ICS 77. 150.50 CCS H 64 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T XXXXXXXX 磁记录用铬钛合金溅射靶材 Chromium titanium sputtering alloy target used in magnetic recording （报批稿） X XXX-X X-× X发布 ××××-××-××实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 XXXX-XXXXX 1/SA 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则 厂第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波热等静压技术 有限公司。 本文件主要起草人：姚力军、吴东青、廖培君、杨慧珍、王学泽、刘晓、周友平、曹欢欢、边逸军、 宋琦、汤婷、袁海军、干科军、许兴、黄引驰、陈玉蓉、时晓旭。 1 YS/T XXXX-XXXX 磁记录用铬钛合金溅射靶材 1范围 本文件规定了磁记录用铬钛合金溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钛合金靶材。 规范性引用文件 2 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 1031 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T 3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定 GB/T 4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定 GB/T4702.6一2016金属铬铁、铝、硅和铜含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T 8651 金属板材超声板波探伤方法 GB/T25915.1一2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 YS/T 891 高纯钛化学分析方法 ：痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4技术要求 4.1化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定。 表11 化学成分 牌号 Cr90Ti10 Cr80Ti20 Cr55Ti45 Cr50Ti50 Cr40Ti60 Cr含量"（质量分数） 56.05~58.03 51. 07~53. 07 89.78~91.66 80.34~82.24 40.99~43.02 Ti含量（质量分数） 8.34~10.22 41.97~~43.95 46.93~48. 93 56.98~59.01 Cr+Ti含量（质量分数） 99. 9 不小于 C 150 N 100 150 0 1000 1900 2400 3000 S 40 Ni 100 杂质元素含量 (质量分数） Fe 500 Si 100 X104 A1 70 不大于 Na 50 100 W Ca 30 Zr 80 V 100 Cr含量为Cr+Ti含量减去Ti含量的余量。 bCr+Ti含量为100%减去杂质元素含量（C、N、0、S除外）实测总和的余量。 1 YS/T XXXX-XXXX 4.2晶粒尺寸 产品的晶粒尺寸平均值不大于45μm，最大值不大于120μm。 4.3相对密度 产品的相对密度应不小于98%。 4.4内部质量 产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方 协商确定，并在订货单中注明。 4.5外形尺寸 产品通常为圆形，尺寸规格及结构方式一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产。产品溅射 面的平面度应小于0.1mm。 4.6表面粗糙度 产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。 4.7外观质量 产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸 起等缺陷。 5试验方法 的规定进行；0和N含量的测定按照GB/T4698.7的规定进行；S含量和其他杂质元素含量的测定按照 YS/T891的规定进行。 5.2晶粒尺寸检验按照GB/T6394的规定进行。 5.3相对密度检验按GB/T3850的规定进行。 5.4内部质量检验按照GB/T8651的规定进行。 5.5外形尺寸通过卡尺、平面度仪、塞规等，按照加工图纸标识尺寸进行测定。需方有特殊要求时， 可采用三坐标测量仪进行检测。 5.6表面粗糙度通过粗糙度测量仪按照GB/T1031的规定进行检验，或按照供需双方协商确定的方法 测定。 5.7外观质量用目视方法检测，必要时用放大镜或显微镜进行鉴别。 6检验规则 6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方或第三方进行检验，产品质量应符合本文件及订货单的规定，并填写随行文件。 6.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应 以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量及外形尺寸的异议，应在收到产品之日起 一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方协 商确定。 6.2组批 产品应成批提交验收。每批应由同一生产周期、同一牌号和规格的产品组成。 6.3检验项目 2 YS/T XXXX-XXXX 每批产品均应进行化学成分、晶粒尺寸、相对密度、内部质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量 的检验。 6.4取样 6.4.1 产品的取样应符合表2规定。 表2取样 检验项目 取样规定 取样数量 技术要求的章条号试验方法的章条号 半成品 化学成分 每批取2个样 4. 1 5. 1 （取样位置参考图1） 半成品 晶粒尺寸 每批取2个样 4. 2 5. 2 （取样位置参考图1) 相对密度 成品 每批取1个样 4. 3 5. 3 内部质量 成品 每批取1个样 4. 4 5. 4 外形尺寸 成品 逐件 4. 5 5. 5 表面粗糙度 成品 逐件 4. 6 5. 6 外观质量 成品 逐件 4. 7 5. 7 化学成分、晶粒尺寸检验在半成品的边缘位置进行取样，样品间隔1/4圆弧长，如图1所示。 6.4.2 样品2 样品1 图1 取样位置示意图 6.5检验结果的判定 6.5.1化学成分、晶粒尺寸、相对密度、内部质量检验结果不合格时，从同批产品中取双倍数量的试样 进行重复检验，若有任一检验结果不合格时，则判该批产品不合格， 6.5.2外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验结果不合格时，判该件产品不合格。 7标志、包装、运输、贮存及随行文件 7.1标志 7. 1. 1 应在检验合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻在产品指定位置。 7. 1. 2 在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括： a) 供方标志； 产品名称； c) 牌号； (p 生产批号； 出厂日期； e) f) 其他。 7. 2 包装