ICS 31-550 L95 SJ 备案号： 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10479—2016 代替SJ/T10479—1994 自动砂轮划片机 Automatic wheel scribing machine 2016-01-15发布 2016-06-01实施 SJ 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T10479—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替SJ/T10479—1994《自动砂轮划片机通用技术条件》，与SJ/T10479—1994相比，除 编辑性修改外主要技术变化如下： 修改了使用条件（见3.11994） FOR 增加了工作行程技术要求见D 将“Y步进误美 大0065 一累积误差在1 工作行程内 3.2.6); 将“ 改为“Z轴开险定位误差应≤0.005mm” 于0.008mm” （见3 修可 美位课 3，1994版的1 4); 旋转定 差不大于9 （0.0025°）”改 轴转角调 合产品使用说明书 的要求 （见3 作台相对 进给平行度打 加 其试验#法 （见3.6. ); 求及 作台相对X Y轴导轨 查方法（见 4.5.2,1994版的 1.3); 宽度技 元3746 修 动能技术要求见3.8.1994版的3.4）： 修改 支术要求（见3.9,1994版的3.10）； 将“ 生载试 改为“试运行”（见3.10，1994版的3.5）； 将“负载试 ”改为“试划片”，并修改了试划片试验（见3. 14.101994版的3.6和4.5）； 增加了划片机无涯 工作时间技术要求及试验方法（见 4/11.2); 修改了运输试 4.12.1994版的4.1 一删除了空气静压电主轴安装 方法 （见1994版的3.2.7和4.1.7)； 删除了显示屏技术要求及其试验力牌 1994版的8.3和4.2）； 删除了安全要求及其试验方法（见1994版的3.7和4.6）； 删除了结构要求及其试验方法（见1994版的3.8和4.7）； 修改了出厂检验和型式检验，删除了例行检验（见5，1994版的5） 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）提出并归口。 本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、晶能光 电（江西）有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。 本标准主要起草人：张仕卿、曾艳丽、刘光恒、白宇、马岩、徐秋玲、于振毅、杨路、白雪峰、郝 鑫、殷波、荣宇、冯亚彬。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： SJ/T104791994。 SJ/T10479—2016 自动砂轮划片机 1范围 本标准规定了自动砂轮划片机（划片过程自动化，以下简称“划片机”）的技术要求、检验方法、 检验规则、标志、包装、运输和储存等。 本标准适用于切割分离硅片的划片机产 产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、锯酸锂、化 镓和磁钢等脆硬材料。 2规范性引用文件 ISTRY 本文伴的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文代 下列文件对于 期的版本适用于本文件。 件么 凡是不注日期的用文 其微版技所有的修改单） 活用 于本文 GB/T19y 包装储运图 标志 1986 叮靠性试验 恒失效率假设 效率与 复无做 章时间的验证试验 方案 GB/T2 净爱环不境第1部分：室汽洁 2010 净度等级 SJ3213 电子产品运输包装基 法汽车运输盛验 ISTR 3要求 3.1 使用条 划片机在 大列使便条件下应能正常工作： 温度： （234） a) b) 相对湿度： %08 洁净度：划片机 集成电路制造时， 使用环境应符合 c) 合 915.1—2010规定的IS04级 或以上要求：用子其他用途时 使用 供电条件：交流电压220V+10% 压380V+10%，频率50Hz±2%，功率3kW以上： (P e) 供气条件：压缩空气压力应≥0.5Mra，流量应≥0.3m/min； f) 供水条件：去离子水压力应≥0.2MPa，流量应≥3.0L/min，温度（10~30）℃。 3.2外观 划片机外观应平整、光滑，无划伤痕迹，无锈蚀现象，镀/涂层应不脱落。 3.3工作行程 6英寸划片机工作行程应≥155mm，8英寸划片机工作行程应≥210mm。 3.4工作精度 3.4.1X轴垂直度误差 1 SJ/T10479—2016 X轴导轨与Y轴导轨的垂直度误差应≤0.025mm。 3.4.2Y轴步进误差和累积误差 3.4.2.1Y轴步进误差 在工作行程内，Y轴步进误差应≤0.003mm。 3.4.2.2Y轴累积误差 在工作行程内，Y轴累积误差应≤0.005mm。 3.4.3Z轴定位误差 Z轴升降定位误差应≤0.005mm。 3.4.4 0轴转角误差 e轴转角误差应符合产品使用说明书的要求。 注：X轴指工作台相对于机身正面左右移动的方向，Y轴指主轴相对于机身正面前后移动的方向，Z轴指主轴相对于 机身上下移动方向，e轴指工作台旋转的方向（见图1）。 Z轴 e轴 X轴 Y轴 图1X轴、Y轴、Z轴及轴说明示意图 3.5 主轴精度 空气静压电主轴端面与X轴导轨的平行度误差应≤0.0025mm。 3.6工作台精度 3.6.1工作台相对Z轴进给平行度 划片机工作台相对z轴进给的平行度误差在100mm范围内应≤0.01mm。 3.6.2工作台相对X轴、Y轴导轨平行度 在工作行程内，X轴导轨、Y轴导轨与工作台的平行度误差应≤0.01mm。 3.7开槽宽度 开槽宽度应≤刀厚+0.01mm（具体要求应符合产品的使用说明书） 3.8保护功能 各保护开关应工作可靠。 当压缩空气压力降至设定的保护压力值（偏差土10%）时，其保护开关应能立即作用，使主轴 a) 停转，划片机停止划片； 2 SJ/T10479—2016 b) 当工作台吸片压力大于或等于设定的保护压力值（偏差土10%）时，其保护开关应能立即作用， 使划片机停止划片： c) 当冷却水压力降至设定的保护压力值（偏差土10%）时，其保护开关应能立即作用，使主轴停 转，划片机停止划片。 3.9噪声 划片机噪声声压级应≤65dBA)。 3.10 试运行 划片机应试运行，试运行后， 检验工作精度、工作台及各保护功能。 3.11试划片 划片机经试运行后，应进行试划片，检查划片质量。 3.12 可靠性 3.12.1划片机平均无故障工作时间(MTBF)的下限值m应≥500h。 3.12.2划片机累计无漏水工作时间应≥100h。 3.13运输试验 划片机包装后按照4.12的规定进行试验，试验后划片机的结构及精度等不得改变，通电后划片机应 能正常运转。 4 检验方法 4.1 外观检查 用目测法进行外观质量检查。 4.2工作行程检查 用最小分度值为1mm的卷尺或钢板尺测量工作行程。 4.3工作精度检查 4.3.1X轴垂直度误差检查 将150mm×150mm方形角尺或专用标准测量板放置在工作台上，千分表固定于主轴保护罩上，角尺 的一边与X轴导轨调平行，主轴沿Y轴导轨移动测角尺的另一边。 4.3.2Y轴步进误差和累积误差检查 用石英玻璃标尺或其它测量仪器测量Y轴步进误差和累积误差。 4.3.3Z轴定位误差检查 将千分表固定于工作台圆心附近，表头接触主轴护罩上端，在千分表量程范围内，升降主轴五次， 读出每次主轴下降后的千分表示数，取五次示数之问的最大偏差。 3 SJ/T104792016 4.3.4 0轴转角误差检查 将标准板固定在工作台上，使标准板上的刻线与显微镜中的一字线平行。操作转角按键，让工作台 转90°，用最小转角比较检查转角误差。 4.4主轴精度检查 按图2所示，将千分表固定在工作台上，沿轴方向移动工作台，在给空气静压轴承供气时，测电主 轴安装刀片的最大定位端面。 图2 主轴检查方法示意图 4.5 工作 检查 4.5.1 对Z轴进给平行度检查 将干 在Y轴 向给构件表头压在 轴向前后 移 右移动工作台，移 OG 10 动距离均大 读取天 分表指针变化量 4.5.2 工作台根对 轴、Y轴导轨平行度检查 按图3所示 分表固定在主轴护罩上，沿X轴、Y轴导轨移动/ 在工作台上表面均布9点处（周边 8英寸划片机，d+20m 图3相对X轴、Y轴导轨平行度检查方法示意图 SJ/T10479—2016 4.6开槽宽度测量 用测量显微镜检查试件开槽宽度。 4.7保护功能检查 检验各保护开关功能。 a) 逐渐降低压缩空气压力，直至设定的保护压力值（偏差土10%），观察其保护开关能否立即作 用，能否使主轴停转，划片机停止划片： b) 遂渐增大工作台吸片压力，直至设定的保护压力值（偏差土10%），观察其保护开关能否立即 作用，能否使划片机停止划片； c) 逐渐降低冷却水压力，直至设定的保护压力值（偏差土10%），观察其保护开关能否立即作用， 能否使主轴停转，划片机停止划片。 4.8噪声检查 划片机在试运行过程中，在主轴额定转数下，用精度为2dB的声级计，在划片机正前方1m、高出 地面1.5m处，测量噪声声压级（A计权）。 4.9 试运行试验 将主轴速度调至30000r/min，使划片机连续运转2h，然后在主轴不转的情况下，使划片机运行24h（连 续运行不得少于12h)。 4.10 试划片试验 4.10.1用0.02mm或0.025mm厚的刀片，实划Φ75mm的硅片5片。 4.10.2 2在标尺显微镜下检查划片质量。开槽宽度应≤刀厚+0.01mm（具体要求应符合产品的使用说明 书)。 4.11可靠性试验 4.11.1划片机可靠性试验 划片机平