ICS29.045 YS H 83 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T792—2012 单晶炉用碳/碳复合材料 Carbon-carbon composites crucible used in single crystal furnace 2013-03-01实施 2012-11-07发布 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T 7922012 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准负责起草单位：湖南金博复合材料科技有限公司、洛阳单晶硅有限责任公司、上海九晶电子 材料股份有限公司、常州天合光能有限公司。 本标准主要起草人：廖寄乔、邰卫平、王跃军、吴书晓、王文卫、史、戴瑞麟、黄振飞、李军、龚玉良、 王丽、翟雪林。 YS/T 792--2012 单晶炉用碳/碳复合材料 1范围 本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮 存、质量说明书和合同(或订货单)内容。 本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料，也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶 炼金属用碳/碳复合材料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3074.4石墨电极测定方法石墨电极热膨胀系数(CTE)测定方法 GB/T5163 烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的 测定 GB/T22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数 YB/T5146 高纯石墨制品灰分的测定 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 表观密度apparentdensity 制品烘干后的质量与其体积之比。 4要求 4.1产品分类 4.1.1碳/碳复合材料埚按内径大小分为不同的规格，其常见的规格代号有41、46、51、56四种规格。 4.1.2碳/碳复合材料按结构分为整体式和分体式，分体式埚常见的三种型式分别为 活动底分体式、上下分体式和三体分体式。图1和图2分别为整体式埚和分体式示意图。 YS/T792--2012 单位为毫米 d2 说明： d 埚内径； 一底斜角； 一埚内倒圆半径； d, 配合锥面小径； 埚配合锥面大径； R2—-外倒圆半径; l2 R：——埚端面外倒圆半径； h1 埚内高； R 一塔埚端面内倒圆半径； h2 埚外高； SR- 一埚配合球面半径； hs 埚底高； 埚锥面角； 邯埚壁厚。 a 图1 整体式埚示意图 a）活动底分体式埚 图2分体式埚示意图 YS/T792-2012 由 4 b) 上下分体式埚 5 ? c）三体分体式埚 说明： ? 埚的体； 一甘埚的活动底； ③——埚的埚筒； ④——甘埚的碗 ?一一甘的埚筒托。 图2（续） 4.1.3根据埚中灰分含量，埚按纯度等级分为I级、Ⅱ级和Ⅲ级。 4.2产品标记 产品型号及意义如下： G（z或f)XX 埚纯度代号 埚规格代号 埔埚结构代号 埚代号 4.2.1埚代号以“”字汉语拼音首写大写字母"G”表示。 4.2.2埚结构代号分别以“整”、“分”字汉语拼音首写小写字母“z”、“"表示，分体式埚用f1、fu、 f依次表示活动底分体式、上下分体式埚和三体分体式。 4.2.3埚规格代号以其内径值的厘米数(按四舍五入取整)表示。 3 YS/T792—2012 4.2.4 中灰分与纯度等级的对应关系见表1。 表1中灰分与纯度等级的对应关系 纯度等级/级 I II Ⅲ 灰分/(mg/kg) 09> 50~200 >200~500 4.2.5标记示例 只内径为508mm，纯度为I级的活动底分体式标记如下： Gf, 51—I 4.3外观质量 产品表面光滑圆整，无裂纹，无磕碰伤痕，无夹杂物和结块，无水、油污和灰尘等杂物。 4.4尺寸及其允许偏差 常用规格的埚，其各部分尺寸推荐值见表2，尺寸允许偏差的推荐值见表3。 图纸上注明了允许偏差的依图纸所示执行，图纸上未注明允许偏差的依照GB/T1804标准的粗糙 c等级执行。 具体尺寸和允许偏差可由供需双方商定。 表2各部分尺寸推荐值 甘埚规格代号和各部分尺寸 项目 单位 41 46 51 56 d 408(16英寸) 460(18英寸) 508(20英寸) 560(22英寸） 12 12 12 12 t di 220 220 248 296 d2 360 390 450 490 hi 270 300 330 360 hz 289 319 351 383 mm ha 10 10 10 16 Ri 76 120 90 110 R2 80 100 100 100 R 3 3 3 3 R4 5 5 5 5 SR 415 500 510 560 20 23 20 20 a (。) 25 25 25 25 4 YS/T792—2012 表3 埚尺寸允许偏差推荐值 项目 di h2 R, SR d h1 t a β 单位 (°) mm 允许偏差 +2 -1 ±1 +1 ±1 -1 +2 0.2 +1 4.5 性能指标 的主要性能指标应符合表4的要求。 表4 埚的主要性能指标 纯度等级 项目 单位 .I级 Ⅱ级 Ⅲ级 表观密度 g/cm3 1.5±0.2 灰分 09> 50~200 mg/kg >200~500 <2. 0 <2. 0 <2. 0 热膨胀系数 10-6/℃ >60 //(平行方向) W/(m·K) 导热系数 >35 工（垂直方向） 注：灰分、热膨胀系数和导热系数为参考指标。具体技术指标也可由供需双方商定。 5试验方法 5.1 的尺寸检验采用游标卡尺、高度尺、角度尺、直尺和平板等按图纸要求进行。 5.2 外观质量的检验用目视的方法进行，其中裂纹可用25倍便携式放大镜检查。 5.3的表观密度检验按GB/T5163进行。 5.4 埚的灰分检验按YB/T5146进行。 5.5埚的热膨胀系数检验按GB/T3074.4进行。 5.6埚的热扩散率测试按GB/T22588进行，再根据式(1)计算导热系数： 入=α·Cp'p (1) 式中： 导热系数，单位为瓦每米开尔文[W/（m·K)]； 入 热扩散率，单位为平方毫米每秒(mm²/s)； -—比热容，单位为焦耳每克开尔文[/(g·K)],在本标准中c,=0.716J/(g·K); 一表观密度，单位为克每立方厘米（g/cm"）。 6检验规则 6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。复验结果与本标准或订货合同的规定不符时，