SJ/T10583—1994《气体质量流量控制器通用技术条件》，与SJ/T10583—1994相比， 主要差异如下： 在术语部分，修改并增加部分术语； 新增产品的原理和应用； 推中部分技术性能要求进行了 在技术性能要求部分，新增 修改； 在环境条件要求 原标准中产品的贮存环境要求， 电磁兼容要求； 在试验方法部 标准中部分试验方法进行了修改； 在检验规则部 列行 且识别这华 专利的责任。 请注意本文件的 容可能 及专利。本文伟 的发布机构不承 TECH 本标准由中国 联合会 德化部电子 标准化研究院归口。 本标准由工业 本标准负责走 北京七 华明电子股份有 限公司 草单位 本标准参加走 中国计量 市量检测科学研 究院、矽 系统有限公 NOL 司、上海工业自动 化表 开究院、 省计量科学 本标准主要起 昌华、 服 段慧明、杨有涛、何艺 草 立基、郭爱华、 LOGY S 王振。 本标准于1994年 本次为第一 次修订。 S RD II SJ/T10583—2016 气体质量流量控制器通用技术条件 1范围 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、储存。 本标准适用于采用热式流量测量原理（如毛细管热式原理）进行测量的气体质量流量控制器（以下 简称流量控制器）。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191—2008 包装储运图示标志 GB/T2423.1 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温 GB/T2423.2 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.3 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验方法 GB/T2423.4 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Db：交变湿热（12h+12h循环） GB/T2423.10 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦） GB4208 外壳防护等级（IP代码） GB/T13384—2008 机电产品包装通用技术条件 GB/T17626.2 电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验 GB/T17626.4 电磁兼容试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验 GB/T17626.5 电磁兼容试验和测量技术浪涌（冲击）抗扰度试验 GB/T17626.11 电磁兼容试验和测量技术电压暂降、短时中断和电压变化的抗扰度试验 GB/T20727—2006 封闭管道中流体流量的测量热式质量流量计 SJ/T10386—1993 电子工业专用设备可靠性指标验证试验方法 3术语和单位 下列术语和单位适用于本标准。 3.1术语 3.1.1 满刻度流量（F.S.） full scaleflowrate, F.S.(F.S.) 对应于最大输出信号的流量值。 3. 1. 2 气体质量流量 gas mass flowrate 1 SJ/T10583—2016 流体量用质量表示的流量。 通常情况下，用单位时间内流过某截面的流体的质量数来表示。 3. 1.3 热式气体质量流量计thermalgasmassflowmeter 利用热传递原理测量和指示气体质量流量的流量测量装置。 3.1. 4 热式气体质量流量控制器 thermalgasmassflowcontroller 由热式气体质量流量计、阀和电子控制 置组成的 流量控制装置。 使流量保持在流量设定点。 3.1.5 STRY 流量设定点（S.P. ebpoint (S.P.) 外部给流量控制 设定 3. 1. 6 流量控制范围 aterang 足品 在该范围内满 生能的要求，由最大 中最小设定流 所限定的范 STRY 3. 1.7 流量示值 q 3.1.8 ST S 标准流量值 real flow, N ARD qo D 通过流量控制器的气体流量的标准值。 3. 1.9 重复性 repeatability, f 在相同的环境条件下，流量控制器多次施加同一流量设定点，得到的流量一致的能力。 3.1.10 响应时间 responsetime 当流量设定点发生变化时，流量控制器的流量稳定达到流量设定点的一定范围内的最短时间。 2 SJ/T10583—2016 可分为电特性响应时间和气特性响应时间。 3. 1. 11 工作压差 differential pressure 能保证流量控制器在流量范围内正常稳定工作的入口与出口气压差。最大和最小工作压差的平均 值， 称为中间工作压差。 3.1.12 最大工作压力 maximumoperatingpressure, Pmax 流量控制器允许使用的最大工作压力。 3.1.13 耐压强度 proofpressure 流量控制器表体能承受的最大压力。 3. 1.14 压差系数 pressure coefficient, 入 评价流量控制器对于工作压差变化而导致流量变化的参数。 3.1. 15 漏气率 leakintegrity 评价流量控制器中的被控气体对外泄露参数。 3.1.16 工作环境温度 operationtemperature 流量控制器能够正常使用的环境温度。 3. 1.17 温度系数 temperature coefficient, at 评价流量控制器的被控流量随温度变化而变化的参数。 3.1.18 表面粗糙度 surface finish 流量控制器与气体接触的金属表面具有的较小间距和微小峰谷不平度。 3 SJ/T105832016 3.1.19 输入/输出信号input/outputsignal 流量控制器的输入/输出信号。一般情况下，流量控制器的输入包含流量设定点信号，输出包含流 量示值信号。信号可以通过模拟或数字通讯方式传输。 3.1. 20 阀类型 valveresetposition 不通电时流量控制器阀的位置。 可分为常开阀和常闭阀。常开阀指不通电时阀处于最人开度状态，常闭阀指不通电时阀处于关闭状态。 3. 1.21 AND 零漂 zero drift STRYA 在一定时间范围内 控制器没有气体通过，且外部条件不变， 器的流量输出变化。 IND 公 3.1. 22 TE 最小控制流量 flowrate qmin 在满足流量控 制器性 能指标的前提下，流量控制器 控制流量的量值。其一般会 测量的最小 流量。 ISTRI 3.2计量单位 单位如表1所示： 气体流量用标 的体积流 理量或参 量控 影响气体流量的各物理量或参数及其单位 单位 备注 物理量或参数 称 符 标准毫升每分钟（SCCM） mLnn 流量 标准升每分钟（SLM） 通常用单位时间内的氢气 漏气率 帕立方米每秒 Pa·m/s 泄流量表示 引用误差 满刻度流量百分比 %F.S. %S.P. 允许误差 流量设定点百分比 温度系数 满刻度流量百分比每摄氏度 %F.S./C 压差系数 满刻度流量百分比每千帕、每兆帕 %F.S./kPa,%F.S./MPa 4原理 流量控制器由流量测量部分和流量控制部分组成。测量部分的基本原理是利用传热原理，即流动的 流体与热源之间热量交换关系来测量质量流量。控制部分是利用流量测量的结果，根据流量设定点自动 4